Abstract:
플라스틱 기판의 표면에 표시 장치의 배선을 형성하기 위하여 플라스틱 기판을 캐리어 기판상에 적층하는 방법 및 이를 포함하는 유연성을 갖는 기판의 형성 방법이 개시되어 있다. 적층 방법은 캐리어 기판 상에 산화된 표면을 갖는 버퍼막을 형성하는 단계와 표면이 에칭 처리된 플라스틱 기판을 마련하는 단계 및 버퍼막과 에칭 처리된 플라스틱 기판의 표면이 마주보도록 밀착시킴으로서, 버퍼막에 플라스틱 기판이 기계적 및 화학적으로 결합하는 단계를 포함한다. 따라서, 상술한 방법은 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 열팽창 계수의 차이로 인해 발생되는 잔류 응력의 완화 및 현재 액정 표시 장치를 양산하는 설비의 변형 없이도 적용된다.
Abstract:
A method for manufacturing a flexible display device is provided to perform the manufacturing process of the flexible display device accurately and easily, by forming thin film patterns on the plural divided substrates supported by a supporter, and then removing the supporter from the divided substrates. A first flexible mother substrate(10) is adhered to a first supporter(60). The first flexible mother substrate is divided into a plurality of first substrates. Thin film patterns are respectively formed on the first substrates. A second flexible mother substrate is adhered to a second supporter. The second flexible mother substrate is divided into a plurality of second substrates. Thin film patterns are respectively formed on the second substrates. The corresponding first and second substrates are coupled with each other, and then the first and second supports are respectively removed from the first and second substrates.
Abstract:
먼저, 알루미늄 계열의 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 기판 위에 게이트선, 게이트 전극 및 게이트 패드를 포함하는 가로 방향의 게이트 배선을 형성한다. 다음, 게이트 절연막을 형성하고, 그 상부에 반도체층 및 저항 접촉층을 차례로 형성한다. 이어, 크롬의 하부막과 알루미늄 계열의 상부막으로 이루어진 도전 물질을 적층하고 패터닝하여 게이트선과 교차하는 데이터선, 소스 전극, 드레인 전극 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 형성한다. 이때, 크롬의 하부막은 Cl 2 또는 HCl을 포함하는 식각용 기체를 이용하여 건식 식각으로 패터닝한다. 보호막을 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 각각 드러내는 접촉 구멍을 형성한다. 이어, IZO를 적층하고 패터닝하여 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드와 각각 연결되는 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다. 알루미늄, IZO, 규소, 접촉특성, 크롬, 건식식각
Abstract:
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 이 장치는 복수의 게이트선, 게이트선과 교차하는 복수의 데이터선, 게이트선과 데이터선에 연결되어 있는 스위칭 소자, 스위칭 소자 위에 형성되어 있는 절연막, 절연막 위에 형성되어 있으며 광을 반사하는 복수의 광반사 소자 및 외부로부터 입사된 광을 광반사 소자로 굴절시키는 렌즈막을 포함하는 반투과막, 그리고 반투과막 위에 형성되어 있으며 스위칭 소자와 연결되어 있는 화소 전극을 포함한다. 본 발명에 의하면 돌출부를 가지는 렌즈막과 광반사 소자를 포함하는 반투과막을 구비함으로써 화소 전면을 개구부로 활용할 수 있으므로 반사율의 손실 없이 투과율을 극대화할 수 있다. 액정 표시 장치, 반투과, 반투과막, 광반사 소자, 렌즈막
Abstract:
