메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:KR102200854B1

    公开(公告)日:2021-01-11

    申请号:KR1020197005475

    申请日:2017-08-31

    Abstract: 에칭후의형상변화를억제함과아울러, 더양호한에칭성을갖는메탈마스크용소재와그 제조방법을제공한다. 압연방향에있어서의표면거칠기와압연방향과직교하는방향에있어서의표면거칠기가모두 0.05㎛≤Ra≤0.25㎛, Rz≤1.5㎛, 왜도 Rsk가 0 미만이며, 상기메탈마스크용소재로부터길이 150㎜, 폭 30㎜의시료를잘라내어상기시료를편측으로부터에칭하고, 상기시료의판 두께의 60%를제거했을때의휨량이 15㎜이하이며, 판두께가 0.01㎜이상 0.10㎜미만인메탈마스크용소재.

    Fe-Ni계 합금 박판의 제조 방법 및 Fe-Ni계 합금 박판

    公开(公告)号:KR102225061B1

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:KR1020197025191

    申请日:2018-03-01

    Abstract: 적은트리밍량으로양호한평탄도를얻을수 있는 Fe-Ni계합금박판및 그제조방법을제공한다. Fe-Ni계합금열간압연재를사용한냉간압연용소재에냉간압연을실시하여두께 0.4㎜이하의중간냉연소재를제작하는중간냉간압연공정과, 상기중간냉연소재를냉간압연해서두께 0.2㎜이하의박판으로하는마무리냉간압연공정과, 상기박판에형상교정을행하는형상교정공정을포함하고, 상기마무리냉간압연공정에서는중간롤 시프트기구를갖는다단압연기를사용하고, 중간롤 단부와중간냉연소재단부사이의평행거리인중간롤 시프트량을 0~+9㎜로조정하여냉간압연이행해지고, 상기형상교정공정에서는신장률 0.3~0.7의형상교정이행해지는것을특징으로하는 Fe-Ni계합금박판의제조방법.

    메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법

    公开(公告)号:KR102217049B1

    公开(公告)日:2021-02-18

    申请号:KR1020197006910

    申请日:2017-09-15

    Abstract: 본발명은, 산화물계비금속개재물이미세하며, 개수도매우적은우수한에칭가공성을발휘하는것이가능한메탈마스크용소재를제공하는것을목적으로한다. 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를함유하고, 잔부가 Fe 및불가피적불순물로이루어지는조성을갖는메탈마스크용소재로서, 상기메탈마스크용소재 1g당에있어서의직경 10.0㎛를초과하는산화물계비금속개재물이 2.0개이하이며, 직경이 6.0∼10.0㎛인산화물계비금속개재물의개수가 20.0개이하이며, 판두께 0.25mm 이하의박판형상인메탈마스크용소재및 그제조방법.

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