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公开(公告)号:KR102037733B1
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:KR1020180017645
申请日:2018-02-13
Applicant: 한국항공대학교산학협력단
Inventor: 신명훈 , 조정후 , 이강후 , 이재성 , 이상아
IPC: G01J1/42 , H01L31/10 , G01J1/20