절연 기판 위에 데이터선, 데이터선의 분지인 광 차단막 및 데이터선의 끝 부분에 연결되어 있는 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선을 단일막 또는 이중막으로 형성하고, 기판 상부에 가장자리 부분은 데이터 배선을 덮도록 화소에 적, 녹, 청의 컬러 필터를 형성한다. 이어, 데이터 배선 및 컬러 필터를 덮는 유기 절연막을 형성하고, 그 위에 게이트선, 게이트선의 분지인 게이트 전극 및 게이트선의 끝 부분에 연결되어 있는 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선을 형성한다. 이어, 유기 절연막 상부에 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막, 반도체층 및 저항성 접촉층을 차례로 적층하고 그 위에 감광막을 도포한다. 이때, 저항성 접촉층의 상부에 저항성 접촉층의 접촉 특성을 향상시키기 위하여 금속 실리사이드를 형성하기 위한 실리사이드용 금속층을 추가로 적층할 수도 있다. 이어, 부분적으로 다른 투과율을 가지는 마스크를 이용한 사진 공정으로 감광막 패턴을 형성하고, 이를 식각 마스크로 사용하여 게이트 패드 상부에 제1 접촉 구멍을 형성하고, 게이트 전극 상부의 게이트 절연막 상부에 섬 모양으로 반도체층 패턴과 접촉층 패턴을 형성한다. 이때, 실리사이드용 금속층으로 실리사이드를 형성한 다음 실리사이드용 금속은 전면 식각을 통하여 제거할 수도 있으며, 잔류시킬 수도 있다. 이어, 접촉층 패턴 상부에 서로 분리되어 형성되어 있으며 동일한 층으로 만들어진 소스용 전극 및 드레인용 전극과, 상기 드레인용 전극과 연결된 화소 전극을 포함하는 화소 배선을 형성하고, 화소 배선으로 가리지 않는 접촉층 패턴 일부를 식각하여 소스용 전극과 드레인용 전극 사이로 반도체층을 드러낸다. 이어, 기판의 상부에 절연 물질과 검은 색 안료를 포함하는 감광성 유기 절연 물질을 차례로 적층하고, 유기 절연 물질을 노광 현상하여 간격 유지재를 형성하고, 이를 식각 마스크로 사용하여 절연 물질을 식각하여 보호막을 형성한다. 필터, 마스크, 감광막, 커플링 용량
Abstract:
본 발명에서는 게이트 절연막의 두께와 굴절율을 곱한 값과 보호막의 두께와 굴절율을 곱한 값을 더하고 그 더한 값의 4배가 파장의 짝수배가 되고, 화소 전극의 두께와 굴절율을 곱한 값의 4배가 파장의 짝수배가 되도록 한다. 이와 같이 질화 규소막과 화소 전극은 각각 보강 간섭 조건을 만족시키는 두께로 형성함으로써 표시 장치의 투과율이 향상되며, 이로 인한 표시 품질도 좋아진다. 막 두께, 굴절율, 투과율, 최적 조건
Abstract:
본 발명은 플라스틱 기판을 이용하는 플렉서블 표시 장치에 있어서 플라스틱 기판의 각 모퉁이를 컷팅함으로써, 스핀 코팅시 포토레지스트 등의 막형성물질이 모퉁이에 집중 형성되는 것을 방지하여 플라스틱 기판의 모퉁이에 발생하는 빌드-업 현상을 개선시키는 효과를 발휘할 수 있다. 플라스틱 기판, 빌드-업(build-up) 현상, 모따기
Abstract:
본 발명에 따른 배선은 알루미늄 합금막과 이 막을 중심으로 상부 및 하부에 각각 형성된 몰리브덴-텅스텐 합금막으로 만들어진다. 이러한 배선을 만들기 위하여, 기판 위에 제1 몰리브덴-텅스텐 합금막, 알루미늄 합금막 및 제2 몰리브덴-텅스텐 합금막을 차례로 적층한다. 몰리브덴-텅스텐 합금막은 증착 온도 및 텅스텐의 함유율을 변화시킴에 따라 하나의 식각액에 대하여 식각비를 다르게 가진다. 특히, 몰리브덴-텅스텐 합금은 알루미늄 식각액에 대하여 저저항을 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금과 비슷한 식각비를 보이므로 증착 온도 및 텅스텐 함유율을 조절하여 제1 몰리브덴-텅스텐 합금막은 알루미늄 합금의 식각비보다 낮게, 제2 몰리브덴-텅스텐 합금막의 알루미늄 합금의 식각비보다 높게 형성하는 경우에 완만한 경사 식각이 가능하다.
Abstract:
본 발명에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 제조 방법은 기판 위에 감광성을 가지는 제1 촉매층을 형성하는 단계, 제1 촉매층을 광마스크를 통해 노광하여 제1 촉매층의 소정 영역을 활성화시켜 활성 영역을 한정하는 단계, 활성 영역 위에 제2 촉매층을 형성하는 단계, 제2 촉매층 위에 게이트선을 형성하는 단계, 게이트선을 마스크로 활성 영역을 제외한 제1 촉매층을 제거하는 단계, 게이트선을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계, 게이트 절연막 위에 반도체층을 형성하는 단계, 반도체층 위에 저항성 접촉층을 형성하는 단계, 저항성 접촉층 위에 데이터선 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 기판 위에 보호막을 형성하는 단계, 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract:
유연성을 가지면서 경박단소한 표시 장치의 제조 방법이 개시된다. 지지 기판상에 접착 물질을 도포한 후, 접착 물질상에 연성 기판을 부착한다. 이어, 연성 기판상에 화상 표시를 위한 소자를 형성한 후, 소자가 형성된 연성 기판으로부터 5℃이하의 온도 조건하에서 지지 기판을 분리한다. 따라서, 표시 장치를 양산하는 설비의 변형없이도 적용이 가능하고, 유연성을 가지면서 경박단소한 표시 장치를 제조할 수 있다.