Abstract:
본 발명은 광소자 회전형 타원계측기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시편에 의해 반사 또는 투과된 광의 편광상태 변화를 측정 및 분석하여 시편의 뮬러 행렬성분을 측정하는데 사용되는 타원계측기에 관한 것이다. 본 발명은 일 실시예는 시편을 향하여 입사광을 방사하는 광원, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시편 사이에 배치되며 상기 광원에서 방사된 상기 입사광을 편광시키는 고정 편광자, 상기 입사광의 진행경로 상 상기 고정편광자와 상기 시편 사이에 배치되며 상기 고정편광자를 통과한 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 편광자, 상기 등속회전 편광자를 통과하여 편광된 광이 상기 시편에 의해 반사 또는 투과되면서 편광상태가 변화되어 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 검광자, 상기 등속회전 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 고정 검광자, 상기 고정 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며 입사된 광의 노광량을 검출하고 상기 노광량에 상응하는 광의 복사속의 값을 출력하는 광검출기를 포함할 수 있다.
Abstract:
본 발명의 일 실시 예는 다중반사를 통하여 시료검출 층에서 반사되는 제1반사광과, 프리즘-완충용액 경계면에서 반사되는 제2반사광이 완전히 분리되도록 하고 다중반사를 통해 여러 번 입사시킴으로써 측정감도를 증폭시키기 위한 다중반사 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 다중반사 액침 실리콘 기반 미세유로 측정장치는, 지지대와 지지대 상에 형성되고 시료를 검출하기 위한 생체 결합물질이 고정화된 시료검출층이 형성된 적어도 하나 이상의 미세유로를 포함하는 미세유로 구조체; 시료를 포함하는 완충용액을 미세유로에 주입하는 시료주입부; 프리즘 및, 프리즘의 밑면에 거울 반사 코팅되어 형성되는 반사체를 구비하는 프리즘유닛; 편광(polairzed light)을 발생시키는 편광발생부; 및 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부;를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치 및 측정방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 사다리꼴 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치는 지지대와 상기 지지대 상에 형성되고 제 1 시료를 검출하기 위한 제 1 생체 결합물질이 고정화된 시료검출층이 형성된 적어도 하나의 미세유로를 포함하는 미세유로 구조체; 상기 미세유로 구조체의 상부에 형성된 사각뿔대 형상의 프리즘; 상기 미세유로에 제 1 시료가 포함된 완충용액을 주입하는 시료 주입부; 상기 프리즘을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 상기 미세유로에 조사하는 편광발생부; 상기 편광된 입사광 중, 상기 시료검출층으로부터 반사되는 제 1 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부를 포함하되, 상기 프리즘은 상기 프리즘으로 입사된 편광된 입사광 중, 상기 프리즘의 하부 경계면 및 상기 미세유로에 주입된 완충용액의 경계면에서 반사된 제 2 반사광을 상기 프리즘의 상부 경계면에서 전반사 시키는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
액침(液浸) 미세유로 환경하에서 타원계측법을 이용한 저분자 바이오물질 등의 분자접합특성 및 완충용액 굴절률 동시 측정장치와 측정방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 프리즘 구조와 미세유로를 이용하여 반도체 등 기판물질에 형성된 바이오 물질의 흡착층에 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되도록 입사시킴으로써 완충용액의 굴절률 변화와 바이오 물질의 접합 동특성을 동시에 고감도로 측정할 수 있는 장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 파장 의존성이 있는 보상기를 파장 의존성이 없는 선형편광자로 대체함으로써, 장비 교정절차를 간소화할 수 있게 함과 동시에 측정파장 영역 확장을 용이하게 실현할 수 있도록 해 주는, 수직입사 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 광물성 측정 방법을 제공함에 있다.
Abstract:
본 발명의 일례와 관련된 경사 입사구조 프리즘 입사형 실리콘 기반 액침 미세유로 측정장치는, 지지대와 지지대 상에 형성된 반도체 또는 유전체로 구성된 기판, 프리즘 구조로 구비되어 상기 지지대 상에 설치되는 덮개부 및 상기 지지대 상부와 상기 덮개부 하단 중 어느 하나에 형성되는 미세유로를 구비한 미세유로 구조체; 미세유로에 바이오물질의 시료가 포함된 완충용액을 주입하여 기판 상에 시료의 흡착층을 형성시키는 시료주입부; 상기 프리즘의 입사면을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 상기 흡착층에 조사하는 편광발생부; 및 상기 흡착층 및 상기 기판 중 적어도 하나로부터 반사되는 제 1 반사광이 상기 프리즘의 반사면을 통해 입사되고, 상기 제 1 반사광의 편광변화를 검출하는 편광검출부;를 포함할 수 있다.