公开(公告)号：TW200912323A

公开(公告)日：2009-03-16

申请号：TW097127267

申请日：2008-07-18

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 山田佳男 YAMADA, YOSHIO ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  井沼毅 INUMA, TSUYOSHI ,  赤尾崇 AKAO, TAKASHI

IPC: G01R ,  H01L

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07371

Abstract: 本發明提供一種探針卡,其係可提升用以收容使電路構造間電氣連接之探針的探針頭相對於預定基準面之平行度的精確度及平面度的精確度。為了達成此目的,探針卡係具備:探針頭15,用以保持多數支探針;平板狀佈線基板11,具有對應電路構造之佈線圖案;夾入件(interposer)13,積層於佈線基板11,用以中繼佈線基板11之佈線;空間變換器(Space Transformer)14,夾設於夾入件13與探針頭15之間,用以變換夾入件13所中繼之佈線間隔,並將經此變換後之佈線顯現於與探針頭15相對向之表面;以及多數個柱構件18,形成具有高度比佈線基板11之板厚與夾入件13之板厚之和還大的大致柱狀,而向佈線基板11與夾入件13之板厚方向貫穿並埋設於佈線基板及夾入件中,上述多數個柱構件之一方之底面頂接於空間變換器。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种探针卡,其系可提升用以收容使电路构造间电气连接之探针的探针头相对于预定基准面之平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的,探针卡系具备:探针头15,用以保持多数支探针;平板状布线基板11,具有对应电路构造之布线图案;夹入件(interposer)13,积层于布线基板11,用以中继布线基板11之布线;空间变换器(Space Transformer)14,夹设于夹入件13与探针头15之间,用以变换夹入件13所中继之布线间隔,并将经此变换后之布线显现于与探针头15相对向之表面;以及多数个柱构件18,形成具有高度比布线基板11之板厚与夹入件13之板厚之和还大的大致柱状,而向布线基板11与夹入件13之板厚方向贯穿并埋设于布线基板及夹入件中,上述多数个柱构件之一方之底面顶接于空间变换器。

公开(公告)号：TWI306948B

公开(公告)日：2009-03-01

申请号：TW095132134

申请日：2006-08-31

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 佐佐木俊輔 SASAKI, SHUNSUKE ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R ,  H01L

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/44

Abstract: 本發明之目的在於提供一種探針卡,具有高頻率之電信號的傳送特性優良,且不花費成本而具有良好的經濟效益。為了達成此目的,本發明之探針卡係具備:與設置在作為檢查對象之半導體晶圓之複數個電極接觸,而進行電信號的輸入或輸出之複數個探針;收納上述複數個探針之探針頭;可接觸於上述探針頭,且於與上述探針頭相對向之表面附近具有與上述複數個探針連接之配線之基板;埋設於上述基板,且由熱膨脹係數較上述基板更小之原材所構成之核心層;及包含貫通上述基板厚度方向中未埋設上述核心層之部分的厚度方向而成之通孔,且經由上述配線及上述通孔,而將上述複數個探針的至少一部分與外部的檢查裝置之端子電性連接之連接機構。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种探针卡,具有高频率之电信号的发送特性优良,且不花费成本而具有良好的经济效益。为了达成此目的,本发明之探针卡系具备:与设置在作为检查对象之半导体晶圆之复数个电极接触,而进行电信号的输入或输出之复数个探针;收纳上述复数个探针之探针头;可接触于上述探针头,且于与上述探针头相对向之表面附近具有与上述复数个探针连接之配线之基板;埋设于上述基板,且由热膨胀系数较上述基板更小之原材所构成之内核层;及包含贯通上述基板厚度方向中未埋设上述内核层之部分的厚度方向而成之通孔,且经由上述配线及上述通孔,而将上述复数个探针的至少一部分与外部的检查设备之端子电性连接之连接机构。

公开(公告)号：TWI297077B

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：TW092108909

申请日：2003-04-16

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/07314

Abstract: 一支承件(1)係藉由疊合支持構件(3)、(4)與(5)及使支承孔(2)通過它們而形成，一對針構件(9)與(10)係設置在螺旋彈簧(8)之各端上，在一側上之各針構件(9)係藉其中一支持構件(3)來防止脫出。在被收納在該支承孔之大徑孔(2b)中之凸緣部份(9b)與該針部份(10a)之尖端之間的長度L係大致等於該支承件(1)之大徑孔(2b)的深度D，因為該等螺旋彈簧係位於一未受應力之狀態，當至少一針構件無法由該支承孔之一對應端突出時，防止該等針構件突出之部份將不會受到該等螺旋彈簧之壓力負載，因此，即使該支承件具有一小厚度，可避免該支承件之彎曲或彎折，且該支承件可使用一具有一小熱膨脹係數之如陶瓷材料的材料。

