분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치 및 측정방법
    1.
    发明申请
    분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치 및 측정방법 审中-公开
    用于同时测量分子结构特征和缓冲溶液折射指数的装置和方法

    公开(公告)号:WO2014061924A1

    公开(公告)日:2014-04-24

    申请号:PCT/KR2013/008656

    申请日:2013-09-27

    Abstract: 액침(液浸) 미세유로 환경하에서 타원계측법을 이용한 저분자 바이오물질 등의 분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치와 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 프리즘 구조와 미세유로를 이용하여 반도체 등 기판물질에 형성된 바이오 물질의 흡착층에 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되도록 입사시킴으로써 완충용액의 굴절률 변화와 바이오 물질의 접합 동특성을 동시에 고감도로 측정할 수 있는 장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于在浸没式微通道环境中同时测量分子结的特性如低分子量生物材料等的装置和方法以及使用椭偏仪的缓冲溶液的折射率。 更具体地说,本发明涉及一种能够以高灵敏度同时测量缓冲溶液的折射率变化和生物材料的结合动力学特性的装置,该装置允许在生物材料吸附层上容纳偏振的入射光 ,其形成在诸如半导体等的基板上,以便通过使用棱镜结构和微通道来满足P波的抗反射条件; 以及使用其的测定方法。

    무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법
    2.
    发明申请
    무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 审中-公开
    无色无色光学元件旋转式ELLIPSOMETER及其使用方法测量样品的MUELLER-MATRIX

    公开(公告)号:WO2016148422A1

    公开(公告)日:2016-09-22

    申请号:PCT/KR2016/002287

    申请日:2016-03-08

    Abstract: 본 발명은 광소자 회전형 타원계측기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시편에 의해 반사 또는 투과된 광의 편광상태 변화를 측정 및 분석하여 시편의 뮬러 행렬성분을 측정하는데 사용되는 타원계측기에 관한 것이다. 본 발명은 일 실시예는 시편을 향하여 입사광을 방사하는 광원, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시편 사이에 배치되며 상기 광원에서 방사된 상기 입사광을 편광시키는 고정 편광자, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 고정편광자와 상기 시편 사이에 배치되며 상기 고정편광자를 통과한 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 편광자, 상기 등속회전 편광자를 통과하여 편광된 광이 상기 시편에 의해 반사 또는 투과되면서 편광상태가 변화되어 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 검광자, 상기 등속회전 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 고정 검광자, 상기 고정 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 입사된 광의 노광량을 검출하고 상기 노광량에 상응하는 광의 복사속의 값을 출력하는 광검출기를 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种光学元件旋转型椭偏仪,更具体地说,涉及一种用于测量和分析由样本反射或透射通过的样本的偏振态的变化的椭圆偏振仪,以测量样本的Mueller矩阵分量。 本发明的一个实施例可以包括:用于向样本发射入射光的光源; 在入射光的行进路径上布置在光源和样本之间的固定偏振器,并且使从光源发射的入射光偏振; 恒定速度旋转偏振器,其设置在入射光的行进路径上的固定偏振器和样本之间,使已经通过固定偏振器并入射到其上的光偏振,恒速旋转偏振器以恒定速度旋转 ; 用于偏振已经在通过恒速旋转偏振器时被偏振的光的恒速旋转分析仪已被反射或已经通过样本,从而具有改变的偏振状态,然后入射到其中,恒定速度 旋转分析仪以恒定速度旋转; 用于偏振光的固定分析器,其在通过恒速旋转分析仪时被偏振,然后入射到其上; 以及光检测器,用于检测在通过固定分析器时被偏振并然后入射到其上的光的曝光量,并输出与检测到的曝光量对应的光的辐射通量的值 。

