永磁同步平面电动机
    151.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1599213A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN200410009472.X

    申请日:2004-08-20

    Applicant: 清华大学

    CPC classification number: H02K41/03 H02K2201/18

    Abstract: 永磁同步平面电动机,属于电动机技术领域。为了提供一种具有高推力密度、低推力脉动和具有磁导向功能的永磁同步平面电动机,本发明公开了一种永磁同步平面电动机,在其动子底面的不同区域布置有推力绕组和磁导向绕组;所述推力绕组包括X向推力绕组和Y向推力绕组,它们在动子底面的竖直方向上相互重叠,且所述X向推力绕组的任一有效边与所述Y向推力绕组的任一有效边之间相互垂直;所述磁导向绕组包括第一磁导向绕组和第二磁导向绕组,它们分别对称布置于动子质心的两侧,并且磁导向绕组有效边与X向推力绕组的有效边或Y向推力绕组的有效边平行。由于采用了上述技术措施,所提出的永磁同步平面电动机具有高推力密度、低推力脉动和磁导向功能。

    物镜驱动装置以及盘记录和/或再生装置

    公开(公告)号:CN1478272A

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN02803249.7

    申请日:2002-10-21

    Abstract: 一种使物镜(21)向光轴方向的对焦方向和与光轴方向垂直的跟踪方向移动的物镜动装置。具有固定部(10)、由物镜和线圈骨架(16)构成的可动部(11)、设在固定部和可动部中的任何一方上的磁性体部(15)以及设在另一方上的线圈部(22)。在固定部(10)上设有突出的支承轴(14)。在线圈骨架(16)上安装着物镜(21),并形成有供支承轴穿过的孔(18),该线圈骨架(16)可沿支承轴移动并可以支承轴为中心转动。还备有驱动部和支承机构。驱动部通过使可动部沿着支承轴移动,可使物镜在对焦方向移动,通过使线圈骨架以支承轴为中心转动,可使物镜在跟踪方向移动。支承机构具有磁性部件(25),该磁性部件(25)相对于支承轴以倾斜状态支承可动部。

    一种平面磁通切换型永磁电机

    公开(公告)号:CN109067043A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811125538.X

    申请日:2018-09-26

    Applicant: 深圳大学

    CPC classification number: H02K1/27 H02K1/12 H02K2201/18 H02K2213/03

    Abstract: 本发明公开了一种平面磁通切换型永磁电机,所述永磁电机包括:基座,安装在所述基座上的定子阵列,安装在所述基座上且沿着坐标轴Y方向设置的第一直线导轨,设置在所述第一直线导轨上的第二直线导轨,所述第二直线导轨沿着坐标轴X方向设置,所述第二直线导轨上设置有运动平台;所述运动平台包括:分别沿坐标轴X方向与坐标轴Y方向设置的两个运动平台,且每个运动平台包括多个动子块;每一个动子块由两个U型铁芯、永磁体以及线圈组成。本发明的永磁电机具有结构简单、成本低、行程大、精度高,效率高、力脉动小等优点。

    曝光装置以及器件制造方法

    公开(公告)号:CN108983554A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201810642219.X

    申请日:2013-10-02

    Inventor: 柴崎祐一

    Abstract: 本发明提供曝光装置以及器件制造方法。载物台装置具备平板(30)和晶片台(WST),该晶片台(WST)搭载于平板(30)上,且在与平板相对的面上形成有喷出口(73)。在晶片台(WST)降落在平板上的状态下,在平板(30)与晶片台(WST)之间形成有气室(72)。加压气体从设置于晶片台主体(22)上的喷出口(73)向气室(72)内喷出,由气室(72)的内压抵消晶片台(WST)的自重。由此,能够以手动方式移动停止在平板上的晶片台。

    磁钢阵列以及磁浮平面电机

    公开(公告)号:CN104753306B

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201310752308.7

    申请日:2013-12-31

    CPC classification number: H02K41/02 H02K2201/18

    Abstract: 本发明公开了一种磁钢阵列和磁浮平面电机,该磁钢阵列包括:一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列,所述一维海尔贝克磁钢阵列和二维海尔贝克磁钢阵列共同构成方形的磁钢阵列,所述二维海尔贝克磁钢阵列分设于该方形磁钢阵列一条对角线的两端位置处。本发明的磁钢阵列采用了二维海尔贝克磁钢阵列与一维海尔贝克磁钢阵列相结合的方式,与同样尺寸的纯一维磁钢阵列相比,增大了磁浮平面电机的推力常数。

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