公开(公告)号：KR1020130016908A

公开(公告)日：2013-02-19

申请号：KR1020110079111

申请日：2011-08-09

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 유정희 ,  이세형 ,  강현서 ,  임권섭 ,  김영선

IPC: H01L23/32 ,  H04B1/38

CPC classification number: H01L24/75 ,  H01L21/67138

Abstract: PURPOSE: An apparatus for fixing a chip is provided to bond various devices on a substrate by using an Au/Sn process solder. CONSTITUTION: An apparatus for fixing a device(1000) includes a body(100) and legs(200a, 200b). The body is combined with an apparatus for boning a device. The legs are fixed to the body and compress the device. The upper part of the legs is connected to the body, and the lower part is in contact with the device. The apparatus for boning a device applies pressure to the device through the body and the legs. And then, the device is tightly fixed to a substrate even if other devices are bonded to the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种用于固定芯片的设备，通过使用Au / Sn工艺焊料将各种器件粘合在基板上。 构成：用于固定装置（1000）的装置包括主体（100）和支腿（200a，200b）。 身体与用于捣毁装置的装置组合。 腿固定在身体上并压缩装置。 腿的上部连接到主体，下部与装置接触。 用于捣固装置的装置通过身体和腿向装置施加压力。 然后，即使其他器件结合到衬底上，器件也紧密地固定到衬底上。

公开(公告)号：KR1020130014118A

公开(公告)日：2013-02-07

申请号：KR1020110076050

申请日：2011-07-29

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 신인희 ,  강현서 ,  김영선 ,  박형준 ,  임권섭 ,  이종진

IPC: G02B6/10 ,  G02F1/295 ,  G01B11/00

CPC classification number: G02B26/103

Abstract: PURPOSE: An optical probe using a sensor and an optical probe control method are provided to improve the quality of an image through a precise probe by using the optical probe. CONSTITUTION: An optical probe comprises a parallel light lens(100), an optical converter(200), a transmission member(300), a vibrator(400), a position sensor(500), and a controller(600). The optical converter converts an optical path generated from the optical source. The vibrator converts an electric signal to a mechanical movement. The transmission member delivers the movement of the vibrator to the optical converter. The position sensor recognizes the position of the optical converter. The controller controls the vibrator based on the recognized position of the position sensor and adjusts the position of the optical converter.

Abstract translation: 目的：提供使用传感器的光学探针和光学探针控制方法，通过使用光学探针通过精确的探针提高图像的质量。 构成：光探头包括平行光透镜（100），光转换器（200），传输部件（300），振动器（400），位置传感器（500）和控制器（600）。 光转换器转换从光源产生的光路。 振动器将电信号转换为机械运动。 传动构件将振动器的运动传递到光转换器。 位置传感器识别光转换器的位置。 控制器基于识别的位置传感器的位置控制振动器，并调节光转换器的位置。

公开(公告)号：KR1020120055935A

公开(公告)日：2012-06-01

申请号：KR1020100117393

申请日：2010-11-24

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 윤광수 ,  강현서 ,  유정희 ,  임권섭 ,  고재상

IPC: G02B6/38

CPC classification number: G02B6/3849 ,  G02B6/381 ,  G02B6/3881

Abstract: PURPOSE: An optical connector which stores an optical ferrule protective cap is provided to prevent damage, malfunction, and loss of the ferrule protective cap. CONSTITUTION: An optical connector(10) comprises a connecting part(11), a ferrule(12), a guide protrusion(13), and a ferrule protective cap(14). The connecting part is installed by being extended from one end of an optical cable. The ferrule is attached to one end of the connecting part. One end of an optical cable is mounted in order to be optically connected with the optical connector at an opposite side thereof. The ferrule protective cap protects the ferrule from the external environment by covering the ferrule. The guide protrusion is attached on an external part of the connecting part and guides a connecting position and the connecting direction of the optical connectors of both sides while connecting the optical cables. The guide protrusion has the same shape as the ferrule for storing the ferrule protective cap.

Abstract translation: 目的：提供存储光学套圈保护盖的光学连接器，以防止套圈保护帽的损坏，故障和损失。 构成：光连接器（10）包括连接部分（11），套圈（12），引导突起（13）和套圈保护帽（14）。 连接部件通过从光缆的一端延伸而安装。 套圈连接到连接部件的一端。 安装光缆的一端，以在其相对侧与光连接器光学连接。 套圈保护帽通过覆盖套圈来保护套圈免受外部环境的影响。 引导突起安装在连接部分的外部，并在连接光缆的同时引导两侧光连接器的连接位置和连接方向。 引导突起具有与用于存储套圈保护盖的套圈相同的形状。

公开(公告)号：KR101104966B1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：KR1020090099815

