显示装置
    95.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101369587A

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:CN200810131294.6

    申请日:2008-08-04

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种显示装置及生产率高地制造其的方法,所述显示装置具有电特性优越且可靠性高的p沟道型薄膜晶体管及n沟道型薄膜晶体管。本发明之一是一种显示装置,包括:反交错型p沟道型薄膜晶体管和n沟道型薄膜晶体管,该p沟道型薄膜晶体管和n沟道型薄膜晶体管在栅电极上顺序层叠有栅极绝缘膜、微晶半导体膜、以及非晶半导体膜,并且还包括形成在非晶半导体膜上的一对n型半导体膜或p型半导体膜、以及形成在一对n型半导体膜或p型半导体膜上的一对布线,其中微晶半导体膜包含1×1016atoms/cm3以下的氧。此外,n沟道型薄膜晶体管的迁移率为10cm2/V·s以上且45cm2/V·s以下,而p沟道型薄膜晶体管的迁移率为0.3cm2/V·s以下。

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