公开(公告)号：CN103228404B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201180057310.1

申请日：2011-11-25

Applicant: THK株式会社

Inventor： 小松贵文 ,  福岛克也

IPC: B23Q1/48 ,  G12B5/00

CPC classification number: H02K7/14 ,  B23Q1/44 ,  B23Q1/623 ,  H02K41/03 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明提供一种对准载物台(10)具备：底板(11)；进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12)；设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31)；与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)；设置在下部板(31)与上部板(33)之间的一对旋转轴承(32)；Y方向推力产生引导机构(42)，其为进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，在设有一个X方向推力产生引导机构(12)时设置多个Y方向推力产生引导机构(42)，在设有多个X方向推力产生引导机构(12)时设置一个或者多个Y方向推力产生引导机构(42)；设置在Y方向推力产生引导机构(42)的上方的工作台板(51)。通过这样的结构，能够提供一种实现了紧凑化和组装的容易化的对准载物台。

公开(公告)号：CN103228404A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201180057310.1

申请日：2011-11-25

Applicant: THK株式会社

Inventor： 小松贵文 ,  福岛克也

IPC: B23Q1/48 ,  G12B5/00

CPC classification number: H02K7/14 ,  B23Q1/44 ,  B23Q1/623 ,  H02K41/03 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/18

Abstract: 本发明提供一种对准载物台(10)具备：底板(11)；进行向直线X方向的推力的产生和引导的一个或者多个X方向推力产生引导机构(12)；设置在X方向推力产生引导机构(12)的上方的一对下部板(31)；与下部板(31)对应设置的一对上部板(33)；设置在下部板(31)与上部板(33)之间的一对旋转轴承(32)；Y方向推力产生引导机构(42)，其为进行向与直线X方向正交的直线Y方向的推力的产生和引导的机构，在设有一个X方向推力产生引导机构(12)时设置多个Y方向推力产生引导机构(42)，在设有多个X方向推力产生引导机构(12)时设置一个或者多个Y方向推力产生引导机构(42)；设置在Y方向推力产生引导机构(42)的上方的工作台板(51)。通过这样的结构，能够提供一种实现了紧凑化和组装的容易化的对准载物台。