투사형 화상표시장치용 광로조절수단의 제조방법

    公开(公告)号:KR1019940023218A

    公开(公告)日:1994-10-22

    申请号:KR1019930004510

    申请日:1993-03-23

    Inventor: 채송 김명진

    Abstract: 본 발명은 MXN개의 화소를 가지는 투사형화상표시장치용 광로조절수단에 관한 것으로서, 벌크 상태의 세라믹을 얇게 잘라 세라믹웨이퍼를 만들고, 이 세라믹웨이퍼의 하부에 세로방향으로 홈을 파서 기판의 도선패턴과 액츄에이터의 신호전극을 전기적으로 연결하는 전도성 접착제를 채우고, 가로방향으로 홈을 파서 액츄에이터들의 신호전극을 분리하는 비전도성 접착제를 채운다. 따라서, 세라믹을 전극이 없는 벌크상태로 성형 및 소성하므로 세라믹웨이퍼의 가공이 간단하며, 또한 세라믹웨이퍼에 기판의 도선패턴과 액츄에이터의 신호전극을 연결하기 위한 도전성 접착제를 별도의 간단한 공정으로 채우므로 제조가 쉽다.

    광로조절장치
    112.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1019940023212A

    公开(公告)日:1994-10-22

    申请号:KR1019930004504

    申请日:1993-03-23

    Inventor: 채송

    Abstract: 본 발명은 투사형화상 표시장치에 이용되는 광로조절장치에 관한 것으로 기판의 표면상에 액츄에이터어레이의 하부표면에 전도성이 양호한 금속으로 내부전극들과 전기적으로 연결되도록 형성된 저저항부들에 의해 전도성 금속들이 불균일하게 포함된 접착부들과 내부전극들사이의 전기적 접촉면을 증가시킨다. 따라서, 접착부들과 내부전극들사이의 넓은 전기적 접촉면적으로 인하여 저항을 작고 균일하게 하여 변형부들의 변위량을 일정하게 할 수 있으므로 동작특성이 향상된다.

    투사형 화상표시장치의 광로조절수단

    公开(公告)号:KR1019940022130A

    公开(公告)日:1994-10-20

    申请号:KR1019930004512

    申请日:1993-03-23

    Inventor: 채송

    Abstract: 본 발명은, 투사형 화상 표시장치의 광로조절 수단에 관한 것으로, 능동 매트릭스 기판(31), 도선 패턴(36), 신호전극(32), 공통 접지 전극(33), 제 1 및 제 2 변형부(38)(39), 제 1 및 제 2 구동전달부(40)(41) 및 반사경(34)를 포함한다.
    특히, 본 발명의 바람직한 실시예는, 제 1 및 제 2 변형부(38) 및 (39)간에 소정의 이격간격(T)을 연질의 에폭시로 이루어지는 제 2 구동전달부(41)가 삽입하여 유지하여 형성하고 그 상부에 경질의 에폭시로 이루어지는 제 1 구동전달부(40)가 형성되어 반사경(34)을 유지시켜, 신호 전극층(32)에 응력을 미세하게 미치게하여 액츄에이터의 수명을 연장시켰으며, 또한, 액츄에이터의 휩 변위를 이용하여 반사경(34)을 회전하는 것이 아니라 인가전압 및 전계 세기에 의해 제 1 및 제 2 변형부(38)(39)를 수축 및 팽창하여 그 변위를 이용하여 광로를 조절하므로써 생산성을 보다 향상시킨 것이다.

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