MEMSメンブレン構造体およびその製造方法

    公开(公告)号:JP2020082339A

    公开(公告)日:2020-06-04

    申请号:JP2019103677

    申请日:2019-06-03

    Abstract: 【課題】メンブレン構造体の機械的安定性とメンブレン構造体上のMEMS素子の熱的安定性を向上させる、MEMSメンブレン構造体およびその製造方法を提供する。 【解決手段】本発明のMEMSメンブレン構造体の製造方法は、シリコン基板10上にシリコン酸化膜堰構造体20を形成する段階と、接着層30を蒸着した後、犠牲層40aを形成する段階と、前記犠牲層40a上に表面保護膜を蒸着する段階と、前記表面保護膜と犠牲層40aをエッチングしてシリコン酸化膜堰構造体20上に1列乃至3列のトレンチを形成する段階と、前記1列乃至3列のトレンチの内部と犠牲層40aの表面保護膜上に支持膜60を蒸着してメンブレンを形成する段階と、前記1列に蒸着された支持膜60内の犠牲層40aを除去して空スペースCを形成する段階とを含んでなることを特徴とする。 【選択図】図1g

Patent Agency Ranking