公开(公告)号：DE3856187D1

公开(公告)日：1998-06-25

申请号：DE3856187

申请日：1988-06-28

Applicant: IBM DEUTSCHLAND

Inventor： ASCH KARL ,  KEYSER JOACHIM ,  MEISSNER KLAUS ,  ZAPKA WERNER

IPC: B23K26/00 ,  B08B7/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/268 ,  H01L21/30 ,  H01L21/304

公开(公告)号：DE3856187T2

公开(公告)日：1999-02-04

申请号：DE3856187

申请日：1988-06-28

Applicant: IBM DEUTSCHLAND

Inventor： ASCH KARL ,  KEYSER JOACHIM ,  MEISSNER KLAUS ,  ZAPKA WERNER

IPC: B23K26/00 ,  B08B7/00 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/268 ,  H01L21/30 ,  H01L21/304