Abstract in simplified Chinese: 一支承件(1)系借由叠合支持构件(3)、(4)与(5)及使支承孔(2)通过它们而形成，一对针构件(9)与(10)系设置在螺旋弹簧(8)之各端上，在一侧上之各针构件(9)系藉其中一支持构件(3)来防止脱出。在被收纳在该支承孔之大径孔(2b)中之凸缘部份(9b)与该针部份(10a)之尖端之间的长度L系大致等于该支承件(1)之大径孔(2b)的深度D，因为该等螺旋弹簧系位于一未受应力之状态，当至少一针构件无法由该支承孔之一对应端突出时，防止该等针构件突出之部份将不会受到该等螺旋弹簧之压力负载，因此，即使该支承件具有一小厚度，可避免该支承件之弯曲或弯折，且该支承件可使用一具有一小热膨胀系数之如陶瓷材料的材料。

公开(公告)号：TW200813442A

公开(公告)日：2008-03-16

申请号：TW096129931

申请日：2007-08-14

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 大屋敷由香 OOYASHIKI, YUKA ,  茂木孝浩 MOTEGI, TAKAHIRO

IPC: G01R ,  H01L

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07314

Abstract: 本發明之目的在於提供一種耐久性佳之導電性接觸件單元。為了達成此目的,本發明之導電性接觸件單元係具備複數個板狀之導電性接觸件及棒狀構件,該導電性接觸件具有:第1接觸部,係與輸出檢查用訊號之電路構造接觸;彈性部,係可朝長度方向伸縮之彈性部;第2接觸部,其與檢查對象接觸之前端比前述彈性部之寬度方向之端緣部更朝遠離寬度方向的中心軸的方向突出;及第2連接部,係連接前述彈性部與前述第2接觸部,且設有貫穿於板厚方向並將與前述長度方向平行之邊作為長邊的長方形狀之開口部;該棒狀構件係固定在導電性接觸件保持具,且貫通分別設置在前述複數個導電性接觸件的前述開口部;並且前述棒狀構件之與長度方向垂直之剖面係形成為,藉由從一長方形切除包含有位於下方之短邊之至少一部分之區域所得的形狀,其中前述長方形係將具有與前述開口部之短邊長度大致相等且比該開口部之短邊長度更短之長度的2邊、亦即與前述開口部之短邊平行之2邊作為短邊。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种耐久性佳之导电性接触件单元。为了达成此目的,本发明之导电性接触件单元系具备复数个板状之导电性接触件及棒状构件,该导电性接触件具有:第1接触部,系与输出检查用信号之电路构造接触;弹性部,系可朝长度方向伸缩之弹性部;第2接触部,其与检查对象接触之前端比前述弹性部之宽度方向之端缘部更朝远离宽度方向的中心轴的方向突出;及第2连接部,系连接前述弹性部与前述第2接触部,且设有贯穿于板厚方向并将与前述长度方向平行之边作为长边的长方形状之开口部;该棒状构件系固定在导电性接触件保持具,且贯通分别设置在前述复数个导电性接触件的前述开口部;并且前述棒状构件之与长度方向垂直之剖面系形成为,借由从一长方形切除包含有位于下方之短边之至少一部分之区域所得的形状,其中前述长方形系将具有与前述开口部之短边长度大致相等且比该开口部之短边长度更短之长度的2边、亦即与前述开口部之短边平行之2边作为短边。

公开(公告)号：TW200812930A

公开(公告)日：2008-03-16

申请号：TW096126880

申请日：2007-07-24

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 宮地真也 MIYAJI, SHINYA ,  齋藤慎二 SAITO, SHINJI

IPC: C04B ,  G01R

CPC classification number: G01R3/00 ,  C04B35/20 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/3427 ,  C04B2235/652 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/9607 ,  G01R1/07314 ,  G01R1/07371 ,  G01R1/44

Abstract: 本發明係提供一種具有接近於矽的熱膨脹係數且具有良好的加工性之陶瓷構件,使用此陶瓷構件所形成之探針固持具,以及陶瓷構件之製造方法。為了達成此目的,至少將雲母及二氧化矽予以混合,將定向為單方向之外力作用於所混合的混合物,並將上述混合物予以燒結。若混合物之雲母的體積含有率為70至90體積%,且二氧化矽的體積含有率為10至30體積%,則更為理想。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种具有接近于硅的热膨胀系数且具有良好的加工性之陶瓷构件,使用此陶瓷构件所形成之探针固持具,以及陶瓷构件之制造方法。为了达成此目的,至少将云母及二氧化硅予以混合,将定向为单方向之外力作用于所混合的混合物,并将上述混合物予以烧结。若混合物之云母的体积含有率为70至90体积%,且二氧化硅的体积含有率为10至30体积%,则更为理想。

