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    Lighting and viewing unit
    122.
    发明公开
    Lighting and viewing unit 失效
    Beleuchtungs- und Beobachtungseinheit。

    公开(公告)号：EP0587275A1

    公开(公告)日：1994-03-16

    申请号：EP93305252.4

    申请日：1993-07-05

    Applicant: J.M. CANTY ASSOCIATES, INC.

    Inventor： Canty, Thomas M. ,  Venturin, Jon M. ,  Walck, Gary K.

    IPC: B01J3/00 ,  F21V8/00 ,  H04N5/225

    CPC classification number: F21V33/0052 ,  B01J3/004 ,  F21W2131/411 ,  G02B6/0008 ,  G02B23/2469

    Abstract: A unit (1) for viewing and supplying light or radiant energy (12, 4) to the interior of a vessel (13) that has a front fused glass window (7). The light and a camera-viewing means (3) see the interior of the vessel through this fused glass window which provides a substantially corrosion-proof seal across the entire distal portion of the unit. The light and camera-viewing means are pointed into the interior of the vessel in substantially the same direction.

    Abstract translation: 光观察单元包括壳体，用于将壳体附接到容器的系统，基本上透明的融合窗口，发光元件和照相机观察器。 透明的熔融玻璃窗被熔合到壳体的前部，并且位于透明熔融窗口后面的壳体中是发光的和照相机观察者。 发光元件能够通过透明的融合窗照射容器的内部。 相机观察者能够通过清晰的融合窗观看船只的内部。 透明熔融窗口熔合到壳体的前部，在整个单元的远端部分上形成基本上耐腐蚀的密封。 发光元件和相机观察器以大致相同的方向指向容器。

    Schauglas für Vakuumapparaturen
    123.
    发明公开
    Schauglas für Vakuumapparaturen 失效
    窥镜的真空装置。

    公开(公告)号：EP0358851A2

    公开(公告)日：1990-03-21

    申请号：EP89109823.8

    申请日：1989-05-31

    Applicant: LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT

    Inventor： Contzen, Franz-Peter ,  Wilmers, Katrin

    IPC: G02B7/00

    CPC classification number: G02B7/007 ,  B01J3/004

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Schauglas mit einer transpartenten Scheibe (3) und einem Flansch (2); um eine einfache Herstellung des Schauglases zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, daß die Scheibe (3) unmittelbar im Bereich des Flansches (2) angeordnet und zur Herstellung einer vakuumdichten Verbindung von einem O-Ring (4) umgeben ist.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有反式部分鸭光盘（3）和凸缘的眼镜玻璃（2）; 以使观察窗的一个简单的制造中，建议在光盘（3）直接在所述凸缘（2）的区域中布置和包围用于制造O形环的一个真空密封的连接（4）。

    Einrichtung zum Beobachten des Innenraumes von unter erhöhtem Druck stehenden Heissreaktionsräumen
    124.
    发明公开
    Einrichtung zum Beobachten des Innenraumes von unter erhöhtem Druck stehenden Heissreaktionsräumen 失效
    用于观测的升高的压力的热反应空间的内部。

    公开(公告)号：EP0181435A1

    公开(公告)日：1986-05-21

    申请号：EP85108020.0

    申请日：1985-06-28

    Applicant: Krupp Koppers GmbH

    Inventor： Köhnen, Klaus, Dipl.-Ing. ,  Niermann, Hans, Ing. ,  Semrau, Lothar, Ing.

    IPC: F27D21/02

    CPC classification number: B01J3/004 ,  B01J2219/0027 ,  C10J3/72 ,  C10J3/723 ,  C10J3/78 ,  F27D21/02 ,  G02B23/2492

    Abstract: Bei dieser Einrichtung ist in der Achse (5) der Beobachtungsöffnung (3) des Heißreaktionsraumes (1) ein Gehäuse (6) mit darin befindlichem Spiegel (7) angeordnet, der die austretenden Lichtstrahlen in einen unter einem Winkel zur Achse der Beobachtungsöffnung an das Gehäuse angesetzten Betrachtungsstutzen (10) lenkt. Dabei ist sowohl im Bereich des Übergangs vom Gehäuse zu dem unter Druck stehenden Raum (8) als auch im Betrachtungsstutzen ein Glasprisma (9 bzw. 11) dichtend eingesetzt.

    Abstract translation: 1.设备用于在轴线上观察热的反应空间哪些是在高压下的内部，具有壳体（6）（5）的观察开口（3）的热的反应空间（1），壳体（6） 被连接到该空间（1）和含有在角度放置在壳体中的观察口的轴线的反射镜（7），其ausrichtet的光从所述观察开口新兴入射线在检查口（10）的外侧 ，在其中，无论是在从壳体到加压空间（8）中的过渡的区域中，并因此在检查口，玻璃棱镜（分别为9或11）安装作为密封。

    用於製造半導體元件之化學蒸汽沈積裝置的觀察口
    125.
    发明专利
    用於製造半導體元件之化學蒸汽沈積裝置的觀察口 失效
    用于制造半导体组件之化学蒸汽沉积设备的观察口

    公开(公告)号：TW492077B

    公开(公告)日：2002-06-21

    申请号：TW090105167

    申请日：2001-03-06

    Applicant: 三星電子股份有限公司

    Inventor： 金台勳 ,  金 澈 ,  孫權 ,  任俸淳

    IPC: H01L

    CPC classification number: B01J3/004 ,  C23C16/488 ,  G02B7/007

    Abstract: 一用於製造半導體元件之化學蒸汽沈積裝置之觀察口係可避免於電漿沈積製程期間，製程室內的熱散失。該觀察口包括一托架，該托架係突出於一電極(作為裝置之製程室之壁)內之開口的周圍、一由托架所壓制之窗，該窗係經一O型環而抵靠該壁、一用於罩蓋該托架開口之樞軸蓋，該樞軸蓋係與窗呈一直線、以及一與該蓋一體成形之熱絕緣材料及/或加熱構件，以於蓋關閉時，置於靠近該窗的位置。該加熱構件可為一加熱電阻線或一由軟管等所形成之暖空氣管。於沈積製程期間，可維持窗的溫度，藉此減少聚合物黏附至窗的傾向。

    Abstract in simplified Chinese: 一用于制造半导体组件之化学蒸汽沉积设备之观察口系可避免于等离子沉积制程期间，制程室内的热散失。该观察口包括一托架，该托架系突出于一电极(作为设备之制程室之壁)内之开口的周围、一由托架所压制之窗，该窗系经一O型环而抵靠该壁、一用于罩盖该托架开口之枢轴盖，该枢轴盖系与窗呈一直线、以及一与该盖一体成形之热绝缘材料及/或加热构件，以于盖关闭时，置于靠近该窗的位置。该加热构件可为一加热电阻线或一由软管等所形成之暖空气管。于沉积制程期间，可维持窗的温度，借此减少聚合物黏附至窗的倾向。

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