蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法

    公开(公告)号:CN101542008A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200880000483.8

    申请日:2008-03-10

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置,是通过在腔室(2)内以卷轴到卷轴的方式使片状的基板(4)移动,由此在基板(4)上连续形成蒸镀膜的蒸镀装置(100),具有:使蒸镀原料蒸发的蒸发源(9);包括卷绕保持基板(4)的第1及第2卷轴(3、8)和对基板(4)进行引导的引导部的输送部;配置在上述能够蒸镀的区域的、形成来自蒸发源(9)的蒸镀原料不能到达的遮蔽区域的遮蔽部,并且,蒸镀区域(60a~60d)包括按照使基板(4)的被蒸镀原料照射的面成为平面的方式输送基板(4)的平面输送区域,在除了遮蔽区域之外的能够蒸镀的区域中,按照使蒸镀材料不从基板(4)的法线方向入射到基板(4)的方式相对于蒸发源(9)配置输送部。

    蓄电装置
    93.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101536243A

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200780042484.4

    申请日:2007-11-13

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使使用非碳材料作为负极活性物质,也能够高速充放电,具有高输出、高容量以及优异的反复充放电寿命特性的蓄电装置。具体来说,本发明涉及一种蓄电装置,其包括正极集电体、配置于正极集电体上并且含有至少能够可逆地吸附和解吸阴离子的正极活性物质的正极、负极集电体、和配置于负极集电体上并且实质上由能够可逆地吸藏和放出锂离子的负极活性物质形成的负极,其特征在于,上述负极活性物质是选自硅、含硅的合金、硅化合物、锡、含锡的合金以及锡化合物中的至少一种,上述负极是厚度为10μm以下的薄膜。

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