公开(公告)号：TWI292828B

公开(公告)日：2008-01-21

申请号：TW094139569

申请日：2005-11-11

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R31/2891 ,  G01R31/2884

Abstract: 本發明提供一種具有簡易之構成，而且在與檢查對象之間可進行正確對位之接觸單元。在接觸單元(2)所具備之支撐基板(15)之上面，對應於作為檢查對象之電路形成區域(5a)所具備之測試墊(11)之配置形態，配置有接觸探針(13)之同時，對應於虛設墊(7a)至(7d)，配置有檢測探針群(14a)至(14d)。檢測探針群(14)係由探針(19、20)所構成，而分別連接於構成位置關係檢測部(22)之發光二極體(12)及電壓源(21)。以接觸單元(2)實施檢查時，經由探針(19、20)與所對應之虛設墊(7)接觸而互為導通時，發光二極體會發光，因此藉由確認發光二極體(12)之發光狀態，即可判定是否正確進行對位。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种具有简易之构成，而且在与检查对象之间可进行正确对位之接触单元。在接触单元(2)所具备之支撑基板(15)之上面，对应于作为检查对象之电路形成区域(5a)所具备之测试垫(11)之配置形态，配置有接触探针(13)之同时，对应于虚设垫(7a)至(7d)，配置有检测探针群(14a)至(14d)。检测探针群(14)系由探针(19、20)所构成，而分别连接于构成位置关系检测部(22)之发光二极管(12)及电压源(21)。以接触单元(2)实施检查时，经由探针(19、20)与所对应之虚设垫(7)接触而互为导通时，发光二极管会发光，因此借由确认发光二极管(12)之发光状态，即可判定是否正确进行对位。

公开(公告)号：TW200804823A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：TW096107122

申请日：2007-03-02

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 永潤 TOMINAGA, JUN ,  石川浩嗣 ISHIKAWA, KOJI ,  力丸泰一 RIKIMARU, TAIICHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06738 ,  G01R31/2808

Abstract: 本發明提供一種導電性接觸子單元,其目的在於減低在導電性接觸子與導件之間產生之摩擦力的參差不齊,並穩定地供給檢查信號。為了達成上述目的,係具備:導電性接觸子保持具,具有複數個第1導引溝及複數個第2導引溝,該第1導引溝係以滑動自如之方式嵌合保持導電性接觸子之寬度方向之一方緣端部,而該第2導引溝係與前述第1導引溝相對向配置且以滑動自如之方式將嵌入於前述第1導引溝之前述導電性接觸子之另一方緣端部予以嵌合保持;呈板狀之複數個導電性接觸子,具有與不同之電路構造之任一者物理性接觸的第1接觸部、與和前述第1接觸部所接觸之電路構造以外之另一電路構造物理性接觸的第2接觸部、介於前述第1接觸部與前述第2接觸部之間且朝長度方向伸縮自如的彈性部、連接前述彈性部與前述第1接觸部之第1連接部、及連接前述彈性部與前述第2接觸部的第2連接部;及排列手段,使複數個前述導電性接觸子排列。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种导电性接触子单元,其目的在于减低在导电性接触子与导件之间产生之摩擦力的参差不齐,并稳定地供给检查信号。为了达成上述目的,系具备:导电性接触子保持具,具有复数个第1导引沟及复数个第2导引沟,该第1导引沟系以滑动自如之方式嵌合保持导电性接触子之宽度方向之一方缘端部,而该第2导引沟系与前述第1导引沟相对向配置且以滑动自如之方式将嵌入于前述第1导引沟之前述导电性接触子之另一方缘端部予以嵌合保持;呈板状之复数个导电性接触子,具有与不同之电路构造之任一者物理性接触的第1接触部、与和前述第1接触部所接触之电路构造以外之另一电路构造物理性接触的第2接触部、介于前述第1接触部与前述第2接触部之间且朝长度方向伸缩自如的弹性部、连接前述弹性部与前述第1接触部之第1连接部、及连接前述弹性部与前述第2接触部的第2连接部;及排列手段,使复数个前述导电性接触子排列。

