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公开(公告)号:CN101616805A
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200880005764.2
申请日:2008-02-21
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: B41J2/16552
Abstract: 本发明提供一种喷墨涂布装置的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。喷墨喷头的清洗方法为,以单元构件覆盖喷墨喷头,并通过对单元构件作用抽吸力使洗净液进行既定时间喷射,并在使喷墨喷头与单元构件仅稍微离开的状态作用抽吸力来干燥。喷墨涂布控制方法为,在吐出作业后将在流路所填充的吐出用液材替换为低挥发性的替换材料,并在正要开始吐出作业前,将替换材料再度替换为吐出用液材。喷墨喷头的检查方法为,使从喷墨喷头所喷射出的液材,滴落于滴落处与非滴落处的反射率不同的检查用构件上。喷墨成膜方法为,等待前步骤所喷射的工件上的液滴干燥至不流动程度后,将液材朝接触或部分重叠于前步骤所滴落的液材液滴的位置处喷射。
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公开(公告)号:CN101605613A
公开(公告)日:2009-12-16
申请号:CN200880004870.9
申请日:2008-02-08
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: B41J29/00
Abstract: 提供一种可防止自吐出单元的漏液落下至涂布对象物,且即使漏液液量少也仍可检测出来的漏液检测机构及具备该机构的液体材料涂布装置。漏液检测机构,其能够安装于涂布装置,所述涂布装置使被载置于工作台上的工件及与工件相对向的吐出单元相对移动来涂布液体材料;所述漏液检测机构由承液盘及漏液检测装置构成,其中承液盘具有的开口部被设在所述吐出单元的吐出口的对向位置,漏液检测装置可检测出积存在所述承液盘的漏液;所述漏液检测机构被配设在吐出单元的正下方。
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公开(公告)号:CN101595042A
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200780046617.5
申请日:2007-12-19
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
IPC: B65D39/04
CPC classification number: A01N1/0263 , A01N1/02 , B01L3/50825 , B01L7/50 , B01L2200/185 , B01L2300/14
Abstract: 本发明提供一种可轻易地装卸于液体材料储存容器、并且即使针对因气压变动造成的状态变化或冷藏/冷冻保管等也能具有较高保持力的闭盖器具及液体材料储存容器。其具有基座、从基座的大致中央朝下方延伸出的封闭部、及距离基座的中央规定距离设置的钩部;并将具有储存筒以及凸缘的储存容器的大口径开口进行封闭,储存筒具有上端的大口径开口与下端的小口径开口,凸缘从储存筒的上端部朝侧边延伸出;其特征在于,钩部由从基座朝下方延伸出的侧边构件、从侧边构件朝封闭部侧延伸出的凸缘保持爪、及凸缘保持爪延伸侧的侧边构件的侧面的凸缘抵接面构成;凸缘抵接面抵接凸缘的侧面,并规定闭盖器具相对于储存容器的旋转位置,凸缘保持爪防止闭盖器具脱落。
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公开(公告)号:CN101573185A
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200780040419.8
申请日:2007-11-01
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: H01L21/563 , H01L24/27 , H01L24/743 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/92125 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 本发明提供一种不需要计算复杂的参数且容易控制的液体材料的填充方法、装置及程序。本发明涉及一种液体材料的填充方法、用以实施该方法的装置及程序,其特征在于,该液体材料的填充方法,为在衬底与其上载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法;沿工件的外周做成由暂时停止点及非停止区域所构成的涂布图案,通过增减在暂时停止点吐出部的停止时间来进行液体材料的吐出量的校正。
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公开(公告)号:CN101547750A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200780040193.1
申请日:2007-11-01
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: H01L21/563 , H01L24/743 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/92125 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01019 , H01L2924/00012 , H01L2924/00 , H01L2224/0401
Abstract: 本发明提供一种不需要计算复杂的参数且不会对吐出部的移动速度造成影响的液体材料的填充方法、装置及程序。本发明涉及一种液体材料的填充方法、用以实施该方法的装置及程序,其中,其特征在于,该液体材料的填充方法,为在衬底与其上载置的工件的间隙利用毛细管现象填充从吐出部吐出的液体材料的方法;沿工件的外周做成由涂布区域及非涂布区域所构成的涂布图案,通过伸缩涂布区域及非涂布区域来校正液体材料的吐出量。
