公开(公告)号：EP0249800A3

公开(公告)日：1989-12-13

申请号：EP87107993.5

申请日：1987-06-03

Applicant: Battelle-Institut e.V.

Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Sinsel, Friedel ,  Bolz, Reinhold

IPC: G01N21/88 ,  G02B26/10 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/1045

Abstract: Bei der Prüfung von Bauteilen (6) aus transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird zum Beleuchten eine Vorrichtung verwendet, bei der das zu prüfende Bauteil um seine Achse drehbar angeordnet ist und mittels eines bewegten Lichtstrahles punktförmig abgetastet wird. Zur Erzeugung des abtastenden Lichtstrahles dient eine, ein paralleles Lichtbündel (19) erzeugende Lichtquelle (1), vorzugsweise ein Laser (1) und ein dieses Lichtbündel perio­disch mit einer gegen die Drehzahl des Bauteils hohen Frequenz linear auslenkender Abtaster (3). In Lichtrichtung gesehen hinter dem Abtaster (3) ist eine Sammellinse (4) vorge­sehen, welche als f-Theta-Linse ausgebildet ist und deren Brennpunkt im Drehpunkt (11) des Abtasters liegt. Dadurch wird die winkelmäßige Auslenkung des vom Laser gelieferten Lichtbündels durch den Abtaster hinter der Sammellinse in eine Parallelverschiebung des Lichtbündels zwischen zwei Extrempositionen umgewandelt. Zwischen der Sammellinse (4) und dem zu prüfenden Bauteil (6) ist ein verstellbarer Kipp­spiegel (5) zur Umlenkung des Lichtbündels auf das Bauteil vorgesehen.

公开(公告)号：EP0249798A3

公开(公告)日：1989-11-15

申请号：EP87107991.9

申请日：1987-06-03

Applicant: Battelle-Institut e.V.

Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Kurpiella, Hubert ,  Schneider, Bernhard

IPC: G01N21/88 ,  B07C5/342

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/1045

Abstract: Bei einem Verfahren zum Prüfen von Bauteilen aus transpa­rentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse erzeugt ein linear ausgelenkter Lichtstrahl (4) einen Licht­schnitt durch das Bauteil, der vollständig durch dieses hindurch bewegt wird. Während dieser Bewegung werden Signale erzeugt, die mindestens der Vorder- und der Rück­fläche des Bauteils (1) zugeordnet sind. Diese Flächensignale werden digitalisiert und jeweils parallel sowohl einem Bildspeicher (24,30) als auch über eine vorwählbare Anzahl von Schwellen (20,31) einer Anzahl von Sektorzählern (21,32) zugeführt. Diese Sektorzähler ermöglichen eine Echt-Zeit-Auswertung der Fehlersignale nach einem vorwählbaren Kriterium hinsicht­lich der Zahl, Ort und Grauwertverteilung. Bei nicht hinreichend gesicherter Erfüllung dieses Auswertekrite­riums, d.h. bei Problemfällen erfolgt automatisch eine anschließende Auswertung der im Bildspeicher gespeicher­ten Fehlersignale. Dieses Verfahren kann dazu verwendet werden eine Serien­prüfung optischer Bauteile durchzuführen, wobei die geprüften Bauteile in Bewertungsstufen eingeteilt und in entsprechende Behälter abgelegt werden.

公开(公告)号：EP0249798A2

公开(公告)日：1987-12-23

申请号：EP87107991.9

申请日：1987-06-03

Applicant: Battelle-Institut e.V.

Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Kurpiella, Hubert ,  Schneider, Bernhard

IPC: G01N21/88 ,  B07C5/342

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/1045

Abstract: Bei einem Verfahren zum Prüfen von Bauteilen aus transpa­rentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse erzeugt ein linear ausgelenkter Lichtstrahl (4) einen Licht­schnitt durch das Bauteil, der vollständig durch dieses hindurch bewegt wird. Während dieser Bewegung werden Signale erzeugt, die mindestens der Vorder- und der Rück­fläche des Bauteils (1) zugeordnet sind. Diese Flächensignale werden digitalisiert und jeweils parallel sowohl einem Bildspeicher (24,30) als auch über eine vorwählbare Anzahl von Schwellen (20,31) einer Anzahl von Sektorzählern (21,32) zugeführt. Diese Sektorzähler ermöglichen eine Echt-Zeit-Auswertung der Fehlersignale nach einem vorwählbaren Kriterium hinsicht­lich der Zahl, Ort und Grauwertverteilung. Bei nicht hinreichend gesicherter Erfüllung dieses Auswertekrite­riums, d.h. bei Problemfällen erfolgt automatisch eine anschließende Auswertung der im Bildspeicher gespeicher­ten Fehlersignale.
Dieses Verfahren kann dazu verwendet werden eine Serien­prüfung optischer Bauteile durchzuführen, wobei die geprüften Bauteile in Bewertungsstufen eingeteilt und in entsprechende Behälter abgelegt werden.

