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    PROBER MIT EINEM VERGRÖSSERNDEN OPTISCHEN INSTRUMENT
    101.
    发明申请
    PROBER MIT EINEM VERGRÖSSERNDEN OPTISCHEN INSTRUMENT 审中-公开
    用放大镜光学仪器PROBER

    公开(公告)号：WO2016166564A1

    公开(公告)日：2016-10-20

    申请号：PCT/IB2015/000668

    申请日：2015-04-14

    Applicant: CASCADE MICROTECH, INC.

    Inventor： KRIPPENDORF, Ralph ,  WERNER, Frank-Michael ,  GIESSMANN, Sebastian

    IPC: G01R1/067

    CPC classification number: G01R1/06794

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Prober zur Prüfung oder Testung mikroelektronischer Bauelemente (27), welcher eine Haltervorrichtung (26) für das Bauelements (27), zumindest eine Sonde (28) und ein vergrößerndes optisches Instrument (23, 23') umfasst. Um den Abstand zwischen dem zu beobachtenden mikroelektronischem Bauelement und dem optischen Instrument und damit den für die Sonden zur Verfügung stehenden Platz zu vergrößern, wird vorgeschlagen, ein Refraktionselement (3) zur Brechung der vom Bauelement in das optische Instrument verlaufenden Lichtstrahlen zumindest während der Kontaktierung und/oder Anregung des Bauelements im optischen Pfad des optischen Instruments zwischen dem Bauelement und dem optischen Instrument anzuordnen, wobei der Brechungsindex, die Form und Größe des Refraktionselementes (3) so gewählt sind, dass der Brennpunkt der durch das Refraktionselementes (3) verlaufenden Lichtstrahlen außerhalb des Refraktionselementes liegt.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于测试或微电子器件（27），包括用于将所述装置（27）的保持器装置（26）的测试的探测器，至少一个探头（28）和一个放大光学仪器（23，23“）。 通过所观察到的微电子装置和光学仪器和探针可用空间来增加属性之间的距离，它是在接触期间至少提出用于从在光学仪器光束组件延伸的折射的折射元件（3）和 排列/或在所述部件和所述光学仪器，其中所述折射指数，Refraktionselementes（3）的形状和尺寸被选择为使得由Refraktionselementes焦点（3）的外侧延伸的光线之间的光学仪器的光路中的元件的激发 该Refraktionselementes是。

    RISERS INCLUDING A PLURALITY OF HIGH ASPECT RATIO ELECTRICAL CONDUITS AND SYSTEMS AND METHODS OF MANUFACTURE AND USE THEREOF
    102.
    发明申请
    RISERS INCLUDING A PLURALITY OF HIGH ASPECT RATIO ELECTRICAL CONDUITS AND SYSTEMS AND METHODS OF MANUFACTURE AND USE THEREOF 审中-公开
    包括大量高比例电气连接和系统的升高及其制造和使用方法

    公开(公告)号：WO2013039957A3

    公开(公告)日：2014-05-15

    申请号：PCT/US2012054736

    申请日：2012-09-12

    Applicant: CASCADE MICROTECH INC ,  DUCKWORTH KOBY L ,  HILL ERIC ,  JOLLEY MIKE ,  SCHULTZ KURT ,  CURTIS JODY

    Inventor： DUCKWORTH KOBY L ,  HILL ERIC ,  JOLLEY MIKE ,  SCHULTZ KURT ,  CURTIS JODY

    IPC: G01R1/067

    CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R3/00 ,  H05K1/11 ,  H05K3/4046 ,  H05K2201/0379 ,  H05K2201/10378

    Abstract: Risers including a plurality of high aspect ratio electrical conduits, as well as systems and methods of manufacture and/or use of the risers and/or the high aspect ratio electrical conduits. The systems and methods may include incorporation of the plurality of high aspect ratio electrical conduits within a substantially planar- body that may include and/or be formed from a solid dielectric material. The plurality of electrical conduits may be configured to conduct a plurality of electric currents between a first surface of the body and a second, substantially opposed, surface of the body. The surfaces may include a plurality of contact pads configured to provide a robust and/or corrosion-resistant surface and/or to improve electrical contact between the riser and another device. The risers also may include a layered structure, wherein the layers are sequentially formed to increase a thickness of the riser and/or the aspect ratio of the electrical conduits.

