用于高流速真空起泡器容器的防溅器

    公开(公告)号:CN101839394B

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN201010139333.4

    申请日:2010-03-19

    CPC classification number: B01J4/008 B01J4/02

    Abstract: 本发明涉及用于高流速真空起泡器容器的防溅器。具体地,提供了一种贮存器,其具有:浸管入口;至少一个挡盘,其定位在该浸管出口和该贮存器出口之间以便在该挡盘和该贮存器侧壁之间提供狭窄的环状空间,以便防止液滴进入出口,到达该贮存器和其侧壁的内表面;以及在该侧壁的径向向内伸出的环状偏转突出部,其邻近所述挡盘。本发明还涉及一种从具有上述结构的贮存器输送化学前体的方法。设想了液体输送和蒸气输送。

    基板处理装置
    119.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1933901A

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:CN200580009276.5

    申请日:2005-06-17

    CPC classification number: G05D7/0658 B01J4/008

    Abstract: 本发明的基板处理装置设置有从设置在供给处理气体的气体供给系统的处理室(11)的入口附近的开关阀(13d、14d)的上游侧分支,并连接到排气管(17)的分支配管(18)。在该分支配管(18)上插入气体流量检测机构(19),并设置用于将流路切换到处理室(11)侧和分支配管(18)的开关阀(13h、14h)。气体流路检测机构(19)使气体在电阻体中流通并测量其两端的压力来从压力差中检测出气体流量。通过该检测值,检测或校正质量流量控制器(13a、14a)。

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