Abstract translation: 在用于制成表面缺陷和夹杂物的透明材料的组件的测试方法，线性偏转光束（4）产生一个光部，通过该被移动穿过其完全的组件。 在该运动期间，产生了信号，这些信号与至少所述部件（1）的前表面和后表面相关联。 这种表面的信号被数字化并分别平行于二者的图像存储器（24,30），并通过多个扇区计数器（21,32）的阈值（20,31）的一个预选的数目进料。 这个部门计数器使有关数量，位置和灰度分布预选标准误差信号的实时评估。 如果不能充分确保这一评价标准，即满足 在问题的情况下自动地存储在图像存储器的误差信号中的数据的后续评估。 这种方法可以被用于执行光学元件的一系列的检测，其中，被测试的组件被分为评估水平，并存储在合适的容器中。

公开(公告)号：EP0146005A3

公开(公告)日：1986-05-28

申请号：EP84114161

申请日：1984-11-23

Applicant: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

Inventor： Ogawa, Shigeru c/o Patent Division ,  Yamaji, Hiroshi c/o Patent Division ,  Kano, Masaaki c/o Patent Division

IPC: G01N21/88

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/065 ,  G01N2201/1045

Abstract: The holding mechanism (112) holds an object under inspection in a manner that the substantially entire surface of the object (108) may relatively be scanned by a laser beam. A spherical integrating light collector (127) has an opening (127a) disposed close to the inspected surface of the object (108) held by the holding mechanism (112). A laser beam illuminating mechanism (128) is coupled with the other end of the spherical integrating light collector (127), and illuminates the inspected surface of the object (108) with the laser beam through the opening (127a). A photo-electric converter (129) receives the scattered light as is reflected by the inspected surface and collected by the spherical integrating light collector (127), and converts the scattered light into an electrical signal representing an amount of light. An analog to digital converter (132) converts the electrical signal derived from the photo-electric converter (129) into a digital signal. A peak detector (133) receives the digital signal derived from the analog to digital converter (132) to detect peak values at predetermined periods. A mean value calculator (134) calculates a mean value using a digital signal output from the analog to digital converter (132). A reference value storing memory (141) stores a reference value to determine defects present on the inspected surface of the object (108). A threshold level calculator (140) calculates the threshold level using the reference value and the mean value. A defect detector (137) compares peak values derived from the peak detector (133) with the threshold level, and detects the surface defects on the basis of the result of the comparison.

公开(公告)号：EP0146005A2

公开(公告)日：1985-06-26

申请号：EP84114161.7

申请日：1984-11-23

Applicant: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA

Inventor： Ogawa, Shigeru c/o Patent Division ,  Yamaji, Hiroshi c/o Patent Division ,  Kano, Masaaki c/o Patent Division

IPC: G01N21/88

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N2201/065 ,  G01N2201/1045

Abstract: The holding mechanism (112) holds an object under inspection in a manner that the substantially entire surface of the object (108) may relatively be scanned by a laser beam. A spherical integrating light collector (127) has an opening (127a) disposed close to the inspected surface of the object (108) held by the holding mechanism (112). A laser beam illuminating mechanism (128) is coupled with the other end of the spherical integrating light collector (127), and illuminates the inspected surface of the object (108) with the laser beam through the opening (127a). A photo-electric converter (129) receives the scattered light as is reflected by the inspected surface and collected by the spherical integrating light collector (127), and converts the scattered light into an electrical signal representing an amount of light. An analog to digital converter (132) converts the electrical signal derived from the photo-electric converter (129) into a digital signal. A peak detector (133) receives the digital signal derived from the analog to digital converter (132) to detect peak values at predetermined periods. A mean value calculator (134) calculates a mean value using a digital signal output from the analog to digital converter (132). A reference value storing memory (141) stores a reference value to determine defects present on the inspected surface of the object (108). A threshold level calculator (140) calculates the threshold level using the reference value and the mean value. A defect detector (137) compares peak values derived from the peak detector (133) with the threshold level, and detects the surface defects on the basis of the result of the comparison.