转台轴线方向位移测量装置

    公开(公告)号:CN211954036U

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202020790141.9

    申请日:2020-05-13

    Abstract: 本实用新型提供了一种转台轴线方向位移测量装置,包括双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、检测系统400、转台反射件510、转台520、支撑平台540、缩束组件700以及光隔离组件800,转台520为待测量件,转台反射件510设置在转台520上,双频激光头100、分光组件200、干涉光路组件300、缩束组件700以及光隔离组件800均安装在支撑平台540上。本实用新型容易实现共光路结构,使测量系统具有很好的抗干扰性与稳定性,实现了光隔离的功能,有效防止回授光带来的双频激光头失稳,相位传感器没有读数的问题;本实用新型可获得更高的测量精度,适合五轴转台的现场校准需求。

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