蝕刻劑及其補充液及使用其之銅配線製造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME
    111.
    发明专利
    蝕刻劑及其補充液及使用其之銅配線製造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME 有权
    蚀刻剂及其补充液及使用其之铜配线制造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME

    公开(公告)号:TWI282377B

    公开(公告)日:2007-06-11

    申请号:TW093121488

    申请日:2004-07-19

    IPC: C23F H05K

    CPC classification number: C23F1/18 H05K3/067 H05K2203/124

    Abstract: 本發明之蝕刻劑,係銅或銅合金用之蝕刻劑,其由含有銅離子濃度為14~155g/公升之銅(II)離子源、7~180g/公升之鹽酸、以及0.1~50g/公升之唑(僅有氮原子作為環內之雜原子)之水溶液所組成。本發明之配線製造方法,係藉由蝕刻銅或銅合金來製造配線,其以蝕刻劑蝕刻電絕緣材(1)上之銅層(2)中未被覆抗蝕劑(3)之部分(2a),而形成配線(4)。藉此,形成底切少、微細且高密度之配線圖案。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之蚀刻剂,系铜或铜合金用之蚀刻剂,其由含有铜离子浓度为14~155g/公升之铜(II)离子源、7~180g/公升之盐酸、以及0.1~50g/公升之唑(仅有氮原子作为环内之杂原子)之水溶液所组成。本发明之配线制造方法,系借由蚀刻铜或铜合金来制造配线,其以蚀刻剂蚀刻电绝缘材(1)上之铜层(2)中未被覆抗蚀剂(3)之部分(2a),而形成配线(4)。借此,形成底切少、微细且高密度之配线图案。

    樹脂表面處理劑及樹脂表面處理法 RESIN SURFACE TREATING AGENT AND RESIN SURFACE TREATMENT
    112.
    发明专利
    樹脂表面處理劑及樹脂表面處理法 RESIN SURFACE TREATING AGENT AND RESIN SURFACE TREATMENT 审中-公开
    树脂表面处理剂及树脂表面处理法 RESIN SURFACE TREATING AGENT AND RESIN SURFACE TREATMENT

    公开(公告)号:TW200615316A

    公开(公告)日:2006-05-16

    申请号:TW094118324

    申请日:2005-06-03

    IPC: C08J C09K

    CPC classification number: C08J7/06 C08J7/12 H05K3/381

    Abstract: 本發明係以擇自4價及/或3價之鈰化合物做為有效成分之樹脂表面處理劑。本發明之樹脂表面處理法,係將樹脂表面與以擇自4價及/或3價之鈰化合物做為有效成分之樹脂表面處理劑接觸後以酸性水溶液處理。藉此能夠活化樹脂表面,提升聚醯亞胺系樹脂薄膜與金屬配線之接合強度及聚醯亞胺系樹脂與其他樹脂之接合強度。本發明藉此可提供一種生產性優異、處理成本低廉之樹脂表面處理劑及使用其之樹脂表面處理法。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系以择自4价及/或3价之铈化合物做为有效成分之树脂表面处理剂。本发明之树脂表面处理法,系将树脂表面与以择自4价及/或3价之铈化合物做为有效成分之树脂表面处理剂接触后以酸性水溶液处理。借此能够活化树脂表面,提升聚酰亚胺系树脂薄膜与金属配线之接合强度及聚酰亚胺系树脂与其他树脂之接合强度。本发明借此可提供一种生产性优异、处理成本低廉之树脂表面处理剂及使用其之树脂表面处理法。

    蝕刻劑及其補充液及使用其之銅配線製造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME
    113.
    发明专利
    蝕刻劑及其補充液及使用其之銅配線製造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME 审中-公开
    蚀刻剂及其补充液及使用其之铜配线制造方法 ETCHANT, REPLENISHMENT SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCING COPPER WIRING USING THE SAME

