公开(公告)号：FR2848020A1

公开(公告)日：2004-06-04

申请号：FR0214944

申请日：2002-11-28

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: H01H59/00 ,  B81B7/02

公开(公告)号：FR2835981A1

公开(公告)日：2003-08-15

申请号：FR0201759

申请日：2002-02-13

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/17 ,  H03H9/24 ,  H03H9/15 ,  B81B7/02

Abstract: A suspended film bulk acoustic micro-resonator that includes a beam made of a piezoelectric material fixed to a support and sandwiched between excitation electrodes. The resonator also includes a mechanism modifying limiting conditions of the resonator composed of the excited beam to modify the micro-resonator resonant frequency.

公开(公告)号：FR3118830A1

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：FR2100249

申请日：2021-01-12

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： JOURDAN GUILLAUME ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: H01L41/02 ,  H01L23/367

Abstract: Titre : Dispositif de détection utilisant une transduction piézorésisti ve L’invention est relative à un dispositif de détection à transduction comprenant un substrat (1), au moins une masse mobile (2) relativement au substrat et une jauge de contrainte suspendue dotée d’un élément piézorésistif (3) qui comprend un premier ancrage (31) et un deuxième ancrage (32), différent du premier ancrage (31), relativement à la masse mobile (2), caractérisé en ce qu’il comprend au moins un élément dissipateur thermique (5) raccordé de manière thermiquement conductrice : à une portion de raccordement de l’élément piézorésistif (3) située en dehors des ancrages (31, 32), et à une partie d’évacuation thermique. Figure pour l’abrégé : Fig.6B

公开(公告)号：FR3043196B1

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：FR1560428

申请日：2015-10-30

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  POLIZZI JEAN-PHILIPPE

IPC: G01D5/12 ,  G01L9/06 ,  G01L9/08 ,  G01L9/12

Abstract: Dispositif (100) de mesure d'une caractéristique d'un fluide (108), comportant : - un capteur (102) comprenant une première face principale (104) munie d'une partie sensible (106) à ladite caractéristique et destinée à être en contact avec le fluide, et une deuxième face principale (110) opposée munie d'un premier élément de contact électrique (112) sur lequel un signal de mesure est obtenu ; - un support (114) comprenant une première face principale (116) munie d'un deuxième élément de contact électrique (120) relié électriquement au premier élément de contact électrique, une deuxième face principale (118) opposée, et une ouverture (124) traversant les faces principales du support ; dans lequel la deuxième face principale du capteur est solidarisée hermétiquement et/ou de manière étanche à celle du support en périphérie de l'ouverture, une partie du premier élément de contact électrique étant en regard de et/ou dans l'ouverture.

公开(公告)号：FR3056978B1

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：FR1659623

申请日：2016-10-05

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81B7/02 ,  H04R23/00

Abstract: Système électromécanique capteur de pression, en particulier de type microphone comportant : - un transducteur électromécanique, - des moyens de traitement de signaux, - un substrat (1) d'accueil d'au moins un support (20, 30) du transducteur électromécanique et/ou des moyens de traitement de signaux, - un capot de protection (40) agencé sur la face supérieure (3) du substrat (1), - le support (20, 30) du transducteur électromécanique et/ou des moyens de traitement de signaux étant logé dans au moins une cavité placée en face inférieure du substrat.

公开(公告)号：FR3060844B1

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：FR1662470

申请日：2016-12-15

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FANGET STEPHANE ,  COUTIER CAROLINE ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: H01L21/768 ,  E04B1/74 ,  H01L29/40 ,  H01L41/00

Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique acoustique comprenant un support (1), un jeu d'au moins une membrane (3) suspendue sur une face (21) du support (1) au-dessus d'une cavité par une zone d'ancrage (31), et au moins une tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) d'isolation acoustique disposée de manière adjacente à la membrane (3), caractérisé par le fait qu'il comporte au moins un pont (64) raccordant des portions de deux bords opposés de la tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) et situé en surplomb d'au moins une zone de la tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) de sorte à former dans ladite zone de la tranchée un caisson d'isolation (65) acoustique en-dessous du pont (64).

公开(公告)号：FR3048781B1

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：FR1652048

申请日：2016-03-11

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FAIN BRUNO ,  CHAEHOI ABOUBACAR ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: G01P15/08 ,  B81B7/00

公开(公告)号：FR3048781A1

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：FR1652048

申请日：2016-03-11

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： FAIN BRUNO ,  CHAEHOI ABOUBACAR ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: G01P15/08 ,  B81B7/00

Abstract: Accéléromètre linéaire comportant une partie fixe (2), une partie mobile (4) en rotation dans le plan de l'accéléromètre autour d'un axe de rotation orthogonal au plan (P) de l'accéléromètre, la partie mobile (4) comportant un centre de gravité (G) distinct du point (O) d'intersection de l'axe de rotation et du plan (P) de l'accéléromètre, des moyens formant liaison pivot entre la partie mobile et la partie fixe, des moyens de détection du déplacement de la partie mobile (4) par rapport à la partie fixe (2), des moyens d'amortissement visqueux (10) du déplacement de la partie mobile (4) dans ledit plan (P), lesdits moyens d'amortissement visqueux (10) comportant des peignes interdigités (18), au moins un premier peigne (18) sur la partie mobile (4) et au moins un deuxième peigne sur la partie fixe (2), le premier peigne (18) et le deuxième peigne étant interdigités.

公开(公告)号：FR2983188B1

公开(公告)日：2016-07-01

申请号：FR1160972

申请日：2011-11-30

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81C1/00

公开(公告)号：FR3027389A1

公开(公告)日：2016-04-22

申请号：FR1460024

申请日：2014-10-17

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  COUTIER CAROLINE

IPC: G01L1/18 ,  B81B7/02 ,  G01F1/05

Abstract: Système de mesure d'une force tangentielle exercée par un fluide, ledit système comportant : - un conduit (22) dans lequel s'écoule le fluide, le conduit comportant une surface intérieure en contact avec le fluide, et une cavité (24) disposée dans ladite surface intérieure du conduit (22), - un dispositif MEMS et/ou NEMS de mesure de force tangentielle comportant un support (4), une plaque mobile (2) suspendue au support par une liaison pivot, ladite plaque mobile (2) comportant une première face (2.1) sur laquelle le fluide applique une force tangentielle, ledit dispositif étant solidaire du conduit de sorte que la première face (2.1) de la plaque mobile (2) affleure la surface intérieure (26) du conduit (22), ledit dispositif comportant deux jauges de contrainte piézorésistives suspendues entre la plaque mobile (2) et au support, la force tangentielle appliquant aux jauges une force de compression ou de traction sensiblement pure.