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公开(公告)号：CN102095489B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010582248.5
申请日：2010-12-10
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器，具体是一种矢量水听器用抗流噪声型敏感体。解决了现有矢量水听器抗流噪声能力弱的问题，包括用于敏感水声信号的敏感结构，敏感结构由双框结构支撑固定，双框结构包含外框、内框，内框的两正对边框分别通过折叠式弹簧与外框连接固定；敏感结构悬置于内框内，敏感结构半导体框架的两正对边框分别通过折叠式弹簧与内框连接固定，敏感结构半导体框架与内框间折叠式弹簧的伸缩方向、及外框与内框间折叠式弹簧的伸缩方向呈垂直关系。结构合理、紧凑，应用了芯片级减振弹簧，使得矢量水听器抑制流噪声的能力大为增强，探测距离延长，并能一次集成加工完成，一致性好，性能更加优异，更能适应水下恶劣的环境。
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公开(公告)号：CN102540705A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210013959.X
申请日：2012-01-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及仿生曲面复眼，具体为一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法。本发明解决了现有仿生曲面复眼体积大、视场小、实用性低的问题。一种仿生PDMS曲面复眼的制备方法包括如下步骤：制备PDMS微凸透镜模；制备PDMS栅格模；制备PDMS外围包裹模；将PDMS微凸透镜模和PDMS栅格模的底部粘合在一起；将光纤插入PDMS栅格模的圆柱状空腔中；将PDMS外围包裹模粘在PDMS栅格模的外圆周上形成位于PDMS栅格模与PDMS外围包裹模之间的空腔；对空腔加压使PDMS微凸透镜模弯曲，从而得到复眼。本发明制得的复眼具有成本低、制作简单、微米尺度、纳米精度的优势，可广泛适用于三维成像检测领域。
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公开(公告)号：CN101718801B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200910227917.4
申请日：2009-11-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/08 , H01L21/335
Abstract: 本发明涉及微加速度计领域，具体是一种基于高电子迁移率晶体管HEMT的微加速度计。适应了微加速度计应用领域对高灵敏度微加速度计的需要，实现高电子迁移率晶体管HEMT力电转换机理在微加速度计上的应用，所述微加速度计采用以下步骤加工制造：1、应用分子束外延技术在GaAs衬底上生长出如下表1所示材料层结构的薄膜；2、应用微机电器件加工技术在薄膜上加工高电子迁移率晶体管HEMT；3、应用微机电器件加工技术加工微加速度计结构。有效利用高电子迁移率晶体管HEMT的力电转换机理，实现了高电子迁移率晶体管HEMT在微加速度计上的应用，灵敏度高、线性度好，完全可以适应微加速度计应用领域的实际需要。
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公开(公告)号：CN101514919B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200910073993.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是一种微机电矢量水听器。解决了现有矢量水听器的封装结构影响其整体性能提高的问题，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体、罩于敏感转换微结构外并与支持体密封固定的封装壳体，敏感转化微结构含十字形悬臂梁结构、微型柱状体，微型柱状体垂直固定于十字形悬臂梁结构的中央，十字形悬臂梁结构的四梁端部上设置有转换元件，封装壳体为采用聚氨酯灌封材料制成的透声橡胶帽，透声橡胶帽顶部灌封有将微型柱状体顶端与透声橡胶帽固定的聚氨酯。通过对封装结构的改进和敏感转换结构转换元件的替换，提高了水听器的灵敏度、改善了水听器的频响，低频高信噪比，使得水听器能够表现出更加优异的性能。
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公开(公告)号：CN101718801A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910227917.4
申请日：2009-11-27
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/08 , H01L21/335
Abstract: 本发明涉及微加速度计领域，具体是一种基于高电子迁移率晶体管HEMT的微加速度计。适应了微加速度计应用领域对高灵敏度微加速度计的需要，实现高电子迁移率晶体管HEMT力电转换机理在微加速度计上的应用，所述微加速度计采用以下步骤加工制造：1、应用分子束外延技术在GaAs衬底上生长出如下表1所示材料层结构的薄膜；2、应用微机电器件加工技术在薄膜上加工高电子迁移率晶体管HEMT；3、应用微机电器件加工技术加工微加速度计结构。有效利用高电子迁移率晶体管HEMT的力电转换机理，实现了高电子迁移率晶体管HEMT在微加速度计上的应用，灵敏度高、线性度好，完全可以适应微加速度计应用领域的实际需要。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1673723B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510012466.4