    公开(公告)号:TW200504245A

    公开(公告)日:2005-02-01

    申请号:TW093121488

    申请日:2004-07-19

    IPC: C23F

    CPC classification number: C23F1/18 H05K3/067 H05K2203/124

    Abstract: 本發明之蝕刻劑,係銅或銅合金用之蝕刻劑,其由含有銅離子濃度為14~155g/公升之銅(11)離子源、7~180g/公升之鹽酸、以及0.1~50g/公升之唑(僅有氮原子作為環內之雜原子)之水溶液所組成。本發明之配線製造方法,係藉由蝕刻銅或銅合金來製造配線,其以蝕刻劑蝕刻電絕緣材(1)上之銅層(2)中未被覆抗蝕劑(3)之部分(2a),而形成配線(4)。藉此,形成底切少、微細且高密度之配線圖案。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之蚀刻剂,系铜或铜合金用之蚀刻剂,其由含有铜离子浓度为14~155g/公升之铜(11)离子源、7~180g/公升之盐酸、以及0.1~50g/公升之唑(仅有氮原子作为环内之杂原子)之水溶液所组成。本发明之配线制造方法,系借由蚀刻铜或铜合金来制造配线,其以蚀刻剂蚀刻电绝缘材(1)上之铜层(2)中未被覆抗蚀剂(3)之部分(2a),而形成配线(4)。借此,形成底切少、微细且高密度之配线图案。

    銅或銅合金之蝕刻劑
    114.
    发明专利
    銅或銅合金之蝕刻劑 有权
    铜或铜合金之蚀刻剂

    公开(公告)号:TW591120B

    公开(公告)日:2004-06-11

    申请号:TW089123501

    申请日:2000-11-07

    IPC: C23F C09K

    Abstract: 一種銅或銅合金之蝕刻劑,其為含有烷醇胺5~50重量%、銅離子源以金屬銅計為0.2~10重量%、鹵素離子源以鹵素計為0.005~10重量%及脂族羧酸0.1~30重量%,且相對於脂族羧酸1莫耳之烷醇胺比率為2莫耳以上之水溶液所組成。

    Abstract in simplified Chinese: 一种铜或铜合金之蚀刻剂,其为含有烷醇胺5~50重量%、铜离子源以金属铜计为0.2~10重量%、卤素离子源以卤素计为0.005~10重量%及脂族羧酸0.1~30重量%,且相对于脂族羧酸1莫耳之烷醇胺比率为2莫耳以上之水溶液所组成。

    蝕刻劑及其補給液、鎂構件的表面粗化方法以及鎂/樹脂複合體的製造方法
    119.
    发明专利
    蝕刻劑及其補給液、鎂構件的表面粗化方法以及鎂/樹脂複合體的製造方法 审中-公开
    蚀刻剂及其补给液、镁构件的表面粗化方法以及镁/树脂复合体的制造方法

    公开(公告)号:TW201627534A

    公开(公告)日:2016-08-01

    申请号:TW104138049

    申请日:2015-11-18

    Abstract: 本發明的蝕刻劑係水溶液所構成,前述水溶液含有硝酸以外的無機酸及有機酸所成群組所選擇之1種以上的酸;以及於分子構造中含有N-OH或N-O-之有機氮化合物。蝕刻劑中酸的濃度為0.05~3重量%,有機氮化合物的濃度為0.005~5重量%。藉由使鎂構件的表面接觸前述蝕刻劑,即使在蝕刻深度大時也可在鎂構件的表面形成細微的粗化形狀。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明的蚀刻剂系水溶液所构成,前述水溶液含有硝酸以外的无机酸及有机酸所成群组所选择之1种以上的酸;以及于分子构造中含有N-OH或N-O-之有机氮化合物。蚀刻剂中酸的浓度为0.05~3重量%,有机氮化合物的浓度为0.005~5重量%。借由使镁构件的表面接触前述蚀刻剂,即使在蚀刻深度大时也可在镁构件的表面形成细微的粗化形状。

Patent Agency Ranking