Abstract:
광변조기의 미세전극 형성방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 기판 상에 유전막을 형성하는 단계와, 상기 유전막 상에 크롬(Cr)막을 형성하는 단계와, 상기 크롬막 상에 제1 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 포토레지스트 패턴을 마스크로 상기 크롬막을 식각하여 상기 유전막을 노출하는 개구부를 갖는 크롬막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계와, 상기 크롬막 패턴이 형성된 기판의 전면에 상기 개구부를 충분히 매립하도록 금막을 형성하는 단계와, 상기 금막 상에 제2 포토레지스트막을 형성하는 단계와, 상기 제2 포토레지스트를 패터닝하여 상기 개구부의 상부와 일치되도록 도금 가이드를 형성하는 단계와, 상기 도금 가이드에 의하여 노출된 금막 상에 금을 전기도금하여 도금막을 형성하는 단계와, 상기 도금 가이드를 제거하여 상기 금막을 노출 하는 도금막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 도금막 패턴을 식각마스크로 상기 금막을 식각하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광변조기의 미세전극 형성방법을 제공한다. 본 발명의 광변조기의 미세전극 형성방법은 양산 적용에 유리하고, 도금막 패턴의 형성시 20㎛ 두께 이상의 도금 가이드를 이용함으로써 두꺼운 미세전극을 형성할 수 있다.
Abstract:
광변조기의 미세전극 형성방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 기판 상에 투명한 유전막을 형성하는 단계와, 상기 유전막 상에 크롬(Cr)막을 형성하는 단계와, 상기 크롬막 상에 금(Au)막을 형성하는 단계와, 상기 금막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 상기 금막 및 크롬막을 식각하여 금막 패턴 및 크롬막 패턴을 형성는 단계와, 상기 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계와, 상기 금막 패턴 상에 금을 전기도금(electroplating)하여 도금막 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광변조기의 미세전극 형성방법을 제공한다. 본 발명의 광변조기의 미세전극 형성방법은 양산공정에 적용하기 용이하고 미세전극의 두께를 종래기술보다 두꺼운 10㎛이상까지 형성할 수 있다.
Abstract:
본 발명에 따른 화합물 반도체 기판은, 기판. 상기 기판의 일면에 형성되며, 기판과 다른 열팽창 계수를 가지는 성장막 및 기판 일면 및 이면 중 어느 하나의 가장자리를 따라 형성되며, 상기 성장막과 다른 열팽창 계수를 가지는 이종 물질로 형성된 버퍼층을 포함한다. 본 발명의 실시형태들에 의하면, 기판의 상부 또는 하부의 가장자리를 따라 버퍼층을 형성함으로써, 상온에서 기판과 성장막 간의 열팽창 계수 차이로 인한 응력을 완충시킨다. 이에 상온에서 휨(bowing) 변형이 발생되지 않는 화합물 반도체 기판 또는 에피택시얼웨이퍼(Epitaxial wafer)를 제조할 수 있다.
Abstract:
The present invention relates to a sunlight collecting apparatus capable of controlling the focus and a hybrid lighting system using the same. The sunlight collecting apparatus includes a light receiving module, a case which has an opening part on one side thereof and combines the light receiving module by forming a through hole on the bottom surface corresponding to the opening part, and a collection module which is installed on the upper side of the case to be lifted, controls a distance from the light receiving module, and emits the sunlight to the light receiving module by collecting the sunlight. Accordingly, the focus of the sunlight inputted from the collection module is easily controlled by controlling a distance between the collection module and the light receiving module.
Abstract:
본 발명에 따른 에스컬레이터의 핸드 레일 살균 장치 및 방법은 에스컬레이터의 핸드 레일을 감싸는 형상을 가지고 에스컬레이터에 부착되는 케이스, 상기 케이스의 내측면에 위치하며, 상기 핸드 레일로 자외선을 조사하는 발광 다이오드를 포함한 살균 모듈, 상기 에스컬레이터가 정지 상태인 경우 상기 살균 모듈을 제어하여 자외선이 조사되지 않도록 하고, 상기 에스컬레이터가 동작 상태인 경우 상기 살균 모듈을 제어하여 상기 핸드 레일로 자외선을 조사하도록 하는 제어부를 포함하여 구성되며, 이를 통해 핸드 레일을 손으로 붙잡는 사용자가 감염 등의 위험으로부터 보호되고, 에스컬레이터가 동작 중인 경우에만 핸드 레일의 살균 동작을 수행함으로써 전력 소모를 최소화 할 수 있으면, 사용자가 에스컬레이터를 사용하는 경우, 직전에 살균 된 핸드 레일을 붙잡고 이동할 수 있어 살균에 의한 보호 효과가 배가 된다.
