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公开(公告)号：KR2019980032693U
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR2019960045578
申请日：1996-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박진호
IPC: B41J11/00
Abstract: 이고안은잉크젯프린터에공급되는용지를한 장씩공급하도록하는낱장용지공급장치에있어사용용지의두께및 경직도에따라낱장분할장치를조정할수 있도록개선된잉크젯프린터의낱장공급장치에관한것으로서, 용지를공급시키는공급로울러와, 상기용지모서리가걸리는오버랩을가지고용지분할이되도록하는핑거를가진낱장공급장치에있어상기핑거에의해형성되는용지오버랩량을핑거가변수단에의해가변시켜조정되도록하고, 상기핑거가변수단을, 프레임에지지되고공전가능하게설치되는조절나사축에핑거의후미보스부에형성되는너트공이체결되어상기조절나사축의회전으로핑거가이동되는가변이되도록구성하여급지신뢰성을높일수 있도록한것이다.
Abstract translation: 的提案涉及的喷墨打印机的供纸提高到与根据厚度，并使用纸在切割片材进给器到片材的其刚度单页分割装置将被供应到喷墨打印机，以便通过一个装置提供一个，喂纸被控制 在单个片材馈送器，用手指手指变量，以确保纸分区具有供给辊和采取重叠片材的边缘，并通过在手指的手指改变装置所形成的片材重叠的量来调整的变量，即 这意味着为，但一个固定其被支撑在框架上的滚珠螺母在手指到其上安装了控制螺杆轴的后端凸台部形成为旋转，从而反过来，益处喂养可靠性配置为使得变化通过调节螺钉轴的旋转发生的手指运动。
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公开(公告)号：KR2019980024563U
公开(公告)日：1998-07-25
申请号：KR2019960037952
申请日：1996-10-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박진호
IPC: B41J11/00
Abstract: 이고안은잉크젯프린터에서인쇄되는용지의배출에있어용지배출시간을단축시키고확실한용지배출이도모되도록고안된잉크젯프린터의용지배출장치에관한것으로서, 용지적재부의용지급지를위해회전되는급지로울러의회전방향과동일한구동력으로회전되고상기급지로울러와반대적인회전을하는주구동로울러및 배출로울러가마찰로울러에의해회전되는것에있어상기주구동로울러와마찰로울러사이에주구동로울러의회전방향에따라개입또는미개입되는매개로울러에의해동력전달이되도록함으로써급지시에도배출로울러가용지배출방향으로회전가능하도록한 것이다. ( 도 2와도 3 및도 4 )
Abstract translation: 在喷墨打印机中打印在纸张的排出相关的一个建议缩短片材排出时间和设计的喷墨打印机的真实纸张排出的纸张排出，以使减小的装置，所述进给辊的旋转方向上旋转的纸张片材堆叠部支付与 相互作用或与之间的主驱动辊的旋转方向的非相互作用并且由相同的驱动进给辊和所述主驱动辊反向旋转和排出辊旋转时，它由主驱动辊的摩擦辊与摩擦辊旋转 即使当片材进给通过这将具有排出辊，以便在片材排出方向可旋转的中间辊使电力传输。 （2涡3和4）
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公开(公告)号：KR2019980020207U
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR2019960033418
申请日：1996-10-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 박진호
IPC: B41J2/01
Abstract: 이고안은잉크젯프린터에있어인쇄를위해왕복운동하는캐리지와상기캐리지의왕복운동을가이드하는안내봉간의윤활및 유막유지가도모되도록하는잉크젯프린터의캐리지윤활장치에관한것으로서, 인자동작을하는캐리지가안내봉을따라왕복운동하는것에있어상기캐리지에안내봉표면으로윤활유가도포되도록하는그리스챔버를가지도록하되, 상기캐리지가가진그리스챔버로안내봉이관통되어윤활유도포가되도록하고안내봉이관통되는그리스챔버의관통부에그리스챔버안쪽으로둥글게형성되는연질고무제의패킹이설치되도록구성하여서된 것이다.
