CAPTEUR MULTI-SENSORIEL
    101.
    发明专利

    公开(公告)号:FR3015688A1

    公开(公告)日:2015-06-26

    申请号:FR1363189

    申请日:2013-12-20

    Abstract: L'invention concerne un circuit de mesure pour un capteur multi-sensoriel caractérisé en ce qu'il comprend : - une pluralité de branches de détection (200) montées en parallèle, chacune comprenant au moins deux dipôles (25) montés en série, - et, au moins une branche de référence (100), comprenant une source de polarisation (10) et au moins deux dipôles (25) montés en série; ladite branche de référence (100) étant reliée en parallèle à au moins deux branches de détection (200) parmi la pluralité de branches, de sorte à former un pont de Wheatstone avec chacune des branches de détection (200) parmi la pluralité de branches de détection (200).

    PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE COMPORTANT AU MOINS UNE PARTIE ACTIVE PRESENTANT DES ZONES D'EPAISSEURS DIFFERENTES

    公开(公告)号:FR2983189A1

    公开(公告)日:2013-05-31

    申请号:FR1160973

    申请日:2011-11-30

    Abstract: Procédé de réalisation d'une structure comportant une partie active comportant une première et une deuxième zone suspendue d'épaisseurs différentes à partir d'un premier substrat comportant, ledit procédé comportant les étapes : a) usinage de la face avant du premier substrat pour définir les contours latéraux d'au moins une première zone suspendue suivant une première épaisseur inférieure à celle du premier substrat, b) formation d'une couche d'arrêt de gravure de la première zone suspendue sous ladite zone suspendue, pour cela une étape préalable de retrait du matériau semi-conducteur disposé sous la première zone suspendue a lieu ; c) formation sur la face avant du premier substrat d'une couche sacrificielle, d) usinage à partir de la face arrière du premier substrat jusqu'à dégager ladite couche sacrificielle pour réaliser au moins une deuxième zone suspendue atteindre la couche d'arrêt de la première zone suspendue, e) libération des première et deuxième zones suspendues.

    GÉNÉRATEUR D'IMPULSIONS DE PRESSION DE TYPE MEMS

    公开(公告)号:FR2963192A1

    公开(公告)日:2012-01-27

    申请号:FR1056001

    申请日:2010-07-22

    Inventor: ROBERT PHILIPPE

    Abstract: L'invention concerne un dispositif de génération ou de récupération d'énergie acoustique, comportant : - au moins une première cavité déformable (20) pour recevoir une atmosphère ambiante, réalisée dans un premier substrat, délimitée par au moins une paroi dont au moins une paroi mobile ou déformable (25), et des moyens, pour faire communiquer la cavité avec une atmosphère ambiante, - des moyens (24, 24', 24 , 24' ) pour actionner un déplacement ou une déformation, dans le plan du capteur, de ladite paroi mobile ou déformable, ou pour récupérer une énergie résultant d'un déplacement ou d'une déformation, dans le plan du capteur, de ladite paroi mobile ou déformable.

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