公开(公告)号：CN105387937A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510745421.1

申请日：2015-11-05

Applicant: 黑龙江大学

Inventor： 马飞 ,  郝阳 ,  单旭晨 ,  王艺桥 ,  刘书钢

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G01J4/00

Abstract: 椭圆偏振光检测方法及装置，涉及椭圆偏振光特性检测技术。本发明将待检测光通过角向偏振片后，再经扩束镜扩束，然后入射至CCD的探测面，CCD获得的图像为由两个相对的暗区和两个相对的亮区所构成的圆形光斑，测量该光斑中亮区的光强最大值和暗区的光强最小值，所述最大值与最小值的比值为椭圆偏振光的长短轴之比，最大值和最小值的位置分别对应长轴和短轴的方向。本发明不同于常规的机械旋转法，而是对光斑直接进行测量，得到长短轴方向和长短轴之比，误差大大减小，适用于椭圆偏振光特性检测。

公开(公告)号：CN104809441A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201510214244.4

申请日：2015-04-29

Applicant: 北京旷视科技有限公司 ,  北京小孔科技有限公司

Inventor： 周舒畅 ,  张弛

IPC: G06K9/00 ,  G06K9/20

CPC classification number: G06K9/00906 ,  G01J4/00 ,  G06K9/0012 ,  G06K9/00255 ,  G06K9/00288 ,  G06K9/2036 ,  G06K9/4661 ,  G06K9/00221

Abstract: 提供了一种活体验证方法及装置，其通过确定入射光是否为线性偏振光来进行活体验证。所述活体验证方法包括：使入射光入射到一组偏振片，该组偏振片中每个偏振片在光的传播方向上彼此不重叠；检测透过该组偏振片中各个偏振片的光的强度，以得到分别与各个偏振片对应的一组光强度；以及在该组光强度满足预定条件的情况下，确定活体验证失败。在入射光是由液晶显示屏幕发出的光的情况下，入射光为线性偏振光，活体验证失败。

公开(公告)号：CN103365025A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310110035.6

申请日：2013-03-29

Applicant: 台达电子工业股份有限公司

Inventor： 林瑞堉 ,  张仁明 ,  黄俊杰 ,  庄仲扬 ,  张明海 ,  文浩然

IPC: G02F1/167

CPC classification number: G01J4/00 ,  G02F1/167 ,  Y10T29/49718 ,  Y10T29/49721 ,  Y10T29/49764 ,  Y10T29/49769

Abstract: 本发明公开了一具有多个显像槽的颗粒型影像显示器的制作方法，包括：于多个显像槽中填入多个第一粒子；辨识与一或多个上述显像槽相关的缺陷；及修复一单元中对应于部分上述显像槽中的缺陷。

公开(公告)号：CN102203589B

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN200980143039.6

申请日：2009-11-09

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 深泽和彦 ,  工藤祐司

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01J4/00 ,  G01N21/21 ,  G01N21/95607

Abstract: 评估装置(1)使测光件(42)旋转成测光件(42)的透射轴的方位相对偏光件(32)的透射轴成为90度±3度的倾斜角度，以各条件由摄影机(44)拍摄晶圆(10)的正反射像，影像处理部(50)，是根据通过摄影机(44)拍摄的两片晶圆(10)的影像，评估反复图案的形状以检测剂量不良及聚焦不良。

公开(公告)号：CN101893659A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200910107490.4

申请日：2009-05-19

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 肖林 ,  张玉莹 ,  姜开利 ,  刘亮 ,  范守善

IPC: G01R29/08 ,  G01J4/00 ,  G01J1/42

CPC classification number: G01J4/00

Abstract: 本发明提供一种电磁波偏振方向的检测方法，包括以下步骤：将一碳纳米管结构置于一真空环境中，该碳纳米管结构包括多个沿同一方向排列的碳纳米管；提供一电磁波发射源，发射一偏振的电磁波，并使其基本垂直地入射至所述碳纳米管结构表面，该碳纳米管结构吸收该电磁波并发光；在基本垂直于电磁波入射方向的平面内旋转所述碳纳米管结构，根据所述碳纳米管结构发出可见光的变化判断所述电磁波的偏振方向。该方法简单直观。本发明也提供一种电磁波偏振方向的检测装置。

公开(公告)号：CN101087989A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200580039773.X

申请日：2005-10-17

Applicant: 摩根研究股份有限公司

Inventor： J·L·威廉姆斯 ,  M·S·克兰茨 ,  L·C·海顿

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B11/18 ,  G01B11/161 ,  G01B11/168 ,  G01J3/453 ,  G01J4/00 ,  G01M11/085