    다중반사 액침 실리콘 기반 미세유로 측정장치 및 측정방법

    公开(公告)号:WO2022059824A1

    公开(公告)日:2022-03-24

    申请号:PCT/KR2020/012705

    申请日:2020-09-21

    Abstract: 본 발명의 일 실시 예는 다중반사를 통하여 시료검출 층에서 반사되는 제1반사광과, 프리즘-완충용액 경계면에서 반사되는 제2반사광이 완전히 분리되도록 하고 다중반사를 통해 여러 번 입사시킴으로써 측정감도를 증폭시키기 위한 다중반사 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 다중반사 액침 실리콘 기반 미세유로 측정장치는, 지지대와 지지대 상에 형성되고 시료를 검출하기 위한 생체 결합물질이 고정화된 시료검출층이 형성된 적어도 하나 이상의 미세유로를 포함하는 미세유로 구조체; 시료를 포함하는 완충용액을 미세유로에 주입하는 시료주입부; 프리즘 및, 프리즘의 밑면에 거울 반사 코팅되어 형성되는 반사체를 구비하는 프리즘유닛; 편광(polairzed light)을 발생시키는 편광발생부; 및 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부;를 포함한다.

    사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법

    公开(公告)号:WO2018101528A1

    公开(公告)日:2018-06-07

    申请号:PCT/KR2016/014720

    申请日:2016-12-15

    Abstract: 본 발명은 사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치는 지지대와 상기 지지대 상에 형성되고 제 1 시료를 검출하기 위한 제 1 생체 결합물질이 고정화된 시료검출층이 형성된 적어도 하나의 미세유로를 포함하는 미세유로 구조체; 상기 미세유로 구조체의 상부에 형성된 사각뿔대 형상의 프리즘; 상기 미세유로에 제 1 시료가 포함된 완충용액을 주입하는 시료 주입부; 상기 프리즘을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 상기 미세유로에 조사하는 편광발생부; 상기 편광된 입사광 중, 상기 시료검출층으로부터 반사되는 제 1 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부를 포함하되, 상기 프리즘은 상기 프리즘으로 입사된 편광된 입사광 중, 상기 프리즘의 하부 경계면 및 상기 미세유로에 주입된 완충용액의 경계면에서 반사된 제 2 반사광을 상기 프리즘의 상부 경계면에서 전반사 시키는 것을 특징으로 한다.

    수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법

    公开(公告)号:WO2020013517A1

    公开(公告)日:2020-01-16

    申请号:PCT/KR2019/008147

    申请日:2019-07-03

    Abstract: 본 발명은 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 파장 의존성이 있는 보상기를 파장 의존성이 없는 선형편광자로 대체함으로써, 장비 교정절차를 간소화할 수 있게 함과 동시에 측정파장 영역 확장을 용이하게 실현할 수 있도록 해 주는, 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법을 제공함에 있다.

    경사 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법
    6.
    发明申请
    경사 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법 审中-公开
    重要事件,事故,硅基,基于微信道的测量设备和测量方法

    公开(公告)号:WO2017003079A1

    公开(公告)日:2017-01-05

    申请号:PCT/KR2016/004386

    申请日:2016-04-27

    Abstract: 본 발명의 일례와 관련된 경사 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치는, 지지대와 지지대 상에 형성된 반도체 또는 유전체로 구성된 기판, 프리즘 구조로 구비되어 상기 지지대 상에 설치되는 덮개부 및 상기 지지대 상부와 상기 덮개부 하단 중 어느 하나에 형성되는 미세유로를 구비한 미세유로 구조체; 미세유로에 바이오물질의 시료가 포함된 완충용액을 주입하여 기판 상에 시료의 흡착층을 형성시키는 시료주입부; 상기 프리즘의 입사면을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 상기 흡착층에 조사하는 편광발생부; 및 상기 흡착층 및 상기 기판 중 적어도 하나로부터 반사되는 제 1 반사광이 상기 프리즘의 반사면을 통해 입사되고, 상기 제 1 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부;를 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 与本发明的一个实施例相关的倾斜入射,棱镜入射,基于硅的浸入式微通道的测量装置可以包括:具有支撑体的微通道结构,由半导体或电介质材料形成的衬底, 支撑件,具有棱镜结构并安装在支撑件上的盖部件和形成在支撑件的上部或盖部分的下部的微通道; 用于将含有生物材料样品的缓冲溶液注入微通道的样品注入部分,以在基底上形成样品的吸附层; 偏振光产生部,其通过棱镜的入射面以适合P波反射反射条件的入射角度将偏振光入射到所述吸附层上; 以及偏振光检测部,从吸附层和/或基板反射的第一反射光入射到该偏振光检测部,该偏振光检测部通过棱镜的反射面并检测第一反射光的偏振变化。

