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公开(公告)号：KR101059778B1
公开(公告)日：2011-08-26
申请号：KR1020040084521
申请日：2004-10-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명은 노보넨(norbornene) 및 디시클로펜타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 단량체와 하기 화학식 1의 노보넨계 공단량체를 포함하는 노보넨계 공중합체와, 이를 이용한 멀티칩 패키지용 절연 소재 및 반도체 노광공정의 반사방지막을 제공한다.
[화학식 1]
상기 화학식 1에 있어서, R
1 , R
2 및 a는 명세서에서 정의한 바와 같다.
본 발명에 따른 노보넨계 공중합체는 낮은 유전상수를 가질 뿐만 아니라, 열적 안정성 및 유기 용매에 대한 용해도가 우수하다.
노보넨계 공중합체, 노보넨계 공단량체, 열적 안정성, 용해도Abstract translation: 本发明的降冰片烯（降冰片烯）和二环戊二烯隔离从使用含有式（1），该包装材料和降冰片烯的共聚单体的降冰片烯共聚物组成的多芯片的二烯基团中选择的至少一种单体 提供半导体曝光工艺的抗反射膜。
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公开(公告)号：KR1020060035160A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：KR1020040084521
申请日：2004-10-21
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명은 노보넨(norbornene) 및 디시클로펜타디엔으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 단량체와 하기 화학식 1의 노보넨계 공단량체를 포함하는 노보넨계 공중합체와, 이를 이용한 멀티칩 패키지용 절연 소재 및 반도체 노광공정의 반사방지막을 제공한다.
[화학식 1]
상기 화학식 1에 있어서, R
1 , R
2 및 a는 명세서에서 정의한 바와 같다.
본 발명에 따른 노보넨계 공중합체는 낮은 유전상수를 가질 뿐만 아니라, 열적 안정성 및 유기 용매에 대한 용해도가 우수하다.
노보넨계 공중합체, 노보넨계 공단량체, 열적 안정성, 용해도
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