公开(公告)号：CN105793970B

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201480065989.2

申请日：2014-11-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  C·马克奈顿 ,  E·张

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0675 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/125 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70616

Abstract: 本发明提供用于确定晶片检验过程的一或多个参数的方法及系统。一种方法包含采集由晶片计量系统产生的针对晶片的计量数据。所述方法还包含基于所述计量数据而确定用于所述晶片或另一晶片的晶片检验过程的一或多个参数。

公开(公告)号：CN101424612A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200810173297.6

申请日：2008-10-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 古木基裕 ,  今西慎吾 ,  筱田昌孝 ,  铃木明俊 ,  三宅和司

IPC: G01N15/00 ,  G01N21/00 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: 本发明披露了一种能够获得高测量精度的微粒测量方法、用于测量的基板以及测量装置。所述微粒测量方法通过用光扫描样品流体通道而对引入到以预定距离设置在基板上的多个样品流体通道中的微粒进行光学测量。该方法包括：用光顺序照射至少两个或更多个与样品流体通道一起设置的参考区域；检测由参考区域引起的在光中发生的光学特性的变化；以及控制光对样品流体通道的发射时间。

公开(公告)号：CN105492889B

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201480047682.X

申请日：2014-05-13

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵龙在 ,  诸葛园 ,  赵贤模

IPC: G01N21/17

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/001 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/11

Abstract: 提供一种光学元件旋转类型的穆勒矩阵椭圆偏振仪，其用于解决由于在根据现有技术的能够测量任何样品的穆勒矩阵的一些或所有元素的双光学元件旋转类型的穆勒矩阵椭圆偏振仪中光源的剩余偏振、光检测器的偏振依赖性、高次项的傅立叶系数的测量值而引起的测量准确性和测量精度的问题。

公开(公告)号：CN101424612B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200810173297.6

申请日：2008-10-31

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 古木基裕 ,  今西慎吾 ,  筱田昌孝 ,  铃木明俊 ,  三宅和司

IPC: G01N15/00 ,  G01N21/00 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: 本发明披露了一种能够获得高测量精度的微粒测量方法、用于测量的基板以及测量装置。所述微粒测量方法通过用光扫描样品流体通道而对引入到以预定距离设置在基板上的多个样品流体通道中的微粒进行光学测量。该方法包括：用光顺序照射至少两个或更多个与样品流体通道一起设置的参考区域；检测由参考区域引起的在光中发生的光学特性的变化；以及控制光对样品流体通道的发射时间。

公开(公告)号：CN105793970A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480065989.2

申请日：2014-11-05

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·帕克 ,  C·马克奈顿 ,  E·张

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0675 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/125 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70616

Abstract: 本发明提供用于确定晶片检验过程的一或多个参数的方法及系统。一种方法包含采集由晶片计量系统产生的针对晶片的计量数据。所述方法还包含基于所述计量数据而确定用于所述晶片或另一晶片的晶片检验过程的一或多个参数。

公开(公告)号：CN105492889A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480047682.X

申请日：2014-05-13

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵龙在 ,  诸葛园 ,  赵贤模

IPC: G01N21/17

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01J2004/001 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/11

Abstract: 提供一种光学元件旋转类型的穆勒矩阵椭圆偏振仪，其用于解决由于在根据现有技术的能够测量任何样品的穆勒矩阵的一些或所有元素的双光学元件旋转类型的穆勒矩阵椭圆偏振仪中光源的剩余偏振、光检测器的偏振依赖性、高次项的傅立叶系数的测量值而引起的测量准确性和测量精度的问题。

公开(公告)号：US20090116005A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：US12259235

申请日：2008-10-27

Applicant: Motohiro FURUKI ,  Shingo IMANISHI ,  Masataka SHINODA ,  Akitoshi SUZUKI ,  Kazushi MIYAKE

Inventor： Motohiro FURUKI ,  Shingo IMANISHI ,  Masataka SHINODA ,  Akitoshi SUZUKI ,  Kazushi MIYAKE

IPC: G01N21/05

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: A fine particle measuring method of performing optical measurement of fine particles introduced into a plurality of sample fluidic channels provided at predetermined distances on a substrate by scanning light to the sample fluidic channels is disclosed. The method includes: sequentially irradiating the light to at least two or more reference regions provided together with the sample fluidic channels; detecting a change of optical property occurring in the light due to the reference regions; and controlling timing of emission of the light to the sample fluidic channels.

Abstract translation: 公开了一种微粒测量方法，其通过向样品流体通道扫描光来对引入到以预定距离设置在基板上的多个样品流体通道中的微粒进行光学测量。 该方法包括：顺序地将光照射到与样品流体通道一起提供的至少两个或更多个参考区域; 检测由于参考区域而在光中发生的光学特性的变化; 并控制向样品流体通道发射光的定时。

公开(公告)号：EP3260845A2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：EP17168073.9

申请日：2017-04-25

Applicant: Fujifilm Corporation

Inventor： KOBAYASHI, Takashi

IPC: G01N21/64 ,  G01T1/20 ,  G01N27/447

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6486 ,  G01N27/44717 ,  G01N27/44721 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/06193 ,  G01N2201/11

Abstract: There are provided a control device of an image reading apparatus, an operation method and an operation program thereof, and an image detection system capable of quickly and easily outputting an image having an appropriate density for analysis from an image reading apparatus. An image receiving unit (80) receives a pre-image output in pre-scanning performed before main scanning for outputting a main image for analysis in an image reading apparatus (11). A region information receiving unit (81) receives information of a region in the pre-image designated by a user. A calculation unit (83) calculates an appropriate voltage value (HVM) that is a voltage value of the photomultiplier (31) at which a density of the region becomes an appropriate density for analysis. A scanning conditions setting unit (84) sets the appropriate voltage value (HVM) as temporary scanning conditions (76M) of main scanning.

公开(公告)号：US20190079008A1

公开(公告)日：2019-03-14

申请号：US15772493

申请日：2016-02-28

Applicant: Hewlett-Packard Development Company, L.P.

Inventor： Ning GE

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/65

CPC classification number: G01N21/648 ,  G01N21/658 ,  G01N2021/1734 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/11

Abstract: A sample comprising a first substance and a second substance is modified by breaking down molecular bonds of the second substance of the sample to form a modified sample having altered surface enhanced luminescence (SEL) characteristics to reduce overlapping of SEL characteristics of the first substance in the second substance. Surface enhanced luminescence data resulting from excitation of the modified sample is collected. Characteristics of the first substance based upon the collected surface enhanced luminescence data are identified.

公开(公告)号：US09702827B1

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：US14946604

申请日：2015-11-19

Applicant: KLA-Tencor Corporation

Inventor： Bjorn Brauer ,  Ravikumar Sanapala

IPC: G01N21/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/11

Abstract: Methods and systems for selecting one or more modes of an inspection subsystem or system for inspection of a specimen are provided. The systems described herein are configured to acquire output for all of the modes to be considered at a location of a known defect on the specimen by aligning output, which is generated at the location with a mode known to generate output in which patterned features on the specimen are resolved to a degree that allows the output to be aligned to design data, with the design data for the specimen to identify the location with substantially high accuracy and then without moving the field of view of the inspection subsystem or system from that location, acquiring the output for all other modes. All of the acquired output can then be used to select mode(s) for inspection of the specimen or another specimen of the same type.