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131.发明专利流體分配器以及具有改良邊緣精度用於分配黏滯流體的方法 FLUID DISPENSERS AND METHODS FOR DISPENSING VISCOUS FLUIDS WITH IMPROVED EDGE DEFINITION 审中-公开流体分配器以及具有改良边缘精度用于分配黏滞流体的方法 FLUID DISPENSERS AND METHODS FOR DISPENSING VISCOUS FLUIDS WITH IMPROVED EDGE DEFINITION
公开(公告)号：TW200927292A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW097140171
申请日：2008-10-20
Applicant: 能多順股份有限公司 NORDSON CORPORATION
CPC classification number: B05C5/0279 , B05C11/1028 , B05C11/1034 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本發明揭示流體分配器以及具有改良邊緣精度用於分配黏滯流體之方法。當藉由一多軸平臺相對於一靜止基板移動一分配頭時,將經加壓流體週期性地以脈衝方式供應至該分配頭之一噴嘴板中之噴嘴。液滴自該等噴嘴排放出且衝擊在該基板上。該等液滴聚合在一起以界定塗層。可暫時暫停自一或多個噴嘴群組之排放以避免塗覆該基板上之一組件或區域,而同時毗鄰區域繼續接收該流體之液滴。
Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示流体分配器以及具有改良边缘精度用于分配黏滞流体之方法。当借由一多轴平台相对于一静止基板移动一分配头时,将经加压流体周期性地以脉冲方式供应至该分配头之一喷嘴板中之喷嘴。液滴自该等喷嘴排放出且冲击在该基板上。该等液滴聚合在一起以界定涂层。可暂时暂停自一或多个喷嘴群组之排放以避免涂覆该基板上之一组件或区域,而同时毗邻区域继续接收该流体之液滴。
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公开(公告)号：TWI309822B
公开(公告)日：2009-05-11
申请号：TW094143778
申请日：2005-12-12
Applicant: 歐利生電氣股份有限公司 ORIGIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED
Inventor： 稻谷孝祐 INAYA, KOSUKE
IPC: G11B
CPC classification number: G11B7/266 , B05C11/1028
Abstract: 本發明之光碟製造裝置,具備:旋轉處理裝置,係以高速旋轉產生之離心力使藉由噴嘴構件來供應至碟片基板上的液膜形成物質延展;以及臂構件,係支承該噴嘴構件;其中,於該臂構件之前端部分,具備:液膜形成物質開關閥,係在液膜形成物質供應機構與該噴嘴構件之間選擇性地開關;以及過濾構件,係以可拆裝之方式安裝於該液膜形成物質開關閥之該液膜形成物質的流出部。該噴嘴構件安裝於該過濾構件的流出部,其亦可除去在液膜形成物質供應機構內產生之粒子。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之光盘制造设备,具备:旋转处理设备,系以高速旋转产生之离心力使借由喷嘴构件来供应至盘片基板上的液膜形成物质延展;以及臂构件,系支承该喷嘴构件;其中,于该臂构件之前端部分,具备:液膜形成物质开关阀,系在液膜形成物质供应机构与该喷嘴构件之间选择性地开关;以及过滤构件,系以可拆装之方式安装于该液膜形成物质开关阀之该液膜形成物质的流出部。该喷嘴构件安装于该过滤构件的流出部,其亦可除去在液膜形成物质供应机构内产生之粒子。
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公开(公告)号：TW200638415A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：TW094143778
申请日：2005-12-12
Applicant: 歐利生電氣股份有限公司 ORIGIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED
Inventor： 稻谷孝祐 INAYA, KOSUKE
IPC: G11B
CPC classification number: G11B7/266 , B05C11/1028
Abstract: 本發明之光碟製造裝置，具備：旋轉處理裝置，係以高速旋轉產生之離心力使藉由噴嘴構件來供應至碟片基板上的液膜形成物質延展；以及臂構件，係支承該噴嘴構件；其中，於該臂構件之前端部分，具備：液膜形成物質開關閥，係在液膜形成物質供應機構與該噴嘴構件之間選擇性地開關；以及過濾構件，係以可拆裝之方式安裝於該液膜形成物質開關閥之該液膜形成物質的流出部。該噴嘴構件安裝於該過濾構件的流出部，其亦可除去在液膜形成物質供應機構內產生之粒子。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之光盘制造设备，具备：旋转处理设备，系以高速旋转产生之离心力使借由喷嘴构件来供应至盘片基板上的液膜形成物质延展；以及臂构件，系支承该喷嘴构件；其中，于该臂构件之前端部分，具备：液膜形成物质开关阀，系在液膜形成物质供应机构与该喷嘴构件之间选择性地开关；以及过滤构件，系以可拆装之方式安装于该液膜形成物质开关阀之该液膜形成物质的流出部。该喷嘴构件安装于该过滤构件的流出部，其亦可除去在液膜形成物质供应机构内产生之粒子。
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