薄膜形成装置及薄膜形成方法

    公开(公告)号:CN101946021A

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN200980105706.1

    申请日:2009-02-17

    CPC classification number: C23C14/562 C23C14/24 C23C14/541 C23C16/466

    Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置。该薄膜形成装置(100)具有:真空槽(1);设置在真空槽(1)内并向面对成膜源(27)的规定成膜位置(4)供给长条的衬底(8)的衬底输送机构(40);环形带(10),其能够与由衬底输送机构(40)进行的衬底(8)的供给相对应地运行,并以在直线输送中的衬底(8)的表面上形成薄膜的方式沿着环形带(10)自身的外周面限定成膜位置(4)处的衬底(8)的输送路径;形成在环形带(10)上的贯通孔(16);衬底冷却单元(30),其从运行中的环形带(10)的内周侧通过贯通孔(16)向环形带(10)和衬底(8)的背面之间导入冷却气体。

    层叠体及电容器
    128.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1523619B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200410005521.2

    申请日:1998-11-16

    CPC classification number: H01G4/30

    Abstract: 本发明提供一种无论层叠厚度如何、可使表面特性良好、层叠体中不含异物、以满足薄膜化和高性能化的要求的层叠体,和一种超小型电容器。本发明的层叠体,包括元件层、层叠在元件层两侧上的加强层和在加强层两侧上层叠的保护层。其中,元件层是由电介质层、和层叠在电介质层的单面上、由带状的电气绝缘部分所区分的第1金属薄膜层和第2金属薄膜层构成的数层层叠单位,而邻接的层叠单位中电气绝缘部分的层叠位置不同,每隔一层的层叠单位中电气绝缘部分的层叠位置在元件层整体上不在同一位置。或者元件层是由电介质层、和层叠在电介质层的单面上除了存在于电介质层表面一端上的带状电气绝缘部分以外的部分上的金属薄膜层构成的层叠单位,而邻接的层叠单位中电气绝缘部分位于互为相反一侧层叠出数层,每隔一层的层叠单位中电气绝缘部分的宽度在元件层整体上不同。加强层是由树脂层、和层叠在树脂层的单面上、由带状的电气绝缘带所区分的第1金属层和第2金属层构成的层叠单位构成;或者是由树脂层、和层叠在树脂层的单面上除了存在于树脂层表面一端上的带状电气绝缘带之外的部分上的金属层构成的层叠单位构成。

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