Wireless illumination sensing assembly
    135.
    发明专利
    Wireless illumination sensing assembly 审中-公开
    无线照明感应组件

    公开(公告)号:JP2009111379A

    公开(公告)日:2009-05-21

    申请号:JP2008268737

    申请日:2008-10-17

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system that easily and accurately measures the illumination levels that are directed on wafers during a photolithography process in wafer fabrication.
    SOLUTION: A wireless illumination sensing assembly for sensing a property of illumination within a semiconductor processing environment is provided. The sensing assembly has a power source and a wireless communication module coupled to the power source. Measurement circuitry is also provided. At least one illumination sensor has an electrical characteristic that varies with the property of illumination. The illumination sensor(s) is/are coupled to the measurement circuitry.
    COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种在晶片制造中的光刻工艺期间容易且精确地测量针对晶片的照明水平的系统。 提供了一种用于感测半导体处理环境内的照明特性的无线照明感测组件。 感测组件具有耦合到电源的电源和无线通信模块。 还提供测量电路。 至少一个照明传感器具有随照明特性而变化的电特性。 照明传感器耦合到测量电路。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT

    Integrating sphere equipped with a temperature regulating means

    公开(公告)号:JP2009517628A

    公开(公告)日:2009-04-30

    申请号:JP2008524876

    申请日:2006-04-21

    CPC classification number: G01J1/02 G01J1/0252 G01J2001/0481 G01J2001/4247

    Abstract: 本発明は、光源の発光特性を測定するための積分球に関し、より詳細には、積分球内の温度を調節することができる手段を備えた積分球に関するものである。
    本発明による光源の光学特性を測定するための積分球は、内部に実質的に球状の中空が形成されており、中空の内部に設置される光源に電源を供給する配線のための第1の貫通孔と、積分球の中空の内部に制御された温度の空気を供給するための第2の貫通孔とが形成されている。 また、中空の内部に一端が前記積分球の中空の中心部に位置するように配置され、他端が前記積分球の第1の貫通孔を密閉するように内周面に固定された光源支持台が設置されている。 前記第2の貫通孔を介して積分球の内部に空気を供給するように第2の貫通孔が形成された積分球の外周面に固定された空気供給チューブと、前記空気供給チューブに空気を供給するための空気供給手段と、前記空気供給手段から供給されて空気供給チューブを通過する空気の温度を制御するための温度調節手段と、前記第2の貫通孔から一定距離離隔して設置された遮蔽板とを有する。
    【選択図】 図1

    Bolometric detector, and device for detecting submillimetric and millimetric electromagnetic waves by using the same
    138.
    发明专利
    Bolometric detector, and device for detecting submillimetric and millimetric electromagnetic waves by using the same 有权
    用于检测亚微米和微米电磁波的装置及其装置

    公开(公告)号:JP2006304290A

    公开(公告)日:2006-11-02

    申请号:JP2006095481

    申请日:2006-03-30

    CPC classification number: G01J5/20 G01J1/0252 G01J5/0837 H01Q1/38 H01Q1/44

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bolometric detector about electromagnetic radiation.
    SOLUTION: The bolometric detector for electromagnetic radiation comprises an receiving antenna (1) for collecting electromagnetic radiation and then insuring electromagnetic coupling; a resistance load capable of converting the collected electromagnetic radiation into heat capacity; and a thermometer element (4) connected to the receiving antenna (1) through the resistance load and thermally insulated from a support substrate (2), housing an electronic circuit including a means for electric excitation (stimulus) and a means for preprocessing an electric signal generated by the detector. In the bolometric detector for electromagnetic radiation, the receiving antenna (1) is insulated from the support substrate (2).
    COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供关于电磁辐射的测温检测器。 解决方案:用于电磁辐射的辐射探测器包括用于收集电磁辐射然后确保电磁耦合的接收天线(1); 能够将收集的电磁辐射转换为热容的电阻负载; 以及通过电阻负载连接到接收天线(1)并与支撑基板(2)热绝缘的温度计元件(4),容纳包括电激励装置(刺激)的电子电路和用于预处理电 由检测器产生的信号。 在用于电磁辐射的热辐射检测器中,接收天线(1)与支撑基板(2)绝缘。 版权所有(C)2007,JPO&INPIT

    紫外線センサ、及び紫外線センサの製造方法

    公开(公告)号:JPWO2012121282A1

    公开(公告)日:2014-07-17

    申请号:JP2013503572

    申请日:2012-03-07

    Abstract: NiOとZnOとの固溶体を主成分とするp型半導体層1と、p型半導体層1の一部が表面に露出した形態でp型半導体層1に接合されたZnOを主成分とするn型半導体層2と、n型半導体層2と対向状にp型半導体層1に埋設された内部電極3とを有している。内部電極3の両端は、p型半導体層1の両端面に露出されると共に、絶縁性材料からなる高抵抗層4(第1及び第2の高抵抗層6、7)が、内部電極3の一方の端部を覆うように形成されている。このうち第2の高抵抗層7は、第1の高抵抗層6からの絶縁性材料がp型半導体層1内に拡散されてなる。第1の外部電極5aは内部電極3の他方の端部と電気的に接続され、第2の外部電極5bはn型半導体層2と電気的に接続されている。これにより製品間における特性バラツキを抑制することができ、かつ暗電流も低く信頼性の良好な高感度、高出力の紫外線センサを実現する。

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