Messkopf
    132.
    发明公开
    Messkopf 失效
    测量头。

    公开(公告)号:EP0311561A1

    公开(公告)日:1989-04-12

    申请号:EP88810658.0

    申请日:1988-09-26

    Abstract: Ein Meßkopf zur Bestimmung von optischen Remissions­eigenschaften der bei einem Buntdruck mitgedruckten Farbmeßfelder verfügt über eine Beleuchtungsoptik mit zwei Mangin-Spiegeln (11, 14) und einem fluchtend zu den Mangin-Spiegeln (11, 14) in einer zentralen Öffnung (13) angeordneten Aplanaten (25). Das von einer Licht­quelle (3) ausgesandte und der Meßfläche (2) remittier­te Licht gelangt in einen Glasstab (41) und wird über eine Meßoptik (40, 45 - 52) in einen Lichtwellenleiter (4) eingespeist, über den das remittierte Licht in ein Spektrometer zur Spektralanalyse eingespeist wird.

    Abstract translation: 为的光学反射特性的确定的测量头共印刷有彩色打印色彩测量领域具有在中央开口(13)2倍曼京镜(11,14)和与所述曼京镜的对准(11,14)的照明光学部件布置消球差系统( 25)。 来自光源(3)发射和测量表面(2)射光入射到玻璃杆(41),并且是测量光学器件(40,45 - 52)在光学波导(4)被供给,通过该漫反射光成 分光计被馈送到光谱分析。

    Dispositif utilisable pour détecter la richesse des gaz de combustion d'un moteur à explosion
    133.
    发明公开
    Dispositif utilisable pour détecter la richesse des gaz de combustion d'un moteur à explosion 失效
    Anordnung zur Bestimming der Verbrennungsgase in Verbrennungsmotoren。

    公开(公告)号:EP0230692A1

    公开(公告)日:1987-08-05

    申请号:EP86202306.6

    申请日:1986-12-17

    CPC classification number: F02D41/1451 G01N21/33 G01N2021/1746 G01N2201/0806

    Abstract: Dispositif (1) utilisable pour détecter la riches­se des gaz de combustion d'un moteur à explosion comprenant, un premier système optique (2) muni d'une source de rayonne­ment (4), un deuxième système optique (24) muni d'un capteur de rayonnement (27), d'une enceinte (18) aménagée dans un conduit (23) et située sur un chemin optique entre les deux systèmes optiques (2, 24), enceinte (18) pouvant être traversée par des gaz d'échappement du moteur, le capteur (27) mesurant alors l'absorption du rayonnement de la source (4) par un composé chimique contenu par les gaz, les systèmes optiques (4, 24) étant munis d'un guide de rayonnement (13, 20) sensiblement cylindrique et dont une face (15, 21) est en contact avec les gaz d'échappement de température élevée permettant ainsi le nettoyage de ladite face (15, 21) par pyrolise.
    Application : Industrie automobile.

    Abstract translation: 可用于检测内燃机的燃烧气体的丰富度的装置(1)包括配备有辐射源(4)的第一光学系统(2)和装备有辐射源的第二光学系统(24) 辐射传感器(27)和布置在管道(23)中并且位于两个光学系统(2,24)之间的光路上并且来自发动机的废气可以通过的腔室(18)。 传感器(27)然后通过包含在气体中的化合物来测量来自源(4)的辐射的吸收。 光学系统(2,24)配备有基本上圆柱形的辐射导向器(13,20),其一个面(15,21)与高温废气接触,从而使得可以清洁该面 (15,21)。 本发明用于汽车工业。

    Defect inspection apparatus and defect inspection method
    137.
    发明专利
    Defect inspection apparatus and defect inspection method 有权
    缺陷检查装置和缺陷检查方法

    公开(公告)号:JP2012032252A

    公开(公告)日:2012-02-16

    申请号:JP2010171333

    申请日:2010-07-30

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that it is difficult to quickly and highly accurately detect a defect and calculate the size of the detect without applying thermal damage to a sample in a conventional technique.SOLUTION: In a defect inspection method, illuminating light of which the illumination intensity distribution is substantially uniform in one direction on the surface of a sample is applied to the surface of the sample, a plurality of scattered light components outgoing to a plurality of mutually different directions out of scattered light from the surface of the sample are detected, a plurality of scattered light detection signals corresponding to the scattered light components are obtained, at least one of the plurality of scattered light detection signals is processed to determine the existence of a defect, at least one of the plurality of scattered light detection signals corresponding to respective positions determined as defective by the processing is processed to determine the size of the defect, and a position and a defect size on the surface of the sample for each position determined as defective are displayed.

    Abstract translation: 要解决的问题为了解决在传统技术中难以快速和高精度地检测缺陷并且计算检测尺寸而不对样品造成热损伤的问题。 解决方案:在缺陷检查方法中,将样品表面上的一个方向上的照明强度分布基本上均匀的照明光施加到样品的表面,多个散射光分量输出到多个 检测出来自样品表面的散射光的相互不同的方向,获得与散射光分量对应的多个散射光检测信号,对多个散射光检测信号中的至少一个进行处理,以确定存在 处理出与处理确定为缺陷的各个位置对应的多个散射光检测信号中的至少一个,以确定缺陷的尺寸,以及每个样品的表面上的位置和缺陷尺寸 显示确定为有缺陷的位置。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

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