公开(公告)号：CN105333814A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201510674455.6

申请日：2015-10-16

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 郭冬梅 ,  王鸣 ,  郝辉 ,  夏巍 ,  倪小琦

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0201

Abstract: 本发明涉及一种相位调制型激光反馈光栅干涉仪及其测量方法。其结构为：氦氖激光器发出的激光垂直入射至透射式衍射光栅，在入射光路两侧形成对称分布的各级次衍射光，衍射光栅的位移方向垂直于激光器的输出光路；电光调制器置于+1级次衍射光的光路上进行纯相位调制，调制后的衍射光垂直入射至平面反射镜并沿原光路返回，再次入射至衍射光栅发生二次衍射；二次+1级衍射光携带光栅位移信息沿激光器出射光的相反方向返回到激光器腔内与腔内光发生激光反馈干涉；光电探测器置于激光器后向输出光路上，光电探测器与运算放大器、数据采集卡和计算机依次连接，由计算机处理得到待测位移。本发明具有结构简单紧凑，测量范围大、对环境不敏感等优点。

公开(公告)号：CN103445864A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310195431.3

申请日：2013-05-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 任宰均 ,  李性德 ,  张祐荣

IPC: A61B19/00 ,  A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02083 ,  A61B5/0066 ,  A61B2576/00 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02087 ,  G01B9/02091

Abstract: 本发明提供一种用于产生断层扫描图像的设备和方法，所述方法包括：将沿相对于对象的横截面的第一方向被相位调制并包括对象的横截面信息的相干信号检测为关于对象的原始数据；通过对原始数据进行信号处理来产生参考临时断层扫描图像和至少一个临时断层扫描图像；基于将参考临时断层扫描图像和所述至少一个临时断层扫描图像进行比较的结果，并基于在参考临时断层扫描图像中是否存在伪像的统计值，检测参考临时断层扫描图像中的伪像；恢复伪像区域。

公开(公告)号：CN102576035A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080047796.6

申请日：2010-10-22

Applicant: 美国地震系统有限公司

Inventor： J·K·安德森 ,  E·L·戈德纳 ,  A·H·谢尔贝特钱 ,  G·R·贝克 ,  D·T·贝提松

IPC: G01P15/02 ,  G01P15/00 ,  G01B9/02 ,  G01D5/26

CPC classification number: G01D5/35312 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/0205 ,  G01D5/35316 ,  G01D5/35377 ,  G01H9/004 ,  G01L1/246 ,  G01P15/093 ,  G01V1/181 ,  G02B6/022

Abstract: 本发明提供一种光纤光学变换器。该光纤光学变换器包括配置为固定到感兴趣主体的固定部分；具有相对于所述固定部分的移动范围的可移动部分；定位在所述固定部分和所述可移动部分之间的弹簧；以及缠绕在所述固定部分和所述可移动部分之间的一段光纤。所述一段光纤跨越所述弹簧。所述光纤光学变换器还包括与所述可移动部分咬合的质量块。在该变换器的一个公开的方面中，该质量块包围所述可移动部分。

公开(公告)号：CN101983313A

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：CN200980109883.7

申请日：2009-02-17

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： P·R·勒布朗克 ,  V·M·施奈德 ,  J·P·特赖斯

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/70 ,  G01N21/95 ,  G01N2021/9513

Abstract: 一种用于测量物体表面形貌的装置包括光学配置，该光学配置能够：引导物体表面处的第一光束；提供与第一光束相干和相对于第一光束在空间上有相移的第二光束；以及从第二光束和来自物体表面的第一光束的反射光束中产生干涉光束。该装置还包括至少一个线扫描传感器，用于检测和测量干涉光束。

公开(公告)号：CN1877305A

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200610028629.2

申请日：2006-07-05

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 步鹏 ,  王向朝

IPC: G01N21/45 ,  A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02078 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02091

Abstract: 一种全深度探测的频域光学相干层析成像的方法及其系统，方法是利用正弦相位调制方法重建低相干光频域干涉信号的复振幅量，然后对该复振幅信号作逆傅立叶变换得到被测物体的层析图，以消除频域光学相干层析成像中存在的复共轭镜像、直流背景和自相干噪声三种寄生像，达到扩大频域光学相干层析成像的成像深度为原来的2倍，实现全深度探测的频域光学相干层析成像的目的。本发明与现有技术相比具有抗环境干扰能力强，对光源波长无关和系统结构简单的优点。

