Abstract:
스페이서의 사용없이 균일한 셀갭(cell gap)을 갖도록 할 수 있는 실리콘액정표시장치(Liquid Crystal On Silicon)가 개시된다. LCOS는 웨이퍼, 글래스, 글래스와 웨이퍼가 소정의 셀갭을 갖도록 웨이퍼 상면 양단부에 실런트를 채워 형성한 월(wall), 웨이퍼 일면에 부착되는 박막압전체, 및 박막압전체의 수축/신장을 위해 외부전원을 공급 받도록 형성한 전극을 포함한다. 또한, 박막압전체의 변형으로부터 발생된 전압을 검출하는 전압검출부와 전압검출부에서 검출된 전압에 따라 박막압전체의 변형을 보상하는 피드백제어부를 더 포함한다. 이와 같은 LCOS는 글래스와 웨이퍼를 본딩하는 과정에서 발생하는 셀갭의 변형에 대해 부착된 박막압전체에 전압 크기를 조절하여 가함으로서 글래스와 웨이퍼 사이의 셀갭을 균일하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 제품 이용 중에 발생하는 웨이퍼의 변형에 대해서도 박막압전체로부터 발생하는 전압에 따라 보상을 해줄 수 있어 수율 향상 및 화질을 개선할 수 있다. 화상액정표시장치, LCOS, 웨이퍼, 글래스, 박압압전체, 피드백제어부
Abstract:
본 발명은 MEMS(Micro-electro-mechanical system) 구조에 의해 제공된 미소거울의 구동각도를 향상시킨 공간형 이중 콤전극 구조 및 이를 이용한 마이크로 스캐너를 개시한다. 본 발명에 따른 공간형 이중 콤전극 구조는, 광을 반사시키는 미러부; 상기 미러부의 양측면에 돌출하여 형성된 다수의 구동콤전극; 및 상기 미러부의 양측면에 형성된 다수의 구동콤전극과 상호 교번하도록, 상기 구동콤전극의 상부와 하부에 각각 형성된 다수의 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극;을 포함하며, 여기서, 상기 상부 고정콤전극 및 하부 고정콤전극의 구동콤전극과의 간격이 서로 다른 것을 특징으로 한다. 이중 콤전극, 구동콤전극, 고정콤전극, 마이크로 스캐너, 마이크로 액추에이터, MEMS(Micro-electro-mechanical system)
Abstract:
본 발명은 3차원 유한요소격자 생성을 위해, 주어진 입체 모형에 대한 3차원 모델의 표면 메싱 동작을 수행하여 표면 메시를 생성하고, 3차원 모델을 일측에서 투영한 투영 형상을 생성하며, 생성한 투영 형상의 표면 메싱 동작을 수행하여 투영 형상 메시를 생성하며, 생성한 투영 형상 메시의 각 2차원 요소를 밑면으로 하는 솔리드 요소들을 적층하여 기반 솔리드 메시를 생성하고, 표면 메시를 기반 솔리드 메시의 투영 형상에 일치하도록 배치하여 대입하며, 기반 솔리드 메시에서 표면 메시로 둘러싸인 내부에 포함되는 솔리드 요소만을 구분함으로 최종 솔리드 메시를 생성하는 동작을 수행한다. 이러한 동작을 수행하는 장치는 중앙처리장치(CPU)와 롬(ROM) 및 램(RAM) 메모리를 구비하며 FEM 생성을 위한 동작 프로그램을 수행하는 FEM 수행부에 따라 계산 동작을 수행하는 컴퓨터와, FEM 생성을 위한 동작 수행 결과로 생성된 중간 모델들 및 최종 솔리드 메시의 데이터를 저장하는 FEM 데이터 저장 영역에 저장하는 저장장치를 포함한다.
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본 발명은 3차원 유한요소격자 생성을 위해, 주어진 입체 모형에 대한 3차원 모델의 표면 메싱 동작을 수행하여 표면 메시를 생성하고, 3차원 모델을 일측에서 투영한 투영 형상을 생성하며, 생성한 투영 형상의 표면 메싱 동작을 수행하여 투영 형상 메시를 생성하며, 생성한 투영 형상 메시의 각 2차원 요소를 밑면으로 하는 솔리드 요소들을 적층하여 기반 솔리드 메시를 생성하고, 표면 메시를 기반 솔리드 메시의 투영 형상에 일치하도록 배치하여 대입하며, 기반 솔리드 메시에서 표면 메시로 둘러싸인 내부에 포함되는 솔리드 요소만을 구분함으로 최종 솔리드 메시를 생성하는 동작을 수행한다. 이러한 동작을 수행하는 장치는 중앙처리장치(CPU)와 롬(ROM) 및 램(RAM) 메모리를 구비하며 FEM 생성을 위한 동작 프로그램을 수행하는 FEM 수행부에 따라 계산 동작을 수행하는 컴퓨터와, FEM 생성을 위한 동작 수행 결과로 생성된 중간 모델들 및 최종 솔리드 메시의 데이터를 저장하는 FEM 데이터 저장 영역에 저장하는 저장장치를 포함한다.
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본 발명의 자이로스코프는 감지 질량체와 감지 질량체를 고정 지지하는 회로기판을 구비하는 센서부, 센서부를 밀폐하는 하우징, 및 센서부를 외부 회로와 연결하는 리드선의 역할을 함과 동시에 센서부를 하우징내에 탄성적으로 지지하는 방진부를 포함한다. 방진부는 각각, 센서부를 하우징 내부에 탄성적으로 지지하도록 하우징에 관하여 배치된 스프링부, 및 외부 회로와 연결되도록 하우징 외부로 돌출된 리드 단자부를 구비한 다수의 리드 프레임으로 구성된다. 본 발명의 자이로스코프 제조방법은 각각 스프링부와 리드 단자부를 포함하는 다수의 리드 프레임을 형성한 금속판을 준비하는 단계, 리드 프레임에 하우징의 몸체를 리드 프레임과 일체로 형성하는 단계, 감지 질량체와 회로 기판을 갖는 센서부를 리드 프레임에 고정하는 단계, 및 하우징의 덮개를 하우징의 몸체에 고정하는 단계를 포함한다. 본 발명의 자이로스코프 및 그 제조방법은 별도의 탄성부재를 사용하지 않고 센서부를 방진하는 방진 스프링부를 리드 프레임 형성시 리드 프레임과 일체로 형성한 방진부를 가지므로, 조립 및 제작을 쉽게 함과 동시에 제작 코스트를 줄일 수 있다.