Abstract:
본 고안은 LED 조명과 초음파를 구비한 해충 방제 장치에 관한 것으로서, 본 고안의 LED 조명과 초음파를 구비한 해충 방제 장치는 540 내지 570nm의 빛을 방출하는 LED 조명부, LED 조명부의 아래에 설치되며, 25,000 내지 50.000Hz의 초음파를 발진하는 초음파 발생부, LED 조명부의 상부에 설치되어 LED 조명부를 외부 환경으로부터 보호하고, 태양광을 집속하여 전기에너지를 생성하는 솔라셀을 포함하는 솔라셀 커버, 솔라셀 커버의 내부에 설치되어 솔라셀에서 생성하는 전기에너지가 소진되면 솔라셀의 전기에너지와 대체되는 전기에너지를 제공하는 배터리, 외부 단말과 근거리 무선 통신을 수행하여, LED 조명부 또는 초음파 발생부의 구동 제어 신호를 수신하여 전달하는 근거리 무선통신부, 근거리 무선통신부를 통하여 상기 구동 제어 신호를 전달받으면, 솔라셀 커버에서 생성된 전기에너지를 이용하여 LED 조명부 또는 상기 초음파 발생부를 구동시켜 해충을 방제하고, 솔라셀 커버에서 제공하는 전기에너지가 소진되면 배터리에서 제공하는 전기에너지를 이용하여 LED 조명부 또는 초음파 발생부를 구동시켜 해충을 방제하는 제어부를 포함한다. 이를 통해 해충이 싫어하는 파장과 음파를 동시에 표출할 수 있어, 해충이 싫어하는 파장을 표출하여 해충을 방제 할 수 있을 뿐만아니라, 해충이 싫어하는 음파를 표출하여 해충을 방제 할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A lamp using a UV LED(Ultraviolet Light-Emitting Diode) is provided to implement a semi-permanent lifetime by using a UV LED chip which emits a single spectrum. CONSTITUTION: A plurality of UV LED chips is formed in ultraviolet light emitting diodes. A diffusion plate(300) diffuses UV light of a point light source into UV light of a surface light source. A radiation angle lens(400) extends a radiation angle of UV light of the surface light source. A converter(500) converts AC power into DC power. The diffusion plate and the radiation angle lens are sanding-processed.
Abstract:
본 고안의 LED 조명 장치에 관한 것으로, 특히 본 고안의 LED 조명 장치는 복합 파장대역의 광 출력을 지원하는 복수의 LED들과 상기 복수의 LED들 중 특정 파장대역의 광 출력을 위해 설계된 LED 구동을 위한 회로 배선 및 상기 복수의 LED들을 기반으로 특정 파장대역의 광 출력을 위해 전원 크기와 듀레이션이 조절된 전원 공급을 위한 회로 배선 중 어느 하나를 포함하는 발광부, 상기 각각의 LED들에 매칭되어 활성화 요청 시 해당 LED 구동을 위한 입력 신호를 생성하는 입력 버튼, 상기 복수의 LED들이 특정 파장 대역의 광을 조사하도록 전원 크기와 듀레이션이 각각 조절된 값이 할당된 입력 버튼, 상기 복수의 LED들이 특정 파장 대역의 광을 조사하기 위해 매칭된 번호 입력을 위한 키 배열, 상기 복수의 LED들이 특정 파장 대역의 광을 조사하기 위해 매칭된 키워드 입력을 위한 키배열 중 적어도 하나를 포함하는 입력부, 상기 입력부에서 선택된 입력 신호에 대응하는 번호 정보, 파장대역 정보, 키워드 정보, 키워드에 대응하는 파장대역 정보 중 적어도 하나를 출력하는 표시부를 포함하는 구성을 개시한다.
Abstract:
본 발명은 전류 비교기를 이용한 발광 다이오드 구동 방법 및 이를 기반으로 운용되는 발광 다이오드 구동 회로에 관한 것으로, 정전류 구동을 위해 필요한 전류-전압 변환 기반의 전류 센싱 없이 전류 비교기를 이용하여 직접 부하전류와 목표 전류 값의 차이를 감지하여 전류 센싱 과정에서 발생하는 추가적인 전력손실이나 오차를 줄이고, DC-DC 변환회로를 제어함에 있어 디지털 방식을 적용함으로써 보다 정밀하고 안정적인 구동 기능과 설계 편이성을 향상시키기 위한 것이다. 본 발명에 따르면, 적어도 하나의 발광 다이오드들이 직렬로 연결된 적어도 하나의 발광 다이오드 칩셋에 구동 전압을 제공하는 과정, 적어도 하나의 발광 다이오드 칩셋과 정전류원을 직렬로 연결하고 발광 다이오드 칩셋과 정전류원 사이의 참조 전류를 전류 비교기를 이용하는 비교하는 과정, 참조 전류가 0보다 작은 경우 구동 전압을 승압하고 참조 전류가 0보다 크거나 같은 경우 구동 전압을 감압하여 발광 다이오드 칩셋에 흐르는 전류를 정전류원의 전류와 동일하게 유지하도록 구동하는 구동 과정을 포함하는 전류 비교기를 이용하는 발광 다이오드 구동 방법의 구성을 개시한다.