公开(公告)号：CN101084575B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200580043815.7

申请日：2005-12-12

Applicant: ULIS股份公司

Inventor： S·蒂尼斯

IPC: H01L21/48 ,  G01J5/06

CPC classification number: G01J5/061 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J2005/068 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 用于检测电磁辐射的这个部件包括：一限定腔(5)的盒体，腔(5)被置于真空或低压之下，所述盒体的一个表面含有窗户(4)，窗户(4)对于要检测的辐射是可透过的，所述腔包含用于检测所讨论的辐射的至少一个检测器(6)，检测器(6)被布置在所述腔内部基本对着可透过的窗户，一残留气体的泵吸装置或吸气器，以使腔(5)中的真空或低压保持在合理的水平，用于保证检测器的温度调节的热稳定装置(18)。热稳定装置包含被集成在限定盒体的一个壁的大部分中的电阻加热元件(18)。

公开(公告)号：CN101084575A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200580043815.7

申请日：2005-12-12

Applicant: ULIS股份公司

Inventor： S·蒂尼斯

IPC: H01L21/48 ,  G01J5/06

CPC classification number: G01J5/061 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J2005/068 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 用于检测电磁辐射的这个部件包括：—限定腔(5)的盒体，腔(5)被置于真空或低压之下，所述盒体的一个表面含有窗户(4)，窗户(4)对于要检测的辐射是可透过的，所述腔包含用于检测所讨论的辐射的至少一个检测器(6)，检测器(6)被布置在所述腔内部基本对着可透过的窗户，—残留气体的泵吸装置或吸气器，以使腔(5)中的真空或低压保持在合理的水平，—用于保证检测器的温度调节的热稳定装置(18)。热稳定装置包含被集成在限定盒体的一个壁的大部分中的电阻加热元件(18)。