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公开(公告)号：CN105580109B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201480053312.7
申请日：2014-09-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: H05K3/245 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/0274
Abstract: 提供一种精确且简便地检测模具与基板的对准标记的方法，并相应地提供高通量的图案化膜的形成方法，以及还提供光学组件的制造方法、电路板的制造方法和电子组件的制造方法。图案化膜通过光‑纳米压印来形成。在所述方法中，气体满足下述不等式(1)：|nM‑nR|≤|nM‑nR′| (1)在不等式(1)中，nR表示在光的波长下不含气体的组合物的折射率，nR′表示在所述光的波长下含有气体的光固化性组合物的折射率，和nM表示在所述光的波长下模具的折射率。
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公开(公告)号：CN107112208A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069521.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , H01L21/3065
CPC classification number: G03F7/0002 , C08F2/50 , G02B5/1857 , H01L21/0271 , H01L21/0337
Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。
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公开(公告)号：CN107085352A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710070872.9
申请日：2017-02-09
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置以及物品制造方法。所述压印装置通过在使模具与自由基聚合性压印材料接触的状态下用光照射压印材料使压印材料固化，来形成图案。所述压印装置包括被构造为用光照射压印材料的照射器、以及被构造为控制所述照射器的控制器。令Ic为照射压印材料的光的照度，tc为用光照射压印材料的时间，k为系数，并且PD为经受光的照射的压印材料的目标光聚合度，控制器根据下式来确定照射时间：
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公开(公告)号：CN104115256B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201380008685.8
申请日：2013-01-31
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01L21/0274 , B29C33/62 , B29C39/026 , B29C2035/0827 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , G03F1/76 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , H01L21/3081
Abstract: 旨在提供利用光压印法制备的并具有良好的图案精度和图案缺陷改善的光固化物。本发明提供通过将与模具接触的涂布膜用光照射获得的光固化物，该光固化物含有含氟原子表面活性剂，其中在通过光固化物的基于飞行时间二次离子质谱法的表面分析获得的二次离子信号中，C2H5O+离子信号的强度高于C3H7O+离子信号的强度。
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公开(公告)号：CN106062010A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580010744.4
申请日：2015-02-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F2/48 , C08F20/10 , H01L21/027
Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104487229B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201380038725.3
申请日：2013-07-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/026 , B29K2105/0002 , G03F7/0002 , G03F7/027
Abstract: 提供一种树脂生产方法，其中使用纳米压印法在树脂生产方法中降低模具和固化性树脂之间的脱模力。该树脂生产方法包括在基板(2)上配置固化性组合物(1)的配置步骤；使模具(3)与固化性组合物(1)彼此接触的接触步骤；在将固化性组合物(1)与模具(3)保持接触的同时、通过用放射线照射固化性组合物(1)或加热固化性组合物(1)而将固化性组合物(1)固化的固化性组合物固化步骤；当将固化性组合物(1)固化时、沿基板(2)和模具(3)彼此分离的方向产生拉伸应力至模具(3)和固化性组合物(1)不彼此分离的程度的拉伸应力产生步骤；和将固化性组合物(1)和模具(3)彼此脱离的脱模步骤。
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公开(公告)号：CN103907174B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280051649.5
申请日：2012-10-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: B05D3/06 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/022 , G03F7/027 , G03F7/038
Abstract: 本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率。
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公开(公告)号：CN105359254A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480036290.3
申请日：2014-06-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29K2033/08 , B29K2105/0005
Abstract: 一种压印方法，其包括：将光固化性组合物布置在工件基板上(布置)；在冷凝性气体环境中使所述光固化性组合物和模具彼此接触(接触)；对准所述模具和所述工件基板(对准)；用光照射所述光固化性组合物以获得光固化了的组合物(照射)；以及使所述光固化了的组合物和所述模具在照射后彼此分离(脱模)。在所述对准期间所述光固化性组合物的膜厚度比脱模后的所述光固化了的组合物的膜厚度厚20％或更多。
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公开(公告)号：CN105340061A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036474.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F20/50
CPC classification number: B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。
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