炭素膜積層体、並びにその積層体の製造方法及びそれを用いた潤滑材
    117.
    发明申请
    炭素膜積層体、並びにその積層体の製造方法及びそれを用いた潤滑材 审中-公开
    碳膜层压板,制造层压板的方法和使用所述层压板的润滑剂

    公开(公告)号:WO2012153819A1

    公开(公告)日:2012-11-15

    申请号:PCT/JP2012/062061

    申请日:2012-05-10

    Abstract:  本発明は、炭素膜のもつ基材への高い付着性、硬度、表面平坦性、低相手材攻撃性、透明性、高熱伝導性を利用し、潤滑油などの液体・半液体潤滑剤を用いることなく、低摩擦および低磨耗、低相手攻撃性の摺動面をもつ炭素膜積層体を提供することを目的とするものであって、本発明は、基材と、該基材の上に設けられた、フッ素原子(F)を1×10 19 個/cm 3 以上の濃度で含有する酸化シリコン(Si0x、x=1~2)からなる炭素膜付着増強層と、該炭素膜付着増強層上に設けられた炭素膜とを備え、該炭素膜はその膜中にフッ素原子を1×10 19 ~1×10 21 個/cm 3 の濃度で含有し、CuKα 1 線によるX線回折スペクトルにおいて、ブラッグ角(2θ±0.5°)の43.9°のピークフィッティング曲線Aに41.7°のピークフィッティング曲線Bおよびベースラインを重畳して得られる近似スペクトル曲線を有する炭素膜積層体を提供するものである。

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种碳膜层压板,其利用对基材的高粘附性,硬度,表面平整度,对匹配材料的低侵蚀性,透明度和碳膜的高导热性,以实现 具有低摩擦,低磨损和低对材料侵蚀的滑动表面,而不使用液体或半液体润滑剂如润滑油。 该碳膜层叠体设置有基板,设置在所述基板上的碳膜附着强化层,并且包含密度为至少1×1019个原子的含氟原子(F)的氧化硅(SiO x,x为1-2) 并且设置在所述碳膜附着强化层上的碳层。 所述碳膜在密度为1×1019-1×1021原子/ cm3的膜中含有氟原子,在CuKa1辐射的X射线衍射光谱中,碳膜层叠体具有通过叠加得到的近似光谱曲线, 43.9°布拉格角(2θ±0.5°),峰值拟合曲线(B)为41.7°的峰拟合曲线(A)和基线。

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