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公开(公告)号：CN117334749A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311400300.4
申请日：2023-10-26
Applicant: 之江实验室 , 无锡光子芯片联合研究中心
IPC: H01L29/786 , H01L27/146 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了一种基于TFT背板技术集成的仿生视觉传感器及其制备方法，其中光敏电阻器件与薄膜晶体管器件通过异构集成工艺实现单片集成传感器。薄膜晶体管器件采用顶底双栅结构，此结构可实现薄膜晶体管器件的阈值电压可调，增强了传感器的像素电路对工艺均一性的容忍性和提升了像素电路灵活性。本发明提出的器件制备工艺简单，易展开大面积制备，成本低廉，衬底可选用柔性材料，可实现柔性传感器的制备，且得益于TFT背板技术的成熟，适合大规模生产。
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公开(公告)号：CN117289422A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311004244.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/04 , G02B27/62 , G02B7/02 , G02B26/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种基于面型干涉的高度对焦装置及方法。包括二维运动平台、面型干涉模块、现有光路系统和工件，二维运动平台上方分别安装有现有光路系统和面型干涉模块；本发明通过采用离轴干涉测量的方法，能够实现对大尺寸工件全尺寸高度面型快速重构，并通过工件绝对坐标转换实现对应工件位置的高度映射，从而在现有光路系统工作过程中驱动高度执行机构进行高度对焦动作。本发明减少了晶圆对准的时间，提高了检测节拍；避免了在现有光路系统引入对焦模块对光学设计提出的难度、机械干涉和光学干扰等问题。
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公开(公告)号：CN112505064B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202011506981.9
申请日：2020-12-18
Applicant: 之江实验室 , 浙江大学 , 中电科风华信息装备股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。
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公开(公告)号：CN117192769A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311004237.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种宽谱极紫外聚焦光路系统设计方法。通过提出级联式圆柱面反射镜组的聚焦光路系统，能够在降低加工成本的基础上，在高聚焦能力的配置下，对像差进行补偿，从而获得高成像质量的效果；解决了传统掠入射反射聚焦光路系统中遇到的加工成本、成像质量、聚焦能力三者难以平衡的问题。本发明提出的设计在极紫外研究领域，特别是工业应用领域具有较好的现实应用意义。
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公开(公告)号：CN117012812A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311284518.8
申请日：2023-10-07
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L29/18 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L29/772 , H01L21/10
Abstract: 本发明公开了一种湿法和干法相结合刻蚀二维碲烯的方法，所述方法包括：提供单晶二维碲烯；将单晶二维碲烯放入次氯酸溶液中浸泡，洗涤、烘干备用，得到第一样品；洗涤第一样品，并将第一样品在Ar气氛围下进行刻蚀。本发明方法首先采用次氯酸溶液对其表面活化，再采用电感耦合等离子体机进行第二步刻蚀。本发明方法得到的原子级厚度二维碲烯表面平整，而且最终对碲烯没有产生结构破坏，该方法简单可控，为碲烯未来的性能提升以及工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117012630A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311257516.X
申请日：2023-09-27
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/12 , H01L21/06 , H01L29/786 , H05K1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于双氧水氧化的场效应晶体管栅极电介质的制备方法，所述制备方法包括：提供二维碲烯；将二维碲烯置于硅/二氧化硅基底上，得到第一样品；在第一样品的两端制备源极和漏极，得到两端器件；在源极和漏极间生成场效应晶体管栅极电介质：清洗两端器件，并放入体积浓度大于等于3%的双氧水溶液中3‑4小时，烘干、冷却。本发明方法利用碲自身氧化的特征，在沟道层上面形成一直致密的氧化膜电介质层，该方法简单、易于重复，并且制备出的栅极对电流的控制能力较强，本发明为碲烯未来工业化大规模的应用提供了一个新的技术手段。
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公开(公告)号：CN116884852A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202311131162.4
申请日：2023-09-04
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/34 , H01L29/861 , H01L29/24 , H01L27/146
Abstract: 本公开涉及非光敏型二极管及其制造方法、图像传感器。该用于制造非光敏型二极管的方法包括：形成堆叠于导电衬底的电子传输层，其中，导电衬底包括衬底和导电膜，衬底、导电膜及电子传输层依次堆叠；形成堆叠于电子传输层的碘化铅层，形成碘化铅层的步骤包括：通过匀胶工艺在电子传输层涂覆碘化铅前驱体溶液，碘化铅前驱体溶液的溶质浓度在0.5mol/L至1mol/L的范围，碘化铅前驱体溶液的溶质为纯度大于或等于99%的碘化铅；以及形成依次堆叠于碘化铅层的空穴传输层及电极层。该方法可用于制造具有高整流性能，并保证了对光照的不敏感性能的二极管。
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公开(公告)号：CN116499975B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310776924.X
申请日：2023-06-29
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明涉及一种用于光学表面波传感器的棱镜装置及其设计安装方法，该装置包括截面为梯形的棱镜，棱镜的长边位于物镜的下表面下方，棱镜的短边连接有光学平板，棱镜与光学平板的厚度之和小于物镜的工作距，棱镜与光学平板采用相同的光学材料，该光学材料折射率为n1，棱镜侧面的环境折射率为n0，光学平板下面环境的折射率为n2，其中，n1>n2>n0。根据折射率数据以及物镜的工作距，即可对应设计出棱镜与光学平板的厚度，棱镜的梯形截面的锐角、长边与短边尺寸数据。与现有技术相比，本发明能够适用于小工作距的大数值孔径物镜，并且便于加工安装、能够防止水溢出污染。
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公开(公告)号：CN116430574B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310686572.9
申请日：2023-06-12
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B23/24
Abstract: 本发明公开了一种镜头图像传感器CMOS安装调节装置及方法，包括：第一平面度与角度调节装置和第二平面度与角度调节装置；第一平面度与角度调节装置与第一XYZ方向位移调节装置连接，第一XYZ方向位移调节装置上安装有镜头固定装置以此固定镜头，镜头上连接有变焦拉丝；第二平面度与角度调节装置与第二XYZ方向位移调节装置，第二XYZ方向位移调节装置上安装有CMOS夹持装置来夹持镜头图像传感器CMOS；调节平面度与角度调节装置和XYZ方向位移调节装置以改变镜头与镜头图像传感器CMOS之间的相对位置，调节变焦拉丝，当镜头图像传感器CMOS成像的图像居中且清晰时，将镜头图像传感器CMOS固定于镜头上。
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公开(公告)号：CN116563299A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310852571.7
申请日：2023-07-12
Abstract: 本申请涉及一种医学图像筛选方法、装置、电子装置和存储介质，其中，该医学图像筛选方法包括：获取多个医学图像；基于每一医学图像中预设位置的像素值，确定每一医学图像的图像质量参数；确定每一医学图像中的目标对象的面积参数；基于多个医学图像的图像质量参数以及多个医学图像中目标对象的面积参数，从多个医学图像中筛选出目标医学图像。通过本申请，解决了医学图像清晰度低的问题，提高了医学图像的清晰度。
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