Abstract:
본 발명은 플라즈모닉 종이 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 종이재질의 대상물질 표면에 국소 표면 플라즈몬 공명을 유도하는 플라즈모닉 나노 구조를 형성함으로써, 형광 및 라만산란의 증폭효과와 국소 표면 플라즈몬 공명의 변이 민감성을 획득할 수 있으므로, 생체 분자를 비롯한 생화학 시료의 고감도 검출이 가능한 플라즈모닉 종이 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 라만-활성 리포터 분자를 포함하는 분석 대상물에 여기 광을 조사하여 분석 대상물을 표면 증강 라만 분광 분석하기 위한, 표면 증강 라만 산란(SERS; Surface-Enhanced Raman Scattering)용 기판의 국부 표면 플라즈몬 공명(LSPR; Localized Surface Plasmon Resonance) 파장의 설계 방법으로, 본 발명에 따른 LSPR 파장 설계 방법은 여기광의 파장인 여기파장과 라만 산란파장을 기반으로 기판의 국부 표면 플라즈몬 공명(LSPR; Localized Surface Plasmon Resonance) 파장을 선택하는 단계를 포함한다.
Abstract:
The present invention relates to a nanoplasmonic microtip array for nanolithography, a method of manufacturing the same, and a nanolithography method using the same. More particularly, the present invention relates to a microtip array for nanolithography which can fabricate a nanostructure of diffraction limit or less by manufacturing an large-scaled elastomer or polymer microtip array and forming a metal nanostructure on the surface of the array, a method of manufacturing the same, and a nanolithography method using the same. In a microtip array for nanolithography, the micro tip array provides a micro tip array for nanolithography which has a surface where metal nanostructures are formed.
Abstract:
본 발명의 일 실시예에 따른 나노갭(Nano gap)을 가지는 금속 나노 패턴 구조 형성 방법은 a) 기판 상에 나노 레벨의 금속 박막을 형성하는 단계; b) 상기 금속 박막 상에 고분자 박막을 형성하는 단계; c) 상기 고분자 박막 상에 미세 나노 패턴이 형성된 고분자 주형의 패턴 면을 접촉하는 단계; d) 상기 a) 내지 c) 단계를 통해 형성된 구조를 열처리하는 단계; e) 상기 d)단계를 통한 모세관 현상에 의하여 상기 금속 박막 상에, 상기 고분자 주형의 패턴 간격보다 좁은 간격에 해당하는 나노갭을 가지는 상기 고분자 박막의 미세 나노 패턴을 형성하는 단계; 및 f) 상기 고분자 박막의 미세 나노 패턴의 형상을 식각 마스크로 하여 식각을 통해 상기 금속 박막에 나노갭을 가지는 미세 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract:
본발명은플라즈모닉나노구조형태의화학및 바이오센서에관한것으로서, 상세하게는센서내 포함된금속나노구조체간의수직간격을조절하여국부표면플라즈몬공명현상을증폭시켜자극감지능을획기적으로향상시킬수 있으며, 이를통하여화학/바이오물질의선택적검출및 센서의감지재현성을보장할수 있는나노플라즈모닉바이오센서를제공할수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A method of forming metal nanopatterns having nanogap is provided to form ultra-fine metal nanopatterns for Surface Enhanced Raman Scattering by causing the capillary phenomenon of polymer thin film contacted with a polymeric template. CONSTITUTION: A method of forming metal nanopatterns having nanogap comprises the following steps: a metallic thin film(110) of nano level is formed on a substrate(110); a polymer thin film(120) is formed on the metallic thin film; a patterned surface of a polymeric template(130) in which fine nanopatterns have been formed is contacted with the polymer thin film; the structure formed through the previous steps is heat-treated; fine nanopatterns of the polymer thin film having nanogap(150) are formed on the metallic thin film by the capillary phenomenon through the heat-treating step; and fine nanopatterns having nanogap are formed on the metallic thin film by etching with the fine nanopatterns of the polymer thin film as an etching mask. In the fine nanopattern formation step, the nanogap is a narrower gap than the pattern gap of the polymer template.
Abstract:
PURPOSE: A method for forming metal nano islands for a surface enhanced Raman spectroscopy using a template with a low temperature dewetting phenomenon and a micro fin pattern is provided to precisely form a fine nano pattern of metal materials by transiting a fine nano pattern of a mold to a substrate. CONSTITUTION: A substrate(10) is provided. A metal thin film(11) of a nano level is formed on the substrate. A pattern side of a polymer mold(12) with a fine nano pattern is contacted with the metal thin film. A dewetting phenomenon is induced in the metal thin film by a heat process. Metal nano islands are formed by dewetting the metal materials of the metal thin film with a fine pattern shape of the polymer mold.