-
公开(公告)号：CN103759652A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410030739.7
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于双光纤光栅的二维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，单模光纤a和单模光纤b分别将多路光开关与双光纤光栅探针连通，双光纤光栅探针上端部通过探针夹持器固装，所述的单模光纤a和单模光纤b与双光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的二维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
-
公开(公告)号：CN103759642A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410030737.8
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三芯光纤光栅的二维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，三根单模光纤分别将多路光开关与三芯光纤扇出器连通，三芯光纤的一端连接在三芯光纤扇出器上，在三芯光纤的另一端部上通过探针夹持器固装三芯光纤光栅探针，所述三芯光纤与三芯光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的二维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
-
公开(公告)号：CN102495528B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201110377833.6
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位的交换，随动防转机构控制双工件台的自转，保证双工件台在换台过程中的同相位；本发明解决了现有线性换台方案换台节拍多、冲击转矩大、现有旋转换台方案双工件台传感器和标记板相位反转、线缆缠绕及激光干涉仪目标丢失等问题，采用较小的质量平衡系统，有利于缩短平衡时间，同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间，有效提高了光刻机产率。
-
公开(公告)号：CN102393611B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201110377903.8
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机工件台磁预紧平衡定位系统属于半导体光刻技术领域；该系统主要包括基台、平衡质量系统、磁预紧系统、运动单元、硅片台、平衡质量防漂移系统，平衡质量系统由两个互相嵌套的框架组成，具有X、Y方向自由度，上部建有运动单元，利用动量守恒原理削弱运动部件对基台的冲击力；平衡质量防漂移系统用于补偿平衡质量系统因受外界阻力而在工作期间产生的位置偏移；磁预紧系统用于实时补偿工件台沿Z轴的扭转；本发明能够有效降低机内振动，抵偿工件台沿Z轴的扭转，进而大幅提高硅片台的运动定位精度。
-
公开(公告)号：CN102495529B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110377867.5
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 一种过梁式双导轨双驱步进扫描双硅片台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元，Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；且本本发明整个过程只有三个节拍，可缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102176087B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110021728.9
申请日：2011-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置，属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，本发明为克服已有方法与装置中的不足，实现高精度光电自准直角度测量。本发明的基于探测器组合靶标的共光路漂移量监测分离装置利用激光的线偏振特性，并将偏振分光镜、分光式靶标探测器、1/2波片及45°反射镜组合形成探测器组合靶标，在获取二维角度变化量测量光束的同时分离出与测量光束共光路传输的参考光束；控制器根据参考光束反映的漂移量实时控制二维光束偏转装置，抑制耦合在测量光束中的漂移量，实现二维角度变化量的精密测量。实现该方法的装置包括：二维光电自准直光管、基于探测器组合靶标的共光路漂移量监测分离装置、控制器以及二维光束偏转装置。
-
公开(公告)号：CN102402134A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110377775.7
申请日：2011-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 光刻机工件台陀螺定轴式稳定装置属于半导体光学光刻制造技术；在基台上安装可平行移动的平衡质量块，在平衡质量块沿X轴两侧部位上分别安装X向第一和第二直线电机定子，X向第一和第二直线电机动子分别气浮安装在X向第一和第二直线电机定子上，在X向第一与第二直线电机动子之间刚性固装带有Y向直线电机定子的Y向导轨，Y向直线电机动子气浮安装于Y向导轨上，硅片承载台固定在Y向直线电机动子侧部上，气浮连接在基台上的硅片台支承座与硅片承载台刚性连接，在平衡质量块四角处的槽坑内分别固装第一、二、三、四陀螺稳定装置；本装置能够实时抵抗扭转趋势，减小扭转量，保证动量守恒的精确性，提高定位精度。
-
公开(公告)号：CN102323656A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110290112.1
申请日：2011-09-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜属于光束控制装置；包括反射镜、基于双轴柔性铰链的二维偏转机构、驱动机构、控制系统，反射镜固配在基于双轴柔性铰链的二维偏转机构的刚性平台上，入射光束经反射镜反射后出射，控制系统通过控制两个正负微驱动机构在对称位置分别沿正反方向高速推动刚性平台，使刚性平台上的反射镜发生微角度偏转，实现出射光束的方向控制，控制系统的位移传感器将反射镜的转角信息反馈给计算机系统，实时调整反射镜的微偏转角度，本发明具有二维偏转方向无耦合、无轴向平移、响应速度快的特点。
-
公开(公告)号：CN102176087A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110021728.9
申请日：2011-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种偏振光组合靶标共光路补偿的二维光电自准直方法与装置，属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，本发明为克服已有方法与装置中的不足，实现高精度光电自准直角度测量。本发明的基于探测器组合靶标的共光路漂移量监测分离装置利用激光的线偏振特性，并将偏振分光镜、分光式靶标探测器、1/2波片及45°反射镜组合形成探测器组合靶标，在获取二维角度变化量测量光束的同时分离出与测量光束共光路传输的参考光束；控制器根据参考光束反映的漂移量实时控制二维光束偏转装置，抑制耦合在测量光束中的漂移量，实现二维角度变化量的精密测量。实现该方法的装置包括：二维光电自准直光管、基于探测器组合靶标的共光路漂移量监测分离装置、控制器以及二维光束偏转装置。
-
公开(公告)号：CN101520313B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200910071623.7
申请日：2009-03-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B11/007
Abstract: 基于二维微焦准直的微小内腔尺寸和三维坐标传感方法与装置属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种“亚宏观”领域中对微小、复杂内腔尺寸和三维坐标的传感方法与装置，尤其适用于大深径比微小盲孔的三维探测，本发明将微球面双凸透镜与光纤探针测杆结合，利用微球面双凸透镜组建了点光源二维微焦准直成像光路，利用该光路实现了对光纤探针测杆三维位移量的高倍放大与传感，本发明不仅具备单光纤探针测力小、易小型化及测量深径比大的特点，特别是分辨力最高可达深亚纳米量级，且在三维测量方向具有绝对“0”位，系统结构简单、实时性好、易于实际应用，在对微小内腔尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
197
records
(took 0.038 seconds)