申请日：2009-10-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이세형 ,  강현서 ,  고재상

IPC: G02B6/032 ,  G02B6/28

Abstract: 본 발명은 광도파로 및 양방향 광송수신 장치에 관한 것으로, 단일 모드 광섬유의 단부와 중공 광섬유의 일측 단을 결합하되, 중공 광섬유의 타측 단은 경사지게 형성하여 송수신되는 광신호를 분리함으로써 추가적인 광학 소자의 사용없이 광학계의 수동 정렬이 용이해 광송수신 성능이 우수하고, 소형화에도 유리하도록 한 것이다.
광도파로, 코어, 클래딩, 필터, 단일 모드 광섬유, 중공 광섬유

公开(公告)号：KR101064757B1

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：KR1020080117385

申请日：2008-11-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 임권섭 ,  강현서 ,  고재상

IPC: H01L23/045 ,  H01L23/02 ,  H01L23/12 ,  G03F7/027

CPC classification number: H01L2224/11 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 적층형 패키지의 3차원 수직 연결(vertical interconnection)을 위한 쓰루 웨이퍼 비아(through wafer via) 형성 방법이 개시된다. 본 발명의 후막 절연 구조를 갖는 쓰루 웨이퍼 비아 형성 방법은, 웨이퍼에 제 1 비아 홀(via hole)을 형성하는 단계; 상기 제 1 비아 홀 내에 상하 관통된 적어도 하나의 제 2 비아 홀을 형성하는 단계; 상기 제 1 비아 홀 내에 비아 코어(via core)를 형성하는 단계; 상기 비아 홀과 상기 비아 코어 사이를 후막 절연 물질로 충진하되, 상기 웨이퍼 하면의 상기 제 2 비아 홀을 통해 상기 후막 절연 물질을 석션(suction)하여 충진하는 단계; 및 상기 절연 물질이 충진되면, 상기 웨이퍼를 이면 연마(back grinding)하여 쓰루 웨이퍼 비아를 형성하는 단계;를 포함한다. 이에 의해 제조된 쓰루 웨이퍼 비아는 고속 신호전송에 적합한 특징을 갖는다.

Abstract translation: 目的：提供通过具有厚绝缘层的贯通晶片的制造方法，通过调节绝缘材料的厚度和通孔芯的直径来最小化电串扰。 构成：在晶片（1）上形成第一通孔（3-1）。 第二通孔（3-2）形成在第一通孔内。 通孔芯（7）形成在第一通孔内。 通孔和通孔芯之间的空间填充有薄膜绝缘材料。 薄膜绝缘材料通过晶片背面的第二通孔吸入。

公开(公告)号：KR101046685B1

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：KR1020080131656

申请日：2008-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 임권섭 ,  강현서 ,  고재상

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/208 ,  H01L21/687

Abstract: 반도체 공정중 하나인 포토 레지스트 또는 BCB(Benzo Cyclo Butene)와 같은 폴리머 등의 점성 액체를 웨이퍼 상에 도포하는 공정에서 사용되며, 특히 비아 홀(Via hole)이 형성된 웨이퍼에 점성 액체를 도포하기 위한 진공척 및 이를 구비한 스핀코터가 개시된다. 척본체는 진공펌프와 연통된 흡착홀이 수직으로 형성되며 회전 가능하다. 링은 척본체의 상면에 흡착홀을 둘러싸도록 결합되는 것으로 척본체의 상면보다 돌출되어 웨이퍼가 안착되는 폐곡선 형상을 갖는다. 따라서, 포토 레지스트 또는 BCB와 같은 점성을 갖는 폴리머를 비아 홀이 형성된 웨이퍼에 용이하고 안정되게 코팅 또는 충진할 수 있다. 또한, 다양한 사이즈의 웨이퍼를 하나의 스핀코터 장치에서 사용할 수 있다.
진공척, 스핀코터, 웨이퍼, 비아 홀

Abstract translation: 在施加聚合物的粘性液体，例如一个光致抗蚀剂或BCB（苯并摆线丁烯），晶片上的半导体工艺中的一个，特别地，通孔施加粘性液体到晶片（通路孔）的步骤中使用真空形成 公开了具有该装置的卡盘和旋涂机。 吸盘主体垂直地形成有与真空泵连通并可旋转的吸入孔。 环被投射比卡盘主体的上表面，以键合，以便围绕在夹盘主体的上表面上的吸入孔具有封闭曲线形状，其中一个晶片就位。 因此，它是具有粘度的聚合物，例如光致抗蚀剂或BCB可以容易且稳定地涂敷或填充到通孔的晶片形成。 另外，可以在一个旋涂机中使用各种尺寸的晶片。

公开(公告)号：KR1020110037776A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：KR1020090095342

