公开(公告)号：DE69203620T2

公开(公告)日：1996-03-14

申请号：DE69203620

申请日：1992-01-23

Applicant: IBM

Inventor： LEE VICTOR Y ,  LEE WEN Y ,  SALEM JESSE R

IPC: C01G1/00 ,  C01G15/00 ,  C23C14/08 ,  C30B29/22 ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 ,  H01L39/24

公开(公告)号：DE69203620D1

公开(公告)日：1995-08-31

申请号：DE69203620

申请日：1992-01-23

Applicant: IBM

Inventor： LEE VICTOR Y ,  LEE WEN Y ,  SALEM JESSE R

IPC: C01G1/00 ,  C01G15/00 ,  C23C14/08 ,  C30B29/22 ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 ,  H01L39/24