申请日：2005-04-18
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微机电系统的动态特性测试方法，具体为微机电系统的动态应力测试方法。本发明解决现有技术尚无测试微机电系统动态应力测试方法的问题。该方法包含激光照射动态样品、样品产生拉曼散射、输出拉曼光谱、分析拉曼光谱的拉曼测试过程，将照射激光调制成与被测样品动态振动频率相同的激光脉冲。本发明首次将拉曼测试原理用于微机电系统动态应力的测试，并通过对激光的高频调制使拉曼测试用于微机电系统的动态应力测试成为现实，从而给出了一种基于拉曼光谱的非接触式无损测试微机电系统动态应力的方法，添补了微机电系统动态应力测试的空白。
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公开(公告)号：CN101514919A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910073993.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是一种微机电矢量水听器。解决了现有矢量水听器的封装结构影响其整体性能提高的问题，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体、罩于敏感转换微结构外并与支持体密封固定的封装壳体，敏感转化微结构含十字形悬臂梁结构、微型柱状体，微型柱状体垂直固定于十字形悬臂梁结构的中央，十字形悬臂梁结构的四梁端部上设置有转换元件，封装壳体为采用聚氨酯灌封材料制成的透声橡胶帽，透声橡胶帽顶部灌封有将微型柱状体顶端与透声橡胶帽固定的聚氨酯。通过对封装结构的改进和敏感转换结构转换元件的替换，提高了水听器的灵敏度、改善了水听器的频响，低频高信噪比，使得水听器能够表现出更加优异的性能。
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公开(公告)号：CN100363743C
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200510012814.8
申请日：2005-09-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种共振隧穿压阻式微加速度计。本发明解决现有的硅压阻式加速度计灵敏度较低，温度稳定性较差，很难测量高g(重力加速度)值加速度，无法满足现代测试技术的高精度要求的问题，利用了超晶格量子阱薄膜具有压阻效应的特性。本发明在超晶格薄膜上加工出共振隧穿压敏电阻，将超晶格薄膜的衬底加工成外围基座、与基座相连的“十”字形悬臂梁和四周与悬臂梁相连的质量块的传力结构，并使四块共振隧穿压敏电阻位于悬臂梁与基座的连接处。共振隧穿压阻式微加速度计是全部采用MEMS工艺加工制作的量子器件。因具有量子效应、表面效应和尺寸效应，而表现出高灵敏度，低功耗、微体积、低功耗和易数字化等特点。
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公开(公告)号：CN1912554A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610012991.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种水声传感器，具体是共振隧穿仿生矢量水声传感器。解决了现有水声传感器的灵敏度和分辨率等指标的提高已达到检测的极限状态，从而限制检测精度提高的问题，该共振隧穿仿生矢量水声传感器，由半导体衬底及其上通过分子束外延技术、微机电器件MEMS加工工艺加工出的共振隧穿二极管、和其密度与水的密度相同或相近的微型柱状体构成，半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成十字形悬臂梁结构，微型柱状体固定于十字形悬臂梁的中央，共振隧穿二极管分别设置于十字形悬臂梁四梁上的端部。本发明采用纳米级器件制成，突破了常规微机电器件的极限，模拟鱼类侧线听觉器官的工作原理，最终以单个传感器实现了对水下声源声强的测量。
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公开(公告)号：CN1752757A
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200510012814.8
申请日：2005-09-12
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微加速度计，具体为一种共振隧穿压阻式微加速度计。本发明解决现有的硅压阻式加速度计灵敏度较低，温度稳定性较差，很难测量高g(重力加速度)值加速度，无法满足现代测试技术的高精度要求的问题，利用了超晶格量子阱薄膜具有压阻效应的特性。本发明在超晶格薄膜上加工出共振隧穿压敏电阻，将超晶格薄膜的衬底加工成外围基座、与基座相连的“十”字形悬臂梁和四周与悬臂梁相连的质量块的传力结构，并使四块共振隧穿压敏电阻位于悬臂梁与基座的连接处。共振隧穿压阻式微加速度计是全部采用MEMS工艺加工制作的量子器件。因具有量子效应、表面效应和尺寸效应，而表现出高灵敏度，低功耗、微体积、低功耗和易数字化等特点。
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