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公开(公告)号：JP2017193484A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：JP2017097304
申请日：2017-05-16
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 【課題】シリコン単結晶引上げ用シリカガラスルツボの製造に好適なシリカ粉の評価方法の提供。 【解決手段】シリカ粉におけるシリカ粒子間の間隙率を測定する工程と、該シリカ粉を熔融する工程と、熔融シリカ粉を冷却し硬化させたシリカガラスブロックの気泡含有率を測定する工程と、シリカ粉におけるシリカ粒子間の間隙率と該シリカ分から得られたシリカガラスブロックの気泡含有率の関係から好適なシリカ粉であるか否かを判定する工程と、を有する、シリカ粉の評価方法。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2017061413A
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：JP2016255557
申请日：2016-12-28
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】長時間の高温条件下におけるシリコン単結晶の引き上げにおいてシリカガラスルツボの内表面にブラウンリングや開気泡の発生が抑制されるシリカガラスルツボを用いてシリコン単結晶を製造すること。 【解決手段】本発明は、合成シリカ粉から形成される内面層と、天然シリカ粉から形成される外面層と、を備えるシリカガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法であって、シリカガラスルツボの内面層は、ラマン法で測定した波長492cm −1 のピーク強度D1と、波長606cm −1 のピーク強度D2との強度比D1/D2が、1.8以上2.0以下の前記合成シリカ粉を熔融して形成され、このシリカガラスルツボに多結晶シリコンを投入し、多結晶シリコンを熔融させ、多結晶シリコンの融液にシリコン種結晶の端部を浸けて回転させながら引き上げる、ことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017036207A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2016163595
申请日：2016-08-24
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊的にルツボの形状を測定して品質検査を行うシリカガラスルツボの製造方法の提供。 【解決手段】回転モールド法により形成したシリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部17と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内表面距離を測定し、外表面側のピークの位置によって界面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離及び界面距離を関連付けることによって内表面及び界面の三次元形状を求め、前記三次元形状に基づいてシリカガラスルツボ11の品質検査を行い、品質検査で、三次元形状が規定の範囲外である場合には、シリカガラスルツボ11の形状の修正を行う、シリカガラスルツボ11の製造方法。 【選択図】図1
Abstract translation: 的非破坏性的提供用于通过测量所述坩埚的形状质量检验的二氧化硅玻璃坩埚的方法。 甲沿着由旋转模具法以非接触而形成的石英玻璃坩埚11中，用激光照射在倾斜方向相对于所述内表面，所述激光束的反射的内表面移动所述内部距离测量单元17 通过改变距离和所述发射方向与所述内表面的所述激光束的内部距离测量单元17，通过激光位移计测得的光的两个峰值被观察到的，这两个峰的内表面侧 由峰值的位置测得的内表面的距离，所述界面的距离由外表面的峰的位置来确定，立方内表面和界面，并且每个测量点的三维坐标，通过关联的内表面的距离与界面的距离 获得原始的形状，所述三维形状的基础上进行坩埚内的石英玻璃的质量检验11，质量检验，如果三维形状是在指定范围之外，校正所述石英玻璃坩埚11的形状 ，二氧化硅 一种制造Rasurutsubo 11的方法。 点域1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017024980A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：JP2016145198
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのコーナー部においてもシリコン単結晶の引き上げを適切に行うことが可能なシリコン単結晶の製造方法の提供。 【解決手段】シリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボ11の内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって、内部測距部と内表面の間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と内表面距離を関連付けることによって予め求めておいたシリカガラスルツボ内表面の三次元形状分布から、コーナー部11bでの液面23aの下降速度を高精度に予測し、その予測内容に基づいてシリコン単結晶の引き上げ速度などの引き上げ条件を決定する。 【選択図】図1
Abstract translation: 到用于拉动正确提供一种制造方法进行它是硅单晶的可能硅单晶即使在石英玻璃坩埚的角部。 距离测量单元，内部倾斜地从内部测距单元移动，而不沿着所述石英玻璃坩埚11的内表面接触，在多个测量点，激光对石英玻璃坩埚11的内表面 照射光，通过改变距离的发射方向和内部距离测量单元和所述内表面之间的激光束，使得用激光位移计测得的激光束的反射光的两个峰值被观察到，这两个 峰的内表面侧的峰值的位置，由三维坐标和每个测量点的内表面的距离相关联的所测量的内部距离测量单元和内部表面，预先求出之间内表面的距离 从石英玻璃坩埚内表面的三维形状的分布，它预测精度高的角部11b的液面23a的下降速度，以确定所述提拉条件如拉基于预测内容硅单晶的速度。 点域1
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公开(公告)号：JP2017001946A
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：JP2016133304
申请日：2016-07-05
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボの製造方法を提供する。 【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定し、当初の製造条件に基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる回転モールド法での改善製造条件を設定し、その結果、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高めることができ、すなわち、設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法によるシリカガラスルツボの製造方法。 【選択図】図1
Abstract translation: 本发明提供了用于通过旋转模具方法制造石英玻璃坩埚的方法是三维形状的设计数据的更高匹配度。 甲如果原始物理参数的基础上得到的模拟数据和测量数据的三维形状的匹配程度低于预定电平，匹配程度改善的物理性能比规定的电平以上的情况下 设置参数，当原来的制造条件的基础上获得的模拟数据和测量数据的三维形状的一致度低于预定水平时，与设计数据的一致度小于预定水平以上的情况下 设置在旋转模具法模拟数据的改进的生产条件作为获得，其结果，能够提高在预定水平以上的石英玻璃坩埚的三维形状设计数据和测量数据的匹配的程度，即 用于通过一个高度从设计数据旋转模具法的三维形状的一致制造石英玻璃坩埚的方法。 点域1
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公开(公告)号：JP2016155754A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：JP2016083327
申请日：2016-04-19
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】初期液面を高精度に特定して、高精度なシリコン単結晶の引き上げを可能にするシリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造において、種結晶の引き上げ速度を、多結晶シリコンの質量とシリカガラスルツボ11の内表面の三次元形状に基づいて決定する方法であって、前記内表面の三次元形状の決定は、前記シリカガラスルツボ11の内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部17から前記シリカガラスルツボ11の内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、前記内表面からの内表面反射光を検出することによって、内部測距部17と前記内表面の間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、前記内表面距離を関連付けることによって行われる。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过以高精度指定初始液位高精度地提高硅单晶的方法制造方法。解决方案：提供了一种用于确定提高速度的方法 基于多晶硅质量的晶种和通过Czochralski法制造硅单晶的石英玻璃坩埚11的内表面的三维形状。 在该方法中，内表面的三维形状是通过沿着石英玻璃坩埚11的内表面以非接触的方式移动内部测距器17来确定的，相对于 来自内部测距器17的石英玻璃坩埚11的内表面在移动路径上的多个测量点处，并且检测来自内表面的内表面反射光，以测量内部测距器17和内部测距器17之间的内表面距离 表面，并将每个测量点的三维坐标与内表面距离相关联。图2：图2
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