Abstract translation: 和引导滑架，使得减少润滑和油膜导杆之间保持用于引导打印在喷墨打印机其中，打印操作涉及一种往复式滑架和滑架的往复运动的喷墨打印设备的滑架润滑内部 当涉及到沿润滑脂腔室的杆的往复运动，但是使得允Hwalyu被施加到导杆面至滑架，有一个润滑脂腔，所述引导杆穿过，使导杆通过一个润滑脂腔芸Hwalyu涂覆有所述托架 穿孔是内部的润滑脂室与经配置以安装一个hayeoseo圆角形成的软质橡胶提出填料。
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公开(公告)号：KR1019980026258A
公开(公告)日：1998-07-15
申请号：KR1019960044626
申请日：1996-10-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 카세트에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부측으로 치우쳐진 영역을 감지하여 웨이퍼의 로딩 불량 상태를 정확하게 감지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터에 관한 것이다
본 발명의 목적은 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼들의 불량 로딩상태를 보다 정확하게 감지하여 불량 로딩된 웨이퍼의 파손을 방지하도록 한 웨이퍼 캐리어 엘리베이터를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 센서를 웨이퍼 캐리어에 로딩된 웨이퍼의 중심부를 기준으로 후방부로 치우쳐 위치하도록 제어부에 설치하여 웨이퍼의 불량 로딩상태를 정확하게 감지함으로써 상기 불량 로딩상태의 웨이퍼 캐리어의 이송을 중단시켜 웨이퍼의 파손과 주변 웨이퍼의 오염을 방지한다.-
公开(公告)号：KR1019970076093A
公开(公告)日：1997-12-10
申请号：KR1019960014646
申请日：1996-05-06
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 포토 마스크의 상, 하 스크라이브 라인을 위한 영역에 각각 하나씩 대각선 방향으로 배치되고, 좌, 우 스크라이브 라인을 위한 영역에 각각 하나씩 대각선 방향으로 배치되어 웨이퍼위에 전사되는 포토 마스크의 스크라이브 라인을 위한 패턴이 오버랩됨으로써 웨이퍼위에 형성되는 반도체 칩의 수를 증가시킨다. 따라서, 웨이퍼의 면적을 최대한 활용할 수 있어 원가 절감의 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1019970072141A
公开(公告)日：1997-11-07
申请号：KR1019960012583
申请日：1996-04-24
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조 공정중 식각 공정에 사용되는 건식 식각 장치에 관한 것으로 챔버내에 설치된 상부 전극과 하부 전극간의 평형 상태를 정확하게 조절할 수 있는 건식 식각 장치에 관한 것이다.
본 발명은 갭 평형도의 조절을 모든 작업자가 정확하고도 빨리 시간내에 실시할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 의하면 건식 식각 장치의 갭 평형도의 조절은 경험이 없는 작업자도 쉽게 실시할 수 있을 뿐만아니라 조절에 따른 시간을 절약할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1019970030450A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950042865
申请日：1995-11-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼의 에칭을 위해 마련되는 챔버 설비의 슬로우 펌핑 장치에 관한 것으로, 특히 에칭챔버의 내부 재질인 투명한 석영(QUARTZ)유리가 대기압과의 급격한 압력 차에 의하여 깨어지는 것을 방지하도록 아이솔레이션 밸브와 스로틀 밸브 사이에 소프트 펌핑시스템을 설치한 개선된 웨이퍼 에칭 챔버의 슬로우 펌핑 장치에 관한 것으로 에칭 챔버와, 상기 챔버의 진공 상태 유지를 위하여 스로틀 밸브와 아이솔레이션 밸브를 설치한 메인 펌프로 구성된 드라이 에칭 챔버의 펌핑 장치에 있어서, 상기 소로를 밸브와 아이솔레이션 밸브 사이에 설치된 소프트 펌프와, 상기 소프트 펌프를 메인 펌프의 인가된 신호에 의해 적정시간 지연후 구동시키도록 하는 지연 타이머와, 상기 지연 타이머의 시간제어에 따라 소프트 펌프를 구동하는 제1솔 레노이드 밸브와, 상기 지연타이머에 연결되어 일정 시간 후에 아이솔레이션 밸브를 개방하기 위한 제2솔레노이드 밸브로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 에칭 챔버의 슬로우 펌핑 장치.
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