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公开(公告)号:CN101534964A
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN200780042042.X
申请日:2007-11-15
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: B05C5/0225 , B05C5/0237
Abstract: 本发明提供一种当装置开始使用进行液体材料填充时,能够无残留气体/气泡地将液体材料填充于流路内的液体材料的排出方法及装置。本发明的液体材料的排出方法及其装置是在连通于喷嘴的为圆筒孔的第一流路插通作业轴,并从连通于第一流路的第二流路注入液体材料,在第一流路填充液体材料而将液体材料排出的排出方法,其特征在于:在第一流路的上方设置连设于第一流路及第二流路的空间(4),通过将从第二流路流入第一流路的液体材料的流动阻力,设定为大于从第二流路流入空间(4)的液体材料的流动阻力,来防止气泡残留。
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公开(公告)号:CN101370599A
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200780002292.0
申请日:2007-01-11
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
IPC: B05C5/00
CPC classification number: B05C5/0229 , B05C5/0225 , B05C5/0233
Abstract: 提供一种可将供给至装置的液体材料保持洁净状态下排出,一面确保稳定的排出量,一面可使装置小型化的液体材料排出装置。其具备有:可供给排出的液体材料的液体材料供给部;具有可排出液体材料的排出口的排出部;由计量孔及和计量孔的内壁面滑动可吸入液体材料至计量孔内而排出的柱塞所成的计量部;由本体以及形成连通液体材料供给部和计量部的流路及连通计量部和排出部的流路,且在设于本体内的空间内滑动的阀体所成的阀部;及,可控制此等的控制部;而前述控制部在计量孔内吸入液体材料时,可使前述阀体位于第一位置而连通液体材料供给部与计量部,且可遮断计量部和排出部,且在排出计量孔内的液体材料时,可使前述阀体位于第二位置而连通计量部与排出部,且可遮断液体材料供给部和计量部。
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公开(公告)号:CN1826183A
公开(公告)日:2006-08-30
申请号:CN200480020960.9
申请日:2004-07-21
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: B05C11/1034
Abstract: 以提供一种使反复放出的液滴以高精度的量放出的放出量调整方法、放出方法及其装置为课题。一种通过紧贴在管内壁面上滑动的柱塞的进出移动及进出停止来调整从和前述管连通的放出口放出的液滴的放出量的液滴量的调整方法,其特征为,调整前述进出移动的柱塞自开始减速至停止为止的移动速度,而使从前述放出口每次放出的液滴可成为一定的量,而其放出装置,具备:管;紧贴前述管内壁面滑动的柱塞;连通前述管可使液体材料喷溅放出的放出口;控制前述柱塞的动作的控制装置,其特征在于,前述控制装置控制进出移动的柱塞自开始减速至停止为止的移动速度。
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公开(公告)号:CN1154544C
公开(公告)日:2004-06-23
申请号:CN99813156.3
申请日:1999-08-11
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
IPC: B05D7/24
CPC classification number: H01L24/29 , C09J5/00 , H01L24/27 , H01L24/743 , H01L24/83 , H01L2224/743 , H01L2224/83192 , H01L2224/83194 , H01L2224/8385 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/07802 , H01L2924/00
Abstract: 膏状物的涂敷方法,该涂敷方法是在平面被覆体上以线状膏状物的描绘线形成描绘形状,使得将该平面被覆体与另一平面贴合粘结时,在贴合面间不留有气泡,该描绘形状由多条线段构成不含封闭形状的放射状图形,其中在喷嘴往复运动的同时喷出膏状物形成每条线段,并且膏状物涂敷的始点和终点配置在放射状图形的中央。
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公开(公告)号:CN1104290C
公开(公告)日:2003-04-02
申请号:CN99812371.4
申请日:1999-10-06
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor: 生岛和正
CPC classification number: B05C5/0225 , B05C5/0208 , B05C5/0216 , B05C11/10 , B05C11/1013 , B29C64/106 , B29C64/209
Abstract: 一种以机械方式开闭排出阀的排出口不会让填料破坏,排出停止时提高液体切断性,且可有效防止液体泄漏的液体排出方法及装置。其是从液体贮存容器经排出阀将液体定量排出时,相应于排出阀的排出口附近部分的液体压力,对从液体贮存容器供给到排出阀的液体压力进行控制并机械地开闭排出口。而且,在从液体贮存容器经排出阀将液体定量排出的装置中,其液体贮存容器带有将贮存的液体对应于其粘度施加压力的加压装置,与该液体贮存容器连通设置的排出阀具有机械开闭排出口的结构。
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