公开(公告)号：CN1784588A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200480012323.7

申请日：2004-03-08

Applicant: 齐戈股份有限公司

Inventor： 彼得·J·德格鲁特 ,  罗伯特·斯托纳 ,  泽维尔·C·德利加

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/06

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02084 ,  G01B9/02088 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/0675 ,  G01B2290/70

Abstract: 一种方法，其包括：将可从用于测试对象的第一表面位置的扫描干涉测量信号导出的信息和与测试对象的多个模型相对应的信息相比较，其中，通过一系列用于测试对象的特性而将所述多个模型参数化。与多个模型相对应的信息可包括：与每个测试对象的模型相对应的、有关扫描干涉测量信号的变换(例如，傅立叶变换)的至少一个幅值分量的信息。在第二方面中，所述模型对应于固定表面高度，并且，通过不同于固定表面高度的一系列特性将它们参数化。在第三方面中，所述比较包括：考虑对干涉测量信号的系统贡献。

公开(公告)号：CN106767389A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201510812595.5

申请日：2015-11-20

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 蒋超 ,  张辉钦 ,  郭仁慧 ,  郑东晖 ,  李建欣 ,  陈磊 ,  何勇 ,  乌兰图雅

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0201

Abstract: 本发明提供一种基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置，包括沿光路方向依次放置干涉系统、棱镜分光移相系统和成像系统，来自激光器的光进入干涉系统，用四分之一波片前表面作为参考面，透射光来回二次经过四分之一波片与反射光形成带有被测件信息的正交偏振光；正交的偏振光进入棱镜分光移相系统，分成三束相位偏差依次为0，π/2和-π/2的平行正交偏振光；最后进入成像系统，在缩束后经过偏振片再经成像物镜成像到探测器上形成三幅干涉条纹。本发明能有效防止环境振动的干扰，具有光能利用率高，结构紧凑，系统误差小的特点。

公开(公告)号：CN104279969A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410320417.6

申请日：2014-07-04

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 金在完 ,  金钟安 ,  姜宙植 ,  陈宗汉

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/06 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02081 ,  G01B11/14 ,  G01N21/211 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/213 ,  G01S17/36

Abstract: 本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤：将第一波长λ1的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度；将第二波长λ2的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度；并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。

公开(公告)号：CN102057269B

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN200980120703.5

申请日：2009-11-23

Applicant: 齐戈股份有限公司

Inventor： 马克·戴维森 ,  简·莱塞纳 ,  彼得·德格鲁特 ,  泽维尔·科洛纳德莱加 ,  莱斯利·L·德克

IPC: G01N21/45 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: 一种设备包括宽带扫描干涉测量系统，该系统包括光学部件，用以结合来自测试物的测试光和参考光，而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD)的台，以及包括探测器的探测器系统，用以记录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案，每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号，当扫描光程差时，干涉测量信号的每一者表示光程差的变化，探测器系统被配置以记录监测干涉测量信号。该设备包括处理器，被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD增量，决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。

公开(公告)号：CN102038488B

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201010515587.1

申请日：2010-10-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 广濑太 ,  齐藤贤一

IPC: A61B3/14

CPC classification number: G02B27/286 ,  A61B3/102 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02067 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70 ,  G02B26/06 ,  G02F1/13318 ,  G02F1/13363 ,  G02F2201/58 ,  G02F2203/12 ,  G02F2203/18 ,  G02F2203/50

Abstract: 一种自适应光学设备、成像设备、以及自适应光学方法。所述自适应光学设备包括：第一转换单元，其被构造为将光的两个偏振分量中的一个的偏振方向转换为所述偏振分量中的另一个的偏振方向，光由光源发射；光调制单元，其被构造为在经转换的偏振方向上对通过第一转换单元转换的光的两个偏振分量进行调制；第二转换单元，其被构造为将被光调制单元调制的光的偏振分量的方向转换为彼此交叉的方向；和照射单元，其被构造为用被光调制单元转换的光照射物体。