    Abstract translation: 包括多个高纵横比电导管的立管以及制造和/或使用立管和/或高纵横比电导管的系统和方法。 系统和方法可以包括将多个高纵横比电导管并入可包括固体介电材料和/或由固体电介质材料形成的基本上平面的主体内。 多个电导管可以被配置为在主体的第一表面和主体的第二，基本相对的表面之间传导多个电流。 表面可以包括多个接触垫，其被配置为提供坚固的和/或耐腐蚀的表面和/或改善上升管和另一个装置之间的电接触。 立管还可以包括层状结构，其中顺序地形成这些层以增加提升管的厚度和/或电导管的纵横比。

    RISERS INCLUDING A PLURALITY OF HIGH ASPECT RATIO ELECTRICAL CONDUITS AND SYSTEMS AND METHODS OF MANUFACTURE AND USE THEREOF
    103.
    发明申请
    RISERS INCLUDING A PLURALITY OF HIGH ASPECT RATIO ELECTRICAL CONDUITS AND SYSTEMS AND METHODS OF MANUFACTURE AND USE THEREOF 审中-公开
    包括大量高比例电气连接和系统的升高及其制造和使用方法

    公开(公告)号：WO2013039957A2

    公开(公告)日：2013-03-21

    申请号：PCT/US2012/054736

    申请日：2012-09-12

    Applicant: CASCADE MICROTECH, INC. ,  DUCKWORTH, Koby L. ,  HILL, Eric ,  JOLLEY, Mike ,  SCHULTZ, Kurt ,  CURTIS, Jody

    Inventor： DUCKWORTH, Koby L. ,  HILL, Eric ,  JOLLEY, Mike ,  SCHULTZ, Kurt ,  CURTIS, Jody

    IPC: G01R1/073 ,  H05K1/11 ,  H05K3/10

    CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R3/00 ,  H05K1/11 ,  H05K3/4046 ,  H05K2201/0379 ,  H05K2201/10378

    Abstract: Risers including a plurality of high aspect ratio electrical conduits, as well as systems and methods of manufacture and/or use of the risers and/or the high aspect ratio electrical conduits. The systems and methods may include incorporation of the plurality of high aspect ratio electrical conduits within a substantially planar- body that may include and/or be formed from a solid dielectric material. The plurality of electrical conduits may be configured to conduct a plurality of electric currents between a first surface of the body and a second, substantially opposed, surface of the body. The surfaces may include a plurality of contact pads configured to provide a robust and/or corrosion-resistant surface and/or to improve electrical contact between the riser and another device. The risers also may include a layered structure, wherein the layers are sequentially formed to increase a thickness of the riser and/or the aspect ratio of the electrical conduits.

    Abstract translation: 包括多个高纵横比电导管的立管以及制造和/或使用立管和/或高纵横比电导管的系统和方法。 系统和方法可以包括将多个高纵横比电导管并入可包括固体介电材料和/或由固体电介质材料形成的基本上平面的主体内。 多个电导管可以被配置为在主体的第一表面和主体的第二，基本相对的表面之间传导多个电流。 表面可以包括多个接触垫，其被配置为提供坚固的和/或耐腐蚀的表面和/或改善上升管和另一个装置之间的电接触。 立管还可以包括层状结构，其中顺序地形成这些层以增加提升管的厚度和/或电导管的纵横比。

    IMPEDANCE OPTIMIZED INTERFACE FOR MEMBRANE PROBE APPLICATION
    104.
    发明申请
    IMPEDANCE OPTIMIZED INTERFACE FOR MEMBRANE PROBE APPLICATION 审中-公开
    用于膜探针应用的阻抗优化接口

    公开(公告)号：WO2010042176A1

    公开(公告)日：2010-04-15

    申请号：PCT/US2009/005491

    申请日：2009-10-06

    Applicant: CASCADE MICROTECH, INC. ,  SMITH, Kenneth, R. ,  HAYWARD, Roger

    Inventor： SMITH, Kenneth, R. ,  HAYWARD, Roger

    IPC: G01R31/02

    CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R1/06772

    Abstract: In a membrane probing apparatus, the impedance of the interface between coaxial cables connected to the test instrumentation and the membrane supported co-planar waveguide that conductively connects to the probe's contacts is optimized by eliminating a ground plane in the interface board.

    Abstract translation: 在膜探测装置中，通过消除接口板中的接地平面，优化了连接到测试仪器的同轴电缆与导电连接到探头触点的膜支撑的共面波导之间的界面阻抗。

    WIDEBAND ACTIVE-PASSIVE DIFFERENTIAL SIGNAL PROBE
    106.
    发明申请
    WIDEBAND ACTIVE-PASSIVE DIFFERENTIAL SIGNAL PROBE 审中-公开
    宽带有源被动差分信号探测

    公开(公告)号：WO2006137979A3

    公开(公告)日：2007-05-31

    申请号：PCT/US2006016238

    申请日：2006-04-28

    Applicant: CASCADE MICROTECH INC ,  CAMPBELL RICHARD

    Inventor： CAMPBELL RICHARD

    IPC: G01R27/00

    CPC classification number: G01R1/06772 ,  G01R1/06766 ,  G01R19/10

    Abstract: A wideband differential signal probe includes separate paths to respectively convert lower and higher frequency components of a differential signal to lower and higher frequency single ended signals that are combined for the probe's output.

    Abstract translation: 宽带差分信号探头包括单独的路径，以分别将差分信号的较低和较高频率分量转换为组合为探头输出的较低和较高频率的单端信号。

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