自己整合コンタクト及びローカル相互接続を形成する方法
    100.
    发明专利
    自己整合コンタクト及びローカル相互接続を形成する方法 有权
    形成自对准接触和局部互连的方法

    公开(公告)号:JP2015502039A

    公开(公告)日:2015-01-19

    申请号:JP2014542328

    申请日:2012-11-01

    CPC classification number: H01L27/088 H01L21/76801 H01L21/76895 H01L21/76897

    Abstract: 半導体装置の製造方法は、絶縁マンドレルを、半導体基板上に置換金属ゲートを介して、ソース及びドレインを有する第1のゲート(104)と、第1のゲート(104)から分離された少なくとも1つの第2のゲート(104’)と共に形成するステップを有する。マンドレルスペーサ(124)は、絶縁マンドレルの周囲に形成される。マンドレル及びマンドレルスペーサは、第1の絶縁材料を含む。第2の絶縁材料の第2の絶縁層(126)は、トランジスタ上に形成される。絶縁マンドレル間の第2の絶縁材料を除去することによって、1つ以上の第1のトレンチを、第1のゲートのソース及びドレインに対して形成する。第2のゲートの上方の第1の絶縁材料及び第2の絶縁材料の部分を除去することによって、第2のトレンチを、第2のゲートに対して形成する。第1のトレンチ及び第2のトレンチに導電性材料を充填して、第1のゲートのソース及びドレインに対する第1のコンタクト(132)と、第2のゲートに対する第2のコンタクト(142)とを形成する。【選択図】図17

    Abstract translation: 在半导体衬底上制造半导体器件,绝缘心轴,通过更换金属栅极的方法中,具有源极和漏极(104),其中至少一个第一栅极,从所述第一栅极分离(104) 包括与所述第二栅极(104“)一起形成的步骤。 心轴间隔件(124)围绕所述绝缘心轴形成。 该心轴和心轴间隔件包括第一绝缘材料。 的第二绝缘材料(126)的第二绝缘层在晶体管形成。 通过去除绝缘心轴之间的第二绝缘材料,一个或多个第一沟槽,以形成第一栅极的源极和漏极。 通过去除所述第一绝缘材料和在所述第二栅极的第二绝缘材料的一部分,第二槽形成到所述第二栅极。 通过填充在所述第一沟槽的导电材料和第二沟槽,所述第一接触到源极和所述第一栅极(132)的漏极,和第二接触到第二栅极(142) 地层。 .The 17

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