申请日：2009-10-07

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종진 ,  강현서 ,  고재상

IPC: G02B6/293 ,  H04J14/00

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an optical filter for multiplexing or demultiplexing is provided to bidirectionally transceive light. CONSTITUTION: A filter layer(113) is formed between at least two optical transmitting plates(111,112) which transmits light which includes a corresponding wavelength so that a filter bonding object(110) is formed. V grooves(114) are formed on at least one side in parallel with a filter layer of the filter bonding object so that optical filters are consecutively formed using a cutting blade.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于复用或解复用的滤光器的方法以双向收发光。 构成：在至少两个光透射板（111,112）之间形成滤光层（113），透光板（111,112）透射包含相应波长的光，从而形成滤光片粘合物（110）。 V形槽（114）在至少一侧与过滤器粘合物的过滤层平行地形成，从而使用切割刀片连续地形成滤光器。

公开(公告)号：KR101025013B1

公开(公告)日：2011-03-25

申请号：KR1020080081330

申请日：2008-08-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 임권섭 ,  강현서

IPC: H01L23/12

CPC classification number: H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L25/50 ,  H01L2223/6616 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05009 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/056 ,  H01L2224/16 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2224/05099

Abstract: 적층형 패키지의 3차원 수직 연결(vertical interconnection)을 위한 쓰루 비아(through via) 형성 방식을 개선한 패키지 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 적층형 패키지의 제조 방법은, 웨이퍼 하면에 비아 코어(via core) 형성을 위한 시드(seed) 층을 형성하는 단계; 상기 웨이퍼에 상하 관통된 적어도 하나의 비아 홀(via hole)을 형성하는 단계; 상기 비아 홀 내에 비아 코어를 형성하는 단계; 상기 비아 홀과 상기 비아 코어 사이를 절연하는 단계; 및 상기 절연 후 상기 웨이퍼 하면에 형성된 시드 층을 제거하는 단계;를 포함한다. 이에 의해 제조된 적층형 패키지는 고속 신호전송에 적합한 특징을 갖는다.

公开(公告)号：KR1020110021185A

公开(公告)日：2011-03-04

申请号：KR1020090078819

申请日：2009-08-25

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종진 ,  강현서 ,  고재상

IPC: H04B10/40 ,  H04B10/2581

CPC classification number: G02B6/4246 ,  G02B6/4206 ,  G02B6/4271

Abstract: PURPOSE: A bidirectional optical transceiver module is provided to reduce the manufacturing costs by eliminating housing, and a holder. CONSTITUTION: A package(110) comprises two plane windows for optical transmitting and receiving. A ferrule(120) is combined in one side of the package. An optical receiving module(130) is connected to the other side of the package. A sub optical receiving module(140) installed inside of the package comprises a lighting element, and a collimating lens in order to make the light into a planar light. An optical filter(150) transmits the light to the optical fiber, and reflects the received light to the optical receiving module. A temperature control mean(160) controls the temperature of the sub optical transmission module to the preset temperature.

Abstract translation: 目的：提供双向光收发模块，通过消除外壳和支架降低制造成本。 构成：包装（110）包括用于光学发送和接收的两个平面窗口。 套管（120）在包装的一侧组合。 光接收模块（130）连接到封装的另一侧。 安装在包装内部的子光学接收模块（140）包括照明元件和准直透镜，以使光成为平面光。 光滤波器（150）将光传输到光纤，并将接收到的光反射到光接收模块。 温度控制装置（160）将副光传输模块的温度控制在预设温度。

公开(公告)号：KR1020100073069A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：KR1020080131653

申请日：2008-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이종진 ,  강현서 ,  고재상

IPC: G02B6/42

Abstract: PURPOSE: An optical alignment apparatus and a method for an optical bi-directional module are provided to improve optical coupling efficiency by performing a manual alignment process and an active alignment process. CONSTITUTION: A silicon optical bench(110) includes a substrate, a laser diode, a collimating lens, a condenser lens, a photo diode, and an optical filter. A vacuum chuck(120) transfers the optical filter to multiple directions on the substrate. An optical transmitting-receiving module(130), which is opposite to the silicon optical bench based on optical fiber, inputs light into the optical fiber and outputs the light from the optical fiber. An optical transferring module(140) arranges the light.

Abstract translation: 目的：提供一种用于光学双向模块的光学对准装置和方法，以通过执行手动对准过程和主动对准过程来提高光耦合效率。 构造：硅光学台架（110）包括基板，激光二极管，准直透镜，聚光透镜，光电二极管和滤光器。 真空吸盘（120）将滤光器在基板上向多个方向传送。 基于光纤与硅光学台相对的光发射接收模块（130）将光输入光纤并输出来自光纤的光。 光传输模块（140）布置光。