公开(公告)号：KR101592552B1

公开(公告)日：2016-02-11

申请号：KR1020140075548

申请日：2014-06-20

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김재호 ,  김효섭 ,  최제 ,  정성현 ,  박정균

IPC: C23C26/00

Abstract: 본발명의실시예에따른음각구조의금속박막기판의제조방법은 LB법으로입자를기판위에고르게도포하여입자정렬기판을제조한후 이를몰드로사용하여음각구조의 PDMS 기판을제조하고, 그위에금속을증착시켜간단하고정밀한방법으로음각구조의금속박막기판을제조할수 있다. 또한, 특정한파장대에서 Raman 신호를강화시킬수 있으며, 대면적제조가가능하다.

公开(公告)号：KR1020150145956A

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：KR1020140075548

申请日：2014-06-20

Applicant: 아주대학교산학협력단

Inventor： 김재호 ,  김효섭 ,  최제 ,  정성현 ,  박정균

IPC: C23C26/00

CPC classification number: B82B3/0009 ,  B05D1/204 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/185 ,  G01J3/44 ,  G01N21/658

Abstract: 본발명의실시예에따른음각구조의금속박막기판의제조방법은 LB법으로입자를기판위에고르게도포하여입자정렬기판을제조한후 이를몰드로사용하여음각구조의 PDMS 기판을제조하고, 그위에금속을증착시켜간단하고정밀한방법으로음각구조의금속박막기판을제조할수 있다. 또한, 특정한파장대에서 Raman 신호를강화시킬수 있으며, 대면적제조가가능하다.

Abstract translation: 根据本发明的实施方案的负型图案化金属薄膜基板的制造方法包括：使用Langmuir-Blodgett（LB）方法在基板上均匀地扩散颗粒来制造粒子排列基板; 通过使用粒子对准的基板作为模具制造负型图案化PDMS基板; 并通过在PDMS衬底上沉积金属来简单且精确地制造负型图案化金属薄膜。 此外，本发明加强了特定波长范围内的拉曼信号，能够进行大面积制造。