公开(公告)号：KR1020170129088A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：KR1020170152738

申请日：2017-11-16

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 한덕선 ,  문세연

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01J37/32

Abstract: 본발명은설치된태양전지의보호기판에반사광을감소하고, 자가세정능력을향상시키기위하여미세폴리머코팅층을형성하도록하는플라즈마표면처리장치에관한것으로, 플라즈마발생기, 전원부, 플라즈마발생기에불활성가스와, CxFy 계열의가스또는 CxHy 계열의가스를공급하는가스공급장치및 설치된태양전지의샤시부에거치되어지지되도록플라즈마발생기의일단에형성되는거치부를포함하는태양전지보호기판코팅용플라즈마표면처리장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明减少了被安装在太阳能电池单元的保护板的反射光，以及自涉及一种等离子体表面处理装置，以形成精细的聚合物涂层，以改进清洁能力，等离子体发生器，和到电源，等离子体发生器，CxFy的惰性气体 涉及一种气体供应并安装被支撑的太阳能电池底盘部分，使得咋办一旦形成在等离子体发生器中安装的系列气体或CxHy系在供给气体的太阳能电池用保护衬底涂覆的等离子表面处理，其包括齿装置 。

公开(公告)号：KR1020170109452A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：KR1020160033619

申请日：2016-03-21

Applicant: 전북대학교산학협력단

Inventor： 한덕선 ,  문세연

IPC: H01L31/0392 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01J37/32

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 본발명은설치된태양전지의보호기판에반사광을감소하고, 자가세정능력을향상시키기위하여미세폴리머코팅층을형성하도록하는플라즈마표면처리장치에관한것으로, 플라즈마발생기, 전원부, 플라즈마발생기에불활성가스와, CxFy 계열의가스또는 CxHy 계열의가스를공급하는가스공급장치및 설치된태양전지의샤시부에거치되어지지되도록플라즈마발생기의일단에형성되는거치부를포함하는태양전지보호기판코팅용플라즈마표면처리장치및 방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明减少了被安装在太阳能电池单元的保护板的反射光，以及自涉及一种等离子体表面处理装置，以形成精细的聚合物涂层，以改进清洁能力，等离子体发生器，和到电源，等离子体发生器，CxFy的惰性气体 所述气体供给装置和所述支撑件安装到应该形成在等离子体发生器，其包括一个齿等离子体太阳能保护基板涂层的表面处理装置的一个端部的太阳能电池单元的底盘部分被安装，并且该系列的气体或CxHy系在供给的气体的方法 它涉及。