Abstract: 本发明提供了通过快速且简单的测量来确定经历可能导致降低结构寿命、强度或可靠性的损害的结构上的位置的能力。传感元件是偏振维持(“PM”)光纤的连接部分，其中PM光纤的长度表示完全分布的传感器阵列。应力引起的传感器的变化通过白光偏振干涉测量法来测量。测量的输出是表示沿传感器的长度的位置的阵列处的应力集中大小的数组。在一种应用中，已知结构上的光纤位置加上沿光纤长度的应力位置的测量允许用户确定结构上具有大的应力集中的位置。这些位置可表示结构损坏。该知识允许用户采用更加复杂的系统，尽管较大且较慢，以充分地表征和评价可能的损坏区域并采取适当的行动。

公开(公告)号：CN1155797C

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN98807726.4

申请日：1998-08-06

Applicant: 罗伯特·博施有限公司

Inventor： 于尔根·哈恩 ,  格茨·屈恩勒

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/065 ,  G01J4/00

Abstract: 本发明涉及一种用于测定一个基底上覆盖层厚度的椭圆计-测量装置。具有一个发出入射光(9)的光源(3)，一个将偏振化的入射光(9)导至基底的照射点(P)处的发射镜组，以及一个接受镜组，后者将基底的照射点(P)处形成的反射光(10)导至一个光接受装置(5.7)、具有一个检偏振器(5.4)，其中，入射光(9)与检偏振器(5.4)的偏振方向随时间相互相对改变，由此产生的强度变化被借助一个数据处理装置(7)用来确定覆盖层厚度。简便的操作和覆盖层厚度的准确测量，即使在难于接近并且曲率不同的被测物体上也能实现。这是由于设置了一个角度测量装置(5.7，7.1)，通过它可获得反射光束(10)相对于基底上照射点(P)处切平面的角度(β)，而覆盖层厚度能够借助于数据处理装置(7)根据测得的角度(β)来确定出。

公开(公告)号：CN1105297C

公开(公告)日：2003-04-09

申请号：CN97191384.6

申请日：1997-08-15

Applicant: K·C·刘

Inventor： K·C·刘 ,  Y·Q·廖

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G01B11/26 ,  G01D5/344 ,  G01J4/00

Abstract: 一个六轴激光测量系统(300)，包括一个新颖的5-D测量装置和精密的激光滚动探测器系统(100)，5-D系统具有一个激光头(102)和探测器座(302)对纵倾，横摆、x、y、z位移进行测量，激光滚动探测器(100)利用偏振棱镜(104)，例如Glan-Thompson棱镜，以及至少二个光探测器(D1，D2，D3，D4)，一束线性偏振激光束进入棱镜(104)，光束被分成二束偏振分量，其强度随着探测器(104)相对偏振光束的滚动取向而改变，将二个探测器(D1，D2)的输出分别连接至提供滚动输出的高增益差分放大器(108)的正和负输入端。

公开(公告)号：KR1020150025745A

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：KR1020130103738

申请日：2013-08-30

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 조용재 ,  제갈원 ,  조현모

IPC: G01N21/17

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01J4/04 ,  G01N2021/213 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/0633 ,  G01N2201/0683 ,  G01N2201/11 ,  G01J4/00 ,  G01N21/27

Abstract: 본 발명은 임의의 시료에 대한 뮬러 행렬 성분들 중에서 전부 또는 일부를 종래의 이중-광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기들의 광원의 잔류 편광 및 광검출기의 편광 의존성과 고차항의 푸리에 계수들의 측정값 때문에 생기는 측정 정확도 및 측정 정밀도의 문제점을 해결하기 위한 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 제공하고자 하는 것이다.

Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于解决由常规双旋转元件穆勒矩阵椭偏仪的光源的剩余偏振光引起的测量精度和精度问题的旋转元件Mueller矩阵椭偏仪; 光检测器的极化依赖性; 以及特定样品的穆勒矩阵物质的全部或部分中的高阶傅里叶系数的测量值。

公开(公告)号：KR1020120089296A

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：KR1020127010115

申请日：2010-09-21

Applicant: 보로텍 리미티드

Inventor： 보로비트치크슬로모

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01C17/34 ,  G01C21/02 ,  G01J2004/005 ,  G01J4/00

Abstract: 각각의 셀이 제1 편광 방향을 가진 제1 편광 필터, 및 제1 편광 방향과 상이한 제2 편광 방향을 가진 제2 편광 필터를 포함하는, 하나의 어레이의 편광 필터 셀; 편광 필터 어레이 상으로 광을 지향시키기 위한 광학 시스템; 및 각각 제1 및 제2 편광 필터를 통해 수신된 광으로부터 데이터를 산출하기 위한 제1 및 제2 광 센서를 포함하는 장치가 개시된다. 또한, 각각의 셀이 제1 편광 방향을 가진 제1 편광 필터, 및 제1 편광 방향과 상이한 제2 편광 방향을 가진 제2 편광 필터를 포함하는, 하나의 어레이의 편광 필터 셀 상으로 광을 지향시키는 단계; 제1 및 제2 편광 필터를 통해 제1 및 제2 광 센서 각각에 의해 수신된 광으로부터 데이터를 산출하는 단계; 및 그 데이터를 기초로 편광 패턴을 도출하는 단계를 포함하는 방법이 개시된다.