KR102227168B1 - Optical measuring apparatus and optical measuring method for measuring the surface boundary and depth of a workpiece

    公开(公告)号:KR102227168B1

    公开(公告)日:2021-03-11

    申请号:KR1020170178338A

    申请日:2017-12-22

    CPC classification number: G01J1/0238 G01B11/22 G01B11/24 G01J1/0411

    Abstract: 본 발명은 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가공물의 표면에 단차가 발생하는 경계에서 발생하는 광경로차를 이용하여 가공물의 표면 정보를 획득할 수 있는 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 방법은 고분해능으로 측정 가능한 간섭신호를 이용하는 기법을 활용함으로써 간섭계와 함께 구성하지 않아도 되고, 기준단을 구성하지 않고도 간섭 신호를 발생시키는 구조를 적용하여 기준단이 없기 때문에 간섭무늬 측정에서 원하지 않는 불필요한 DC 성분이 최소화 또는 이론적으로 발생하지 않으며, 기준단이 없으므로 기준단을 위한 추가적인 광학계 없이 시스템을 간단하게 구현 가능하며, 간섭계에서 필요한 광정렬을 위한 어려움이 없고, 기준단의 역할을 하는 표면이 샘플단의 역할을 하는 샘플과 동일한 재질의 표면이기 때문에 반사율이 유사하고 그로 인한 광간섭의 visibility를 최대화 할 수 있는 장점이 있다.

    가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법

    公开(公告)号:KR102227168B1

    公开(公告)日:2021-03-11

    申请号:KR1020170178338

    申请日:2017-12-22

    Abstract: 본발명은가공물의표면경계및 깊이측정을위한광계측장치및 광계측방법에관한것으로서, 더욱상세하게는가공물의표면에단차가발생하는경계에서발생하는광경로차를이용하여가공물의표면정보를획득할수 있는가공물의표면경계및 깊이측정을위한광계측장치및 광계측방법에관한것이다. 본발명에따른가공물의표면경계및 깊이측정을위한광계측장치및 방법은고분해능으로측정가능한간섭신호를이용하는기법을활용함으로써간섭계와함께구성하지않아도되고, 기준단을구성하지않고도간섭신호를발생시키는구조를적용하여기준단이없기때문에간섭무늬측정에서원하지않는불필요한 DC 성분이최소화또는이론적으로발생하지않으며, 기준단이없으므로기준단을위한추가적인광학계없이시스템을간단하게구현가능하며, 간섭계에서필요한광정렬을위한어려움이없고, 기준단의역할을하는표면이샘플단의역할을하는샘플과동일한재질의표면이기때문에반사율이유사하고그로인한광간섭의 visibility를최대화할 수있는장점이있다.

    거울 처리된 광섬유 코일을 이용한 반사형 진동 센서 장치

    公开(公告)号:KR101681976B1

    公开(公告)日:2016-12-19

    申请号:KR1020140160231

    申请日:2014-11-17

    Abstract: 본원발명은종래의진동감지센서에비하여광손실이적고광섬유의길이를줄일수 있는진동감지센서및 진동감지장치를제공하는것을목적으로한다. 위와같은목적을달성하기위하여, 본원발명의일 실시예에따르면, 광을공급하기위한광원; 상기광을제 1 광및 제 2 광으로분배하기위한광 분배수단; 상기광 분배수단으로부터분배된제 1 광을변조하기위한광 변조수단; 진동측정지점에설치되어상기광 분배수단으로부터분배된제 2 광을진동주파수로변조되도록하는진동센서수단; 상기진동센서수단및 상기광 변조수단으로부터수신된제 1 광및 제 2 광을결합하기위한광 결합수단; 및상기광 결합수단으로부터의광을수신하기위한광 수신수단을포함하고, 상기진동센서수단은끝단이금속코팅된코일형광섬유인, 거울처리된광섬유를포함하는진동센서장치가개시된다.

    거울 처리된 광섬유 코일을 이용한 반사형 진동 센서 장치
    5.
    发明公开
    거울 처리된 광섬유 코일을 이용한 반사형 진동 센서 장치 有权
    镜面处理反射振动传感器装置

    公开(公告)号:KR1020160058568A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:KR1020140160231

    申请日:2014-11-17

    Abstract: 본원발명은종래의진동감지센서에비하여광손실이적고광섬유의길이를줄일수 있는진동감지센서및 진동감지장치를제공하는것을목적으로한다. 위와같은목적을달성하기위하여, 본원발명의일 실시예에따르면, 광을공급하기위한광원; 상기광을제 1 광및 제 2 광으로분배하기위한광 분배수단; 상기광 분배수단으로부터분배된제 1 광을변조하기위한광 변조수단; 진동측정지점에설치되어상기광 분배수단으로부터분배된제 2 광을진동주파수로변조되도록하는진동센서수단; 상기진동센서수단및 상기광 변조수단으로부터수신된제 1 광및 제 2 광을결합하기위한광 결합수단; 및상기광 결합수단으로부터의광을수신하기위한광 수신수단을포함하고, 상기진동센서수단은끝단이금속코팅된코일형광섬유인, 거울처리된광섬유를포함하는진동센서장치가개시된다.

    Abstract translation: 本发明旨在提供一种与常规振动传感器相比具有较少光学损耗的振动传感器和振动感测装置,并且可以减少光纤的长度。 为了实现上述目的,根据本发明的一个实施例,一种振动传感器装置,其包括用于提供光的光源; 用于光分配的装置,用于将光分配到第一光和第二光中; 用于调制光的装置,用于调制从用于配光的装置分配的第一光; 用于感测安装在振动测量位置的振动的装置,并且将从所述用于配光的装置分配的第二光调制成振动频率; 用于组合光的装置,用于组合由用于感测振动的装置传输的第一光和第二光以及用于调制光的装置; 以及用于接收光的装置,用于接收来自用于组合光的装置的光,其中用于感测振动的装置包括具有类似反射镜的功能的光纤,其末端是涂覆有金属的线圈状光纤。

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