公开(公告)号：KR100550929B1

公开(公告)日：2006-02-13

申请号：KR1020030067868

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  이상효

IPC: H01H59/00

Abstract: 본 발명은 마이크로 기계구조를 이용한 코플래너 웨이브가이드 가변 인덕터에 관한 것으로서, 이 시스템은 마이크로 기계구조로 제작된 접촉식 스위치와 코플래너 웨이브가이드 및 코플래너 스트립라인으로 구성된다.
코플래너 웨이브가이드의 구조적 특징을 이용하여 같은 평면 위에서 코플래너 스트립라인을 코플래너 웨이브가이드의 그라운드 평면에 배치하여 소형화된 코플래너 직렬 인덕턴스를 얻을 수 있다. 이에 나아가 코플래너 스트립라인의 전기적 길이를 접촉식 스위치를 이용하여 바꿈으로써 가변 인덕터로 사용할 수 있다.
마이크로 기계구조의 접촉 스위치는 전기적 스위치에 비하여 손실면이나 사용 주파수 대역면, 그리고 전력 소모면에서 장점을 가지기 때문에 높은 Q값과 넓은 대역폭을 가지는 가변 인덕터를 제작할 수 있게 한다.
저손실, 큰 인덕턴스 가변량, 넓은 사용 주파수 대역폭 등의 장점을 가지는 본 발명의 가변 인덕터를 사용하여 마이크로파 대역에서 향상된 특성을 갖는 주파수 가변 필터를 제작할 수 있을 것이다.
가변 인덕터, 코플래너 웨이브가이드, 코플래너 스트립 라인, 마이크로 기계구조, 접촉식 스위치

公开(公告)号：KR1020050031648A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067868

申请日：2003-09-30

Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단

Inventor： 권영우 ,  김용권 ,  박재형 ,  이상효

IPC: H01H59/00

Abstract: A switch using an MEMS(Micro Electro-Mechanical System) and a variable inductor using the switch are provided to simply design a bias circuit with small parasite components as well as low contact resistance, thereby fabricating a miniaturized variable inductor having a big operational frequency range with a high Q value. A support(17) is made of a conductive material on a substrate(14). Metal supporting substances(18) are formed on the support(17), bent in a spot rising up to a predetermined height from the substrate(14), and are formed in parallel with a surface of the substrate(14). Supporting beams promote structural stability by connecting both metal supporting substances(18). An insulated supporting substance(19) is attached to the metal supporting substances(18). A connection metal(20) is supported by being attached to the insulated supporting substance(19), and floats up into the air.

Abstract translation: 提供使用MEMS（微机电系统）和使用该开关的可变电感器的开关，以简单地设计具有较小寄生电子元件以及低接触电阻的偏置电路，从而制造具有大的工作频率范围的小型化可变电感器 具有高Q值。 支撑体（17）由衬底（14）上的导电材料制成。 金属支撑物质（18）形成在支撑体（17）上，从与基板（14）上升到预定高度的点弯曲，并且与基板（14）的表面平行地形成。 支撑梁通过连接金属支撑物质（18）来促进结构稳定性。 绝缘支撑物质（19）附着在金属支撑物质（18）上。 连接金属（20）通过附接到绝缘支撑物质（19）而被支撑，并浮起到空气中。