基于分布式反馈激光器阵列的光纤光栅阵列传感方法、装置及系统

    公开(公告)号:CN112082586A

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN202010509563.9

    申请日:2020-06-05

    Abstract: 本申请公开了基于分布式反馈激光器阵列的光纤光栅阵列传感方法,通过耦合于待测物体的光纤光栅阵列测量待测物体的物理量变化,本申请构建了基于分布式反馈激光器阵列与光纤光栅阵列的准分布式物理量测量系统,并采用一种等光频间隔采样的方式获取光栅阵列的光谱,进而实现光纤光栅阵列的波长解调与准分布式物理量测量。获得了大范围访问带宽,使得可以复用更多数量的光纤光栅,提高了单个光纤光栅可探测到的物理量测量的量程。本申请还公开了相应的装置和系统。

    一种基于三点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法

    公开(公告)号:CN110608668B

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201910912147.0

    申请日:2019-09-25

    Abstract: 本发明是一种基于三点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法。基于圆光栅确定转台的角度定位;基于调心调倾装置确保被测转子同心度、平行度与质心坐标的测量与装配在同一基准下进行;基于四测头测量装置,分别提取各级转子径向装配面的同心度误差和轴向装配面的平行度误差;基于三点称重测量装置,分别提取各级转子质心径向坐标;基于转子装配位姿传递模型,以转子装配体的同轴度和质心偏移量为双优化目标,通过遗传寻优,得到各级转子的最优装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度和不平衡量超标的问题,具有转子几何和质量特性一体化测量、一次性装配合格率高、减小发动机振动的特点。

    基于双光栅的三维角度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN109470177B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201811480218.6

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 基于双光栅的三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维平面反射光栅、1/4波片以及一维平面透射光栅组成的组合靶标作为敏感器件,通过光电探测器探测经过组合靶标作用后返回的待测光束的方向变化量来探测组合靶标的三维角度变化值,实现三维角度变化量的精密测量;本发明采用双光栅作为敏感器件,保证待测光束与入射光束光轴平行,在实现高精度三维角度变化量同时测量的同时,极大的增加了测量系统的工作距离,并且使整个测量系统更加紧凑。

    基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN109443248B

    公开(公告)日:2020-07-24

    申请号:CN201811479495.5

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维平面反射光栅作为敏感器件,实现了敏感器件的三维角度变化量测量,利用一维平面透射光栅以及偏振分光镜组作为补偿机构,通过共光路补偿提高了角度的测量精度和测量稳定性,同时采用跟随式补偿方式提高了旋转角的测量范围;本发明的方法与装置,在实现三维角度高精度、高稳定性测量的同时,增大了旋转角的测量范围,方法科学合理,装置结构紧凑。

    一种基于三点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法

    公开(公告)号:CN110608668A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910912147.0

    申请日:2019-09-25

    Abstract: 本发明是一种基于三点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法。基于圆光栅确定转台的角度定位;基于调心调倾装置确保被测转子同心度、平行度与质心坐标的测量与装配在同一基准下进行;基于四测头测量装置,分别提取各级转子径向装配面的同心度误差和轴向装配面的平行度误差;基于三点称重测量装置,分别提取各级转子质心径向坐标;基于转子装配位姿传递模型,以转子装配体的同轴度和质心偏移量为双优化目标,通过遗传寻优,得到各级转子的最优装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度和不平衡量超标的问题,具有转子几何和质量特性一体化测量、一次性装配合格率高、减小发动机振动的特点。

    一种基于四点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法

    公开(公告)号:CN110608665A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910911299.9

    申请日:2019-09-25

    Abstract: 本发明是一种基于四点称重的航空发动机转子装配测量装置及双目标优化方法。基于圆光栅确定转台的角度定位;基于调心调倾装置确保被测转子同心度、平行度与质心坐标的测量与装配在同一基准下进行;基于四测头测量装置,分别提取各级转子径向装配面的同心度误差和轴向装配面的平行度误差;基于四点称重测量装置,分别提取各级转子质心径向坐标;基于转子装配位姿传递模型,以转子装配体的同轴度和质心偏移量为双优化目标,通过遗传寻优,得到各级转子的最优装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度和不平衡量超标的问题,具有转子几何和质量特性一体化测量、一次性装配合格率高、减小发动机振动的特点。

    一种窗口扫描式曝光装置
    127.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108663911B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201810437318.4

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种窗口扫描式曝光装置;该装置通过4只刀片共面安装,并在石英条和曝光窗口之间的缝隙处形成矩形窗口,进行高分辨率的投影式曝光控制,同时可以实现易损耗光学元件的便捷更换,以及光学元件和拦光部件在长时间激光环境下的温度控制。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    一种半解耦的联动式可变光阑

    公开(公告)号:CN108627937B

    公开(公告)日:2019-05-07

    申请号:CN201810437697.7

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接,从动导轨末端安装光阑板,4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制,实现平面内任意范围的扫描,提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置

    公开(公告)号:CN109443249A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811485069.2

    申请日:2018-12-05

    Abstract: 基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术;本发明采用一维平面透射光栅作为敏感器件,实现了敏感器件的滚转角变化量测量;本发明解决了现有方法与装置中的测量精度低、工作距离短等不足,利用双衍射光束进行差动测量,消除了由光源光束角度漂移引入的测量误差;待测光束与光轴平行,极大地增大了测量装置的工作距离,同时使探测结构更挤紧凑;激光光束两次经过透射光栅作用,使系统测量分辨力提高了一倍;该测量系统消除了偏摆角和俯仰角对旋转角测量的影响;更换不同线对的光栅可满足不同测量精度的要求。

    一种无线缆式双向扫描装置

    公开(公告)号:CN109270805A

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:CN201811358472.9

    申请日:2018-11-14

    CPC classification number: G03F7/70358 G03F7/70725

    Abstract: 本发明公开一种无线缆式双向扫描装置;通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动,消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响,同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向,并最终通过结合反馈控制,达到双向扫描的目的。本发明可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。

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