公开(公告)号：TWI290627B

公开(公告)日：2007-12-01

申请号：TW092108968

申请日：2003-04-16

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/07314

Abstract: 一開孔(5a)形成在一高強度基板(5)中以提供多數導電接觸單元，且一由塑膠材料製成之支承孔形成構件(7)經由一絕緣膜(6)被填入該開孔中。多數支承孔(2)形成在該支承孔形成構件中，且一螺旋彈簧(8)與導電針構件(9)與(10)安裝在各支承孔中。由於補強材料在該支承件之厚度中的比例甚高，使得該接觸探針支承件可以被作成幾乎與該高強度基板一樣強固。因此，相較於包括一僅嵌入模製之金屬構件，即使當該支承件之厚度減至最小時，亦可確保該支承件之機械強度，且甚至該支承件可以作得更薄。

Abstract in simplified Chinese: 一开孔(5a)形成在一高强度基板(5)中以提供多数导电接触单元，且一由塑胶材料制成之支承孔形成构件(7)经由一绝缘膜(6)被填入该开孔中。多数支承孔(2)形成在该支承孔形成构件中，且一螺旋弹簧(8)与导电针构件(9)与(10)安装在各支承孔中。由于补强材料在该支承件之厚度中的比例甚高，使得该接触探针支承件可以被作成几乎与该高强度基板一样强固。因此，相较于包括一仅嵌入模制之金属构件，即使当该支承件之厚度减至最小时，亦可确保该支承件之机械强度，且甚至该支承件可以作得更薄。

公开(公告)号：TWI290626B

公开(公告)日：2007-12-01

申请号：TW092108967

申请日：2003-04-16

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA ,  長屋光浩 MITSUHIRO NAGAYA ,  外間裕康 HIROYASU SOTOMA

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483

Abstract: 一種被一臂支持之支承件包含一金屬補強構件與一填充在一形成於該補強構件中之開孔中的塑膠支承孔形成構件多數支承孔形成在該支承孔形成構件中，且一螺旋彈簧與導電針構件係安裝在各支承孔中以藉此提供一具有兩可移動端之接觸探針。因為該支承件主要是由金屬構件構成，該支承件之機械強度可優於完全由塑膠材料所形成者，因此，該接觸探針支承件將不會有由於測試(在高溫下之測試)之溫度變化所帶來之老化而產生之尺寸變化與殘留應力，因此可避免該等支承孔之間距變化，且可確保高精準度。故，該接觸探針使測試可以一穩定之方式進行一段長時間。

Abstract in simplified Chinese: 一种被一臂支持之支承件包含一金属补强构件与一填充在一形成于该补强构件中之开孔中的塑胶支承孔形成构件多数支承孔形成在该支承孔形成构件中，且一螺旋弹簧与导电针构件系安装在各支承孔中以借此提供一具有两可移动端之接触探针。因为该支承件主要是由金属构件构成，该支承件之机械强度可优于完全由塑胶材料所形成者，因此，该接触探针支承件将不会有由于测试(在高温下之测试)之温度变化所带来之老化而产生之尺寸变化与残留应力，因此可避免该等支承孔之间距变化，且可确保高精准度。故，该接触探针使测试可以一稳定之方式进行一段长时间。

公开(公告)号：TW200739085A

公开(公告)日：2007-10-16

申请号：TW095149159

申请日：2006-12-27

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 KAZAMA, TOSHIO ,  石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/07357

Abstract: 本發明的目的在於提供一種接觸探針,係能滿足接觸探針間的期望間距,且能進一步滿足接觸探針所需的荷重特性、耐摩擦特性、以及電氣特性等之各種特性。為了達成本目的,本發明之接觸探針具有:柱塞1,係接觸被檢查物;柱塞2,係接觸檢查裝置側的連接端子31;以及配線3,係設置於各柱塞1、2之間,且組合對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性之各柱塞1、2,以及對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性之配線3,並使用密捲繞彈簧接頭4、5予以機械性連接。

Abstract in simplified Chinese: 本发明的目的在于提供一种接触探针,系能满足接触探针间的期望间距,且能进一步满足接触探针所需的荷重特性、耐摩擦特性、以及电气特性等之各种特性。为了达成本目的,本发明之接触探针具有:柱塞1,系接触被检查物;柱塞2,系接触检查设备侧的连接端子31;以及配线3,系设置于各柱塞1、2之间,且组合对应前述被检查物而选择的具有期望特性之各柱塞1、2,以及对应前述被检查物而选择的具有期望特性之配线3,并使用密卷绕弹簧接头4、5予以机械性连接。