    사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법

    公开(公告)号:KR101884091B1

    公开(公告)日:2018-08-02

    申请号:KR1020160161948

    申请日:2016-11-30

    CPC classification number: G01N21/21 G01N21/552 G01N33/543 G01N35/08

    Abstract: 본발명은사다리꼴입사구조프리즘입사형실리콘기반액침미세유로측정장치및 측정방법에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른사다리꼴입사구조프리즘입사형실리콘기반액침미세유로측정장치는지지대와상기지지대상에형성되고제 1 시료를검출하기위한제 1 생체결합물질이고정화된시료검출층이형성된적어도하나의미세유로를포함하는미세유로구조체; 상기미세유로구조체의상부에형성된사각뿔대형상의프리즘; 상기미세유로에제 1 시료가포함된완충용액을주입하는시료주입부; 상기프리즘을통해편광된입사광을 p파무반사조건에만족되는입사각으로상기미세유로에조사하는편광발생부; 상기편광된입사광중, 상기시료검출층으로부터반사되는제 1 반사광의편광변화를검출하는편광검출부를포함하되, 상기프리즘은상기프리즘으로입사된편광된입사광중, 상기프리즘의하부경계면및 상기미세유로에주입된완충용액의경계면에서반사된제 2 반사광을상기프리즘의상부경계면에서전반사시키는것을특징으로한다.

    무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법
    9.
    发明公开
    무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 有权
    用于测量样品的MUELLER-MATIRX元素的旋光元件ELLIPSOMETER和方法

    公开(公告)号:KR1020160109786A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:KR1020150034847

    申请日:2015-03-13

    Abstract: 본발명은광소자회전형타원계측기에관한것으로서, 보다상세하게는시편에의해반사또는투과된광의편광상태변화를측정및 분석하여시편의뮬러행렬성분을측정하는데사용되는타원계측기에관한것이다. 본발명은일 실시예는시편을향하여입사광을방사하는광원, 상기입사광의진행경로상 상기광원과상기시편사이에배치되며상기광원에서방사된상기입사광을편광시키는고정편광자, 상기입사광의진행경로상 상기고정편광자와상기시편사이에배치되며상기고정편광자를통과한광이입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전편광자, 상기등속회전편광자를통과하여편광된광이상기시편에의해반사또는투과되면서편광상태가변화되어입사되며상기입사된광을편광시키는등속으로회전하는등속회전검광자, 상기등속회전검광자를통과하여편광된광이입사되며상기입사된광을편광시키는고정검광자, 상기고정검광자를통과하여편광된광이입사되며입사된광의노광량을검출하고상기노광량에상응하는광의복사속의값을출력하는광검출기를포함할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及具有旋转无彩色光学元件的椭偏仪,更具体地说,涉及一种能够通过测量和分析由样品透射或反射的光的偏振状态的变化来测量样品的mueller矩阵分量的椭偏仪 。 根据实施例,本发明包括:将入射光辐射到样品的光源; 在入射光的进行路线上放置在样品和光源之间的固定的偏振片,并且偏振从光源辐射的入射光; 在入射光的进行路线上放置在样品和固定偏振器之间的恒定旋转偏振器,使光通过固定偏振器,并以恒定速度旋转以使入射光偏振; 通过改变由于样品的透射或反射而产生的偏振状态并以恒定的速度旋转以使入射光偏振的恒定旋转分析仪,通过恒定旋转偏振器偏振光, 采用恒定旋转分析仪进行偏振的固定分光仪,使入射光偏振; 以及通过固定分析器偏振的光的光检测器,检测入射光的曝光量,并输出与曝光量对应的光的辐射通量的值。

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