一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片

    公开(公告)号:CN105222895A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201510660961.X

    申请日:2015-10-14

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: G01J3/02 G01J3/28

    Abstract: 本发明涉及一种集成了阵列波导光栅和光电探测器的光谱仪芯片,包括基板、阵列波导光栅、微反射镜阵列、光电探测器阵列。所述光电探测器阵列、阵列波导光栅和微反射镜阵列都通过微细加工技术依次制作在基板上。输入光信号进入阵列波导光栅,并从阵列波导光栅的输出波导中输出,经与阵列波导光栅一一对应的微反射镜阵列传导到光电探测器阵列上转化为电信号。由于阵列波导光栅具有分光功能,本发明输出的电信号可表征输入光信号的光谱信息,从而实现光谱仪的功能。和传统的光谱仪相比,本发明单片集成了原有的光栅、透镜和CCD的功能,体积、重量小,可用微电子制造技术批量生产,成本低。

    基于三边滤波的光谱时空域传播方法

    公开(公告)号:CN103335712B

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201310182438.1

    申请日:2013-05-16

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: G01J3/28 G01J2003/2826

    Abstract: 本发明提出一种基于三边滤波的光谱时空域传播方法。其中,方法包括:S1:采集场景的双路视频,双路视频包括场景视频和采样点的光谱视频,并对采样点的光谱视频进行处理,以得到采样点的光谱信息;S2:通过场景视频的采集设备的红绿蓝积分曲线估计场景视频的光谱分通道传播比例估计系数;S3:通过光流法估计采样点在每一帧光谱视频中的位置;以及S4:根据光谱分通道传播比例估计系数和采样点在每一帧光谱视频中的位置,以通过三边滤波方法将采样点的光谱信息向场景视频中多个场景点传播。根据本发明实施例的方法,通过采用三边滤波方法将采样点光谱信息向高分辨率场景传播,从而得到高空间、高光谱分辨率的视频。

    分光传感器的制造方法
    139.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103229029A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201180056110.4

    申请日:2011-09-21

    Abstract: 分光传感器(1)的制造方法具备:在处理基板上通过纳米印刷法形成腔体层(21)的第1工序;在第1工序后,在腔体层(21)上形成第1镜面层(22)的第2工序;在第2工序后,在第1镜面层(22)上接合光透过基板(3)的第3工序;在第3工序后,从腔体层(21)除去处理基板的第4工序;在第4工序后,在除去了处理基板的腔体层(21)上形成第2镜面层(23)的第5工序;以及在第5工序后,在第2镜面层(23)上接合光检